7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

1/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

TEHNOLOGIE DE FABRICATIE PENTRU MEMSPolyMUMPs

Tehnologia PolyMUMPs reprezinto tehnologie de microfabricaie ce se

caracterizeazprin realizarea unor microstructuri de tip MEMS cu multiplestraturi de depunere dintre care trei sunt straturi de siliciu policristalin.

Se exemplificaceasttehnologie pentru realizarea unui micromotor electrostatic prezentatschematic n fig. 1.1

ig. 1.1

Succesiunea operaiilor !e !epunere" !e formare a structurilor geometrice prin litografierei !e

n!eprtare a straturilor !e sacrificiu este prezentatn fig. 1.# $ 1.1%

1

7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

2/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

#

7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

3/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

&

7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

4/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

'

7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

5/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

(

7/24/2019 Microsisteme Mecatronice Ix

6/6

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

%