Magnetorezisten¸ta gigant ˆın structuri magnetice multistratfolosim pentru eloaborarea unor probe...
Transcript of Magnetorezisten¸ta gigant ˆın structuri magnetice multistratfolosim pentru eloaborarea unor probe...
-
Magnetorezistenţa gigant
ı̂n structuri magnetice multistrat
Traian Petrişor
Iunie 2005
-
Cuprins
Introducere 1
1 Prezentarea teoretică a fenomenului de magnetorezistenţă gigant 4
1.1 Descrierea fenomenologică . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1.1 Împrăştierea dependentă de spin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Teoria reţelei de rezistori(RNT-Resistor Network Theory) . . . . . . . . . . . . . 9
1.3 Abordarea semi-clasică . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 Metode de creştere şi caracterizare a filmelor subţiri 16
2.1 Metode de creştere . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.1.1 Tunul cu fascicol de electroni . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.1.2 Epiatxia prin jet molecular (MBE-Molecular Beam Epitaxy) . . . . . . . 17
2.2 Metode de caracterizare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.2.1 Caracterizarea in-situ, RHEED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.2.2 Caracterizări ex-situ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3 Prepararea şi caracterizarea structurilor multistrat 29
3.1 Eşantionul depus prin epitaxie prin jet molecular . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.1.1 Preparare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.1.2 Caracterizare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3.2 Eşantioanele depuse prin evaporare prin bombardament cu electroni . . . . . . . 37
3.2.1 Preparare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.2.2 Caracterizare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Concluzii 40
1
-
Introducere
În urmă cu aproximativ cincisprezece ani, odată cu descoperirea fenomenului de magnetorezistenţă
gigant ı̂n structurile magnetice multistrat, constând dintr-o succesiune de straturi feromgnetice
şi nemagnetice, s-a dezvoltat continuu un nou domeniu de cercetare al fizicii corpului solid
numit spintronică, sau electronică de spin. Efectul de magnetorezistenţă gigant constă ı̂n
variaţia rezistenţei unei structuri multistrat ı̂n funcţie de orientarea relativă a magnetizării
straturilor magnetice care intră ı̂n componenţa probei. Această variaţie se poate fi explicată
prin ı̂mprăştierea dependentă de spin a electronilor ı̂n straturile feromagnetice. Acest transport
dependent de spin a dus la numele de electronică de spin. Cercetările care se fac la ora actuală
au o importanţă atât din punctul de vedere al fizicii fundamentale, fiind studiate practic sisteme
magnetice bidimensionale, şi structuri artificiale, cât şi din punct de vedere practic, aplicaţiile
spintronicii fiind multiple. Una dintre cele mai răspândite aplicaţii o constituie senzorii mag-
netoreistivi, care se conideră ca fiind cea mai larg răspândită aplicaţie a nanotehnologiei. Una
dintre aplicaţii este folosirea acestor senzori la capetele de citire ale hard-disk-urilor. Pe lângă
magnetorezistenţa gigant, s-a mai observat şi fenomenul de cuplare ı̂ntre două straturi magnetice
separate de un strat metalic nemagnetic. Cuplajul este un cuplaj de schimb de tip RKKY, şi
are un caracter oscilator ı̂n funcţie de grosimea stratului nemagnetic. O altă clasă de structuri
studiate sunt joncţiunile tunel, care au o structură de tipul feromagnet/izolator/feromagnet.
Şi acestea prezintă atât creşterea rezistenţei, denumită ı̂n acest caz, magnetorezistenţă tunel,
precum şi cuplarea dinte straturi. Cuplarea se realizează prin intermediul electronilor care tune-
lează prin bariera tunel. Aplicaţia pentru care se studiază ı̂n prezent această clasă de structuri
este un nou tip de memorie non-volatilă, numită MRAM (Magnetic Random Access Memory).
În această lucrare ne-am propus să punem ı̂n evidenţă fenomenul de magnetorezistenţă gigant
şi studierea acestuia ı̂n funţie de metoda de realizare a probelor care prezintă acest fenomen.
De asemenea, am dorit să realizăm şi cuplajul de schimb dintre două straturi magnetice şi să-l
2
-
folosim pentru eloaborarea unor probe cu magnetorezistenţă gigant, ı̂n care sistemul format din
cele două straturi cuplate să joace rolul unui antiferomagnet artificial.
Înainte de a trece la prezentarea efectivă a lucrării aş dori să mulţumesc persoanelor care prin
ajutorul şi sprijinul acordat au contribuit esenţial la elaborarea acestei lucrări. În primul rând,
domnului profesor Coldea Marin, care mi-a introdus primele cunoştinţe şi concepte ı̂n domeniul
spintronicii. Pentru faptul că ne-au primit, atât pe mine cât şi pe colegul meu, Gabor Mihai,
şi ne-au susţinut atât din punct de vedere moral, cât şi material, şi pentru că au fost alături
de noi pe parcursul a ı̂ntregii elaborări a lucrării, aş vrea să mulţumesc doamnei profesoare
Lelia Ciontea precum şi ”domnului profesor” Traian Petrişor. De asemenea, o mare parte a
recunoştinţei se ı̂ndreaptă spre domnul profesor Coriolan Tiuşan pentru disponibilitatea dânsului
şi pentru sprijinul ştiinţific acordat, fără de care această lucrare nu ar fi fost posibilă. Nu ı̂n
ultimul rând aş vrea să mulţumesc colectivului de la Laboratorul de Ştiinţa Materialelor, din
cadrul Universităţii Tehnice din Cluj-Napoca, şi colegului Mihai Gabor.
3
-
Capitolul 1
Prezentarea teoretică a fenomenului de
magnetorezistenţă gigant
Aşa cum am menţionat ı̂n introducere, efectul de magnetorezistenţă gigant a fost observat cu
aproximativ cinsprezece ani ı̂n urmă [1-3], când s-a descoperit că rezistenţa unei structuri mul-
tistrat constând dintr-o succesiune de straturi magnetice şi nemagnetice de grosimi de ordinul
nanometrilor, este puternic dependentă de orientarea relativă a magnetizărilor filmelor mag-
netice. Astfel, ı̂ntr-o configuraţie ”antiferomagnetică”(magnetizările filmelor sunt antiparalele)
rezistentnţa este mai mare decât ı̂ntr-o configuraţie ”feromagnetică” (Fig1.1). Acesta indică
faptul că momentul magnetic propriu al electronilor, asociat cu spinul acestora, joacă un rol
esenţial ı̂n determinarea proprietăţilor de transport ale unor astfel de structuri.
FM NM FM NM FM FM NM NMFM FM
Figura 1.1: Configuraţia (a) feromagnetică şi (b) antiferomagnetică a unei structuri magnetice
multistrat
În acest capitol lucrarea ı̂şi propune să prezinte bazele fizice ale fenomenului, pentru ca mai
apoi să fie prezentate pe scurt două teorii care oferă descrieri cantitative ale acestuia.
4
-
1.1 Descrierea fenomenologică
Pentru ı̂nceput, trebuie menţionat că există două geometrii diferite de măsurare a efectului GMR
(Giant Magnetoresistance), ı̂n funcţie de direcţia curentului prin structură. Se disting astfel două
cazuri, unul ı̂n care curentul are o direcţie perpendiculară structurii, CPP (current perpendicular
to plane), şi unul ı̂n care curentul trece ı̂n planul structurii, CIP (current in plane)(Fig1.2). Deşi
primul caz, CPP, este oarecum mai uşor de tratat intuitiv teoretic, dificultatea intervine ı̂n
măsurarea rezistenţei structurii, care, datorită dimensiuilor nanometrice ale părţii active, este
foarte mică. Toate eşantioanele realizate şi prezentate ı̂n lucrarea de faţău fost măsurate ı̂n
configuraţie CIP.
Figura 1.2: Geometria (a) CIP şi (b) CPP de măsurare a magnetorezistenţei a unei structuri
magnetice multistrat
Să considerăm o structură precum cea din Fig 1.2(a), formată din două straturi magnetice
separate de un strat metalic nemagnetic. Efectul GMR poate fi ı̂nţeles ı̂n cadrul modelului celor
doi curenţi propus de Mott pentru descrierea conductvităţii electrice[5],[6]. În cadrul acestui
model conductivitatea totală este privită ca fiind suma dintre contribuţiile electronilor cu spinul
sus (↑) şi cea a electronilor cu spinul jos (↓). Justificarea adoptării acestui model rezidă ı̂n faptul
că, ı̂n majoritatea proceselor de ı̂mpraştiere, cel puţin la temperaturi scăzute, spinul electronului
se conservă, pe de o parte, iar pe de alta, este un fapt demonstrat experimental că spinul
electronului se conservă pe distanţe de ordinul zecilor de nanometri, i.e. lungimea de coerenţă a
spinului este de ordinul zecilor de nanometri, adică tocmai dimensiunile unei structuri multistrat
tipice.
În continuare vom mai face o presupunere, şi anume că electronii cu proiecţia spinului paralelă
sau antiparalelă la magnetizarea straturilor magnetice sunt ı̂mprăşitiaţi diferit, cu alte cuvinte
are loc un proces de ı̂mprăştirere dependentă de spin (spin depenent scattering). Mai exact, vom
5
-
considera că drumul liber mediu al electronilor cu spinul paralel cu magnetizarea filmelor magnet-
ice este mai lung decât cel al electronilor cu spinul antiparalel. De aici, rezultă faptul că aceştia
din urmă vor ı̂ntâmpina o rezistenţă mai mare la trecerea lor prin structură. În Fig.1.3 este
prezentată schematic această situaţie. Astfel, ı̂n configuraţia feromagnetică, electronii cu spinul
FM NM FM
R
NM FM
Spin
Spin
Spin
Spin
Spin
Spin
R
R
R
Spin
Spin
R
R R
R
FM
Figura 1.3: Modelarea prin rezistenţe a fenomenului GMR.
sus, sunt slab ı̂mprăştiaţi ı̂n cele două filme magnetice, pe când cei cu spinul jos suferă ı̂mprăştieri
puternice atât ı̂n primul cât şi ı̂n cel de-al doilea strat. Folosindu-ne de o reprezentare,[4], ı̂n
care parcursul electronilor printr-un strat magnetic să fie simbolizat printr-o rezistenţă, obţinem
pentru primul caz o situaţie ı̂n care avem o ramură formată din două rezistenţe de valoare redusă
(canalul pentru spin ↑), ı̂n paralel cu o ramură formtă din două rezistenţe de valoare ridicată
(canalul pentru spin ↓). Datorită rezistenţei scăzute a canalului pentru spinul ↑, ı̂n configuraţia
feromagnetică rezistenţa totală a structurii este mică. În configuraţia antiferomagnetică avem
pe ambele ramuri coresunzătoare celor două proiecţii ale spinului, câte o rezistenţă mare, ceea
ce conduce la o rezistenţă totală mare a ı̂ntregii structuri, RAP > RP . În final trebuie menţionat
că pentru a descrie această diferenţă ı̂ntre rezistenţele celor două configuraţii, s-a introdus un
raport definit ca,∆R
R=
RAP − RPRP
. (1.1)
6
-
1.1.1 Împrăştierea dependentă de spin
Aşa cum s-a văzut ı̂n secţiunea precedentă mecanismul care stătea la baza manifestării diferenţei
de rezistenţă era existenţa unei asimetrii la ciocnire pentru electronii cu spinul sus, respectiv jos,
ı̂n straturile feromagnetice.
Cu (sus)
Fe (jos)
Fe (sus)
Den
sit
ate
ade s
tari
(sta
ri/eV
*ato
m*s
pin
)
;Sdfghjjfdghjfffgg
Co (sus)
Cu (jos) Co (jos)
Energia (eV)
Figura 1.4: Densitatea de stări pentru Cu, Co şi Fe. Linia punctată reprezintă energia Fermi.
Pentru ı̂nceput vom studia mecanismul de ı̂mprăştiere al electronilor de conducţie ı̂n metalele
de tranziţie 3d (Fe, Co)[6], cele folosite pentru realizarea structurilor din această lucrare. Se vor
neglija intercţiunile electron-foton şi interacţiunile electron-magnon. În metalele de tranziţie
3d, conductivitatea electrică este datorată ı̂n principal electronilor liberi din stările s,p, ı̂n timp
ce principalul mecanism de ı̂mprăştiere este cel din stările s,p ı̂n stările d (̂ımprăştierea Mott).
Aceasta ı̂nseamnă că o densitate mare de stări 3d la nivelul Fermi, conduce la o probabilitate
mare de ı̂mprăştiere pe stările d. În metalele de tranziţie, există o polarizare a stărilor 3d
la nivelul Fermi legată de spinul electronilor. Aşa cum se vede ı̂n Fig.1.4, pentru Fe şi Co,
există o diferenţă mare ı̂ntre densitatea de stări la nivelul Fermi pentru electronii cu spin sus
faţă de cea pentru electronii cu spinul orientat ı̂n jos. Astfel, vor exista probabiltăţi diferite
de cioncnire pentru electronii având una din cele două proiecţii ale spinului. Din densităţile
7
-
de stări din Fig.1.4. se mai poate observa că la nivelul Fermi stările pentru electronii cu spin
majoritar sunt complet ocupate (densitate de stări la nivelul Fermi foarte mică) la Co, rezultând
o mare asimetrie la ı̂mprăştiere. În cazul Fe stările cu spin majoritar nu sunt complet ocupate,
deci există stări libere atât pentru spinul sus, cât şi pentru cel jos, astfel ı̂ncât asimetria va fi
mai mică. Pentru comparaţie este prezentată şi denitatea de stări la Cu, unde se vede că atât
stările cu spin majoritar cât şi cele cu spin minoritar sunt complet ocupate, rezultând astfel
poprietăţile de transport foarte bune ale Cu. Această ı̂mprăştiere selectivă, ı̂n volum, poartă
numele ı̂n literatură de ”bulk spin dependent scattering”.
Co (minoritar)CuCo (majoritar)
E (R
y)
kk k
Figura 1.5: Structura de benzi a Co, pentru ambele proiecţii ale spinului şi a Cu. Linia punctată
reprezintă valoarea nivelului Fermi.
Până acum s-au discutat proprietăţile de volum ale metalelor amintite. Pe lângă acestea,
datorită faptului că avem de a face cu structuri de tip multistrat, vor exista şi interfeţe ı̂ntre filme
de materiale diferite. La interfeţa fermagnet/metal, avem o dependenţă de spin a potenţialelor
de ı̂mprăştiere. Aceasta se explică prin faptul că structura de benzi a metalelor feromagnetice
are şi ea o dpendenţă e spin, aşa cum se poate vedea ı̂n Fig.1.5 şi Fig.1.6. Se observă că pentru
spinul majoritar ı̂n cazul Co, structura de benzi se potriveşte foarte bine cu cea a Cu, deci
ı̂mpraştierea electronilor având spinul sus va fi slabă, spre deosebire de cei cu spinul jos care vor
8
-
Fe (minoritar)CrFe (majoritar)E
(R
y)
k k k
Figura 1.6: Structura de benzi a Fe, pentru ambele proiecţii ale spinului şi a Cr. Linia punctată
reprezintă valoarea nivelului Fermi.
suferi ı̂mprăştieri mai puternice tocmai datorită nepotrivirii celor două structuri. De cealaltă
parte, la Fe şi Cr, din contră spinul minoritar va fi cel mai puţin ı̂mprăştiat. Acest femomen,
care apare la interfeţe partă numele de ”interfacial spin dependent scattering”.
Pe lângă cele două tipri de ı̂mprăştieri care ţin de structura intrinsecă a fiecărui material,
există şi ı̂mprăştieri dependente de spin datorate defectelor structurale. Mai exact, dacă apar
disclocaţii ı̂n urma prezenţei unui mismatch reticular ı̂ntre două filme succesive, acestea pot fi
centrii de ı̂mprăştiere. Mai mult, dacă metalul unde a apărut acest defect este feromagnetic,
atunci centrul va putea fi selectiv la spin.
1.2 Teoria reţelei de rezistori(RNT-Resistor Network The-
ory)
În completarea descrierii fenomenologice a magnetorezistenţei gigant, care ajută la formarea
unei imagini calitative a fenomenului, s-au dezvoltat şi teorii care să dea o descriere cantitativă
9
-
a acesteia, [7]. Două dintre acestea sunt expuse pe scurt ı̂n această lucrare.
I NM FM NM FM NM NMFM FMFM
Celula elementara
Figura 1.7: Structură multistrat.
Teoria reţelei de rezistenţe, sau Resistor Network Theory priveşte straturile componente ale
structurii ca fiind nişte rezistenţe, şi separă contribuţiile celor două canale de spin la rezistenţa
totală a structurii. Trebuie menţionat că tratarea de faţă se va face ı̂n geometrie CIP, cu
alte cuvine curentul trece ı̂n planul filmelor, Fig.1.7. Aşa cum se poate observa, ca şi celulă
elementară se consideră o structură formată din patru filme de tip FM/NM/FM/NM. Dacă vom
Spin
Spin
rHFM
rNM
rLFM
rHFM
rNM
rLFM
rHFM
rNM
rLFM
Configuratieferomagnetica
Configuratieantiferomagnetica
Figura 1.8: Modelearea rezisrivităţilor celor două canale de spin, pentru configuraţiile fero,- şi
antiferomagnetică.
adopta tratarea din paragraful anterior, pentru configuraţiile fero,-, respectiv antiferomagnetică,
situaţia din punct de vedere al rezistivităţilor filmelor pentru cele două canale de spin este cea
din Fig.1.8.
Problema care se apar, este cum anume adunăm rezistivităţile dintr-un canal de spin. Ele
10
-
nu pot fi considerate ca fiind legate ı̂n paralel, acest fapt fiind adevărat doar dacă electronii nu
ar putea trece dintr-un strat ı̂n altul. De aceea vom porni de la un caz simplu, al unei structuri
formate din două straturi A şi B, de grosimi a, respectiv b, iar rezistivităţile având valorile ρa,ρb,
Fig.1.9. Se disting două cazuri.
I
Figura 1.9: Două straturi A şi B, având rezistivităţi diferiteρa 6= ρb.
Cazul 1: Drumul liber mediu al electronilor prin structură este mult mai mic dacât grosimea
straturilor. Astfel, foarte puţini electroni vor traversa dintr-un strat ı̂n altul, ei fiind practic
confinaţi ı̂ntr-un singur strat. Rezultă că straturile pot fi privite ca fiind nişte rezistenţe legate
ı̂n paralel. În acest caz ı̂nsă nu va fi o diferenţă intre rezistenţa stării paralele cu cea a stării
antiparalele, RAP = RP .
Cazul 2: Drumul liber mediu al electronilor este mai lung decât grosimea sraturilor, adică
electronii pot trece dintr-un strat ı̂n altul, astfel ı̂ncât aceştia vor ”simţi” rezstivităţile ambelor
straturi. De aceea se consideră o rezistivitate medie, dată de relaţia:
ρ =aρa + bρb
a + b. (1.2)
Revenind la cazul pe care dorim să ı̂l studiem, obţinem pentru configuraţia paralelă:
ρ↑ =2MρHFM + 2NρNM
2(M + N), (1.3)
ρ↓ =2MρLFM + 2NρNM
2(M + N)(1.4)
pentru cele două canale de spin, iar pentru rezistivitatea totală,(
1
ρ
)
P
=
(
1
ρ↑+
1
ρ↓
)
= (M + N)
(
1
MρHFM + NρNM+
1
MρLFM + NρNM
)
. (1.5)
Dacă vrem să aflăm rezisenţa, folosind formula R = ρ lS, cu l = 2(M+N) şi considerând S = 1m2,
obţinem,1
RP= 2(M + N)2
(
1
MρHFM + NρNM+
1
MρLFM + NρNM
)
. (1.6)
11
-
În configuraţia antiferomagnetică vom avea pentru rezistivităţile celor două canale de spin ex-
presiile
ρ↑ = ρ↓ =M(ρHFM + ρ
LFM) + 2NρNM
2(M + N), (1.7)
pentru rezistivitatea totală
(
1
ρ
)
AP
=4(M + N)
MρHFM + MρLFM + 2NρNM
, (1.8)
iar pentru rezistenţă1
RAP=
8(M + N)2
MρHFM + MρLFM + 2NρNM
. (1.9)
Înlocuind expresiile(1.6) şi (1.9) ı̂n (1.1) obţinem raportul magnetorezistiv având valoarea
∆R
R=
(1 − β)2
4(1 + N/Mµ)(β + N/Mµ), (1.10)
unde prin β am notat raportul ρHFM/ρLFM , care poartă numele de ”bulk scattering asymmetry”
şi care descrie tocmai dependenţa de spin a ı̂mprăşierii ı̂n volumul unui material feromagnetic.
Prin µ am definit raportul ρLFM/ρNM .
Din expresia (1.10) se observă că amplitudinea semnalului GMR depinde de factorul β, şi de
raportul N/Mµ. Dependenţa de β este oarecum evidentă, după discuţia din paragraful anterior,
cu cât asimetria este mai mare, cu atât diferenţa de rezistenţă ı̂ntre cele două configuraţii este
mai mare. Se observă de asemenea, că raportul magnetorezistiv scade odată cu creşterea grosimii
stratului nemagnetic, fapt dovedit experimental. Scăderea poate fi pusă pe seama faptului că la
grosimi mari o mare parte din curent trece prin acest strat, fără ca electronii să mai sondeze şi
celelalte straturi.
1.3 Abordarea semi-clasică
O altă teorie care prezintă o descriere cantitativă a fenomenului GMR, este cea propusă de J.
Barnaś şi R. E. Camley, [8]. Aceasta porneşte de la ecuaţia cinetică a lui Blotzmann, ı̂n care se
introduc probabilităţile de ı̂mprăştiere dependente de spin.
În forma ei pentru o stare staţionară, ı̂n aproximaţia timpului de relaxare, ecuaţia lui Boltz-
mann arată astfel,
v∇rf(r,k) +1
h̄Fext∇kf(r,k) =
f(r,k) − f0(r,k)
τk, (1.11)
12
-
FM
FM FMNM
A B C D
-b -a a b
z
xE
Figura 1.10: Structura studiată şi sistemul de coordonate folosit. Linia punctată reprezintă
planul ı̂n care se schimbă axa de cunatificare a spinului (z = 0).
ı̂n care f0(r,k) este funcţia de distribuţie la echilibru, iar Fext este forţa care acţionează asupra
electronilor, datorată aplicării unui câmp exterior, electric ı̂n cazul de faţă. Funcţia de distribuţie
va aea două componente, corespunzătoare celor două proiecţii ale spinului, notate f↑(z,v),
respectiv f ↓(z,v). În continuare se presupune că electronii se mişcă doar pe direcţia z, iar ı̂n loc
de dependenţa de k, se va adopta dependenţa de v, folosind relaţia mv = h̄k. Astfel, folosind
formalismul general, funcţia de distribuţie va fi suma dintre funţia de distribuţie la echilibru, ı̂n
câmp zero, f0(v), şi o contribuţie corespunzătoare acţiunii unui câmp perturbativ exterior, ı̂n
cazul nostru câmpul electric E, g↑(↓)(z,v):
f ↑(↓)(z,v) = f0(v) + g↑(↓)(z,v). (1.12)
Înlocuind relaţia (1.12) ı̂n (1.11), şi ţinând cont că E are componentă doar pe direcţia x
(Fig.1.10), obţinem relaţia:
∂g↑(↓)(z,v)
∂z+
g↑(↓)(z,v)
τ ↑(↓)vz=
eE
mvz
∂f0(v)
∂vx, (1.13)
unde e şi m reprezintă sarcina, respectiv masa efectivă a electronului, iar τ ↑(↓) sunt timpii de
relaxare, care sunt consideraţi ca fiind diferiţi, τ ↑ 6= τ ↓, ı̂n straturile feromagnetice. Soluţia
ecuaţiei (1.13) poate fi scrisă sub următoarea formă:
g↑(↓)± (z,v =
eEτ ↑(↓)
m
∂f0(v)
∂vx×
[
1 + F↑(↓)± (v)exp
(
∓z
τ ↑(↓) |vz|
)]
, (1.14)
13
-
ı̂n care funcţia g↑(↓)(z,v) a fost ı̂mpărţită ı̂n două, o parte corespunzătoare electronilor care au
vz > 0, g↑(↓)+ , şi una pentru electronii care au vz < 0, g
↑(↓)− . F
↑(↓)± (v) sunt funcţii de viteza
electronilor v, arbitrare, care sunt determinate aplicând condiţii la limitele, respectiv interfeţele
structurii, z = ±a,±b. Condiţiile se referă la transmisia şi reflexia electronilor la interfeţe,
respectiv la marginile structurii, acestea fiind caracterizate de coeficienţii, dependenţi de spin,
T şi R. Pentru exemplificare, se consideră z = −a. Condiţia la această interfaţă se scrie:
g↑(↓)A− = T
↑(↓)g↑(↓)B− + R
↑(↓)g↑(↓)A+ . (1.15)
Adică electronii care trec de interfaţa A/B având vz < 0, dinspre dreapta spre stânga, sunt
electronii transmişi dinspre B spre A, plus cei care sunt reflectaţi la această interfaţă, venind
din stânga spre dreapta.
Axa de cuantificare a spinului electronilor ı̂ntr-un strat feromagnetic este echivalentă cu axa
de magnetizare statică corespunzătoare stratului respectiv. Astfel, se introduce o interfaţă fictivă
la z = 0, mijlocul stratului intermediar, ı̂mpărţind structura ı̂n patru regiuni, A,B,C şi D. În
A şi B axa de cuantificare a spinului este paralelă la axa de magnetizare a stratului A, iar ı̂n C
şi D este paralelă cu magnetizarea din C. La z = 0 se scriu condiţiile suplimentare:
g↑(↓)C+ = cos
2(θ/2)g↑(↓)B+ + sin
2(θ/2)g↓(↑)B+ (1.16)
g↑(↓)B− = cos
2(θ/2)g↑(↓)C− + sin
2(θ/2)g↓(↑)C− , (1.17)
ı̂n care θ este unghiul dintre cele două direcţii de cuantificare a spinului,i.e., dintre axele de
magnetizare. Dacă, spre exemplu, θ = π, configuraţie antiferomagnetică, ı̂nlocuind ı̂n expresia
(1.16), obţinem g↑(↓)C+ = g
↓(↑)B+ . Aceasta indică faptul că la interfaţa B/C, electronii din C cu spinul
paralel la magnetizarea din acest strat, sunt electronii cu spinul antiparalel faţă de magnetizarea
din B. Toţi electronii deplasându-se ı̂n acest caz dinspre B spre C.
Curentul dependent de spin se poate afla din integrala ı̂n spaţiul vitezelor a funcţiei de
distribuţie, g, [9]:
j↑(↓) = e(
m
h
)3 ∫
d3vvg↑(↓)(v, r), (1.18)
unde h este constanta lui Planck.
Unul din principalele rezultate ale acestei tratări este acela că a demonstrat dependenţa
conductanţei structurilor ca 1 − cos(θ), θ fiind ca şi mai sus unghiul dintre magnetizări. De
asemenea, A. Fert şi A. Barthélémy [10] au făcut acest gen de calcule pe structuri de tip Fe/Cr
14
-
de unde a rezultat dependenţa magnetorezistenţei atât de grosimea stratului de Cr, cât şi de
grosimea celeui de Fe. Mai exact, raportul magnetorezistiv scădea odată cu creşterea grosimii
unuia dintre cele două straturi, acest fapt fiind dovedit şi experimental.
15
-
Capitolul 2
Metode de creştere şi caracterizare a
filmelor subţiri
2.1 Metode de creştere
2.1.1 Tunul cu fascicol de electroni
Una dintre metodele folosite la realizarea structurilor prezentate ı̂n această lucrare a fost evap-
orarea materialelor prin bombardament cu un fascicol de electroni. Schema de funcţionare este
prezentată ı̂n Fig.2.1. Electronii sunt emişi de către filamentul de W, care este ı̂ncălzit, prin
fenomenul de termoesmisie electronică. Norul de electroni format este focalizat ı̂ntr-o primă
fază de o ”lentilă” Wenhelt, care se află la o diferenţă de potenţial faţă de filament, de 180 V.
Electronii vin apoi acceleraţi ı̂ntr-o diferenţă de potenţial, ı̂n cazul de faţă, de 6kV, spre anod.
După ce aceştia părăsesc anodul, interaţionează cu câmpul magnetic creat de un electromagnet.
Câmpul magnetic este perpendicular pe fascicol, astfel ı̂ncât forţa Lorentz, F = q(v × B), va
avea direcţia şi sensul indicat ı̂n figură. După cum se ştie traiectoria unui corp asupra căruia
acţionează o forţă perpendiculară pe viteza acestuia, este circulară. Electronii vor descrie o
astfel de traiectorie circulară, care va intersecta creuzetul unde se află materialul care se doreşte
a fi evaporat. Electronii care ciocnesc sursa de evaporare vor ceda energia lor cinetică acesteia,
astfel ı̂ncât ea se va ı̂ncălzi. Materialul se va evapora, iar vaporii vor condensa pe substratul pe
care se doreşte să se crească structura. Substratul se poziţionează pe un ı̂ncălzitor care paote
ridica temperatura acestuia. Temperatura până la care s-a ı̂ncălzit substratul a fost de 400oC.
16
-
B
6 kV
180 V
+ -
Masuratorde grosime
Shutter
Anod
Incalzitor substrat
Lentila Wenhelt
Fascicol deelectroni
CreuzetSursa deevaporare
Incinta vid(aprox. 2x10 Torr)
-7
Filament
Vaporimaterial
Substrat
+ -
F
v
Figura 2.1: Schema tunului cu fascicol de electroni.
Incinta este prevăzută şi cu un ”shutter”, care permite acoperirea substratului, atunci când se
doreşte ı̂ntreruperea depunerii vaporilor unui material pe acesta. Monitorizarea grosimii filmului
şi a ratei de depunere se realizează cu ajutorul unui măsurător de grosime.
De asemenea, ca şi facilităţi pe care tunul cu fascicol de electroni, ”TFE-2002”, de la ”Lab-
oratrul de Filme Subţiri” din cadrul Universităţii Tehnice Cluj-Napoca, le are, sunt, creuzetul
cu şase posturi care permite evaporarea a şase materiale distincte ı̂n cadrul unuei depuneri, şi
electromagnetul care poate fi comandat ı̂n curent de formă triunghiulară, care permite astfel
baleierea fascicolului de electroni pe toată suprafaţa sursei de evaporare.
Întregul proces de depunere are loc sub vid, realizat de o pompă preliminară şi una de difuzie.
Vidul obţinut ajunge până la aproximativ 2 × 10−7Torr. Instalaţia este prezentată ı̂n Fig.2.2.
2.1.2 Epiatxia prin jet molecular (MBE-Molecular Beam Epitaxy)
Epitaxia prin jet molecular este una dintre cele mai rafinate metode de depunere existente la
ora actuală permiţând obţinerea de filme şi interfeţe de o foarte bună calitate, [11]. Pentru
prepararea de filme subţiri epitaxiale, procesul de creştere trebuie să fie controlat practic strat
cu strat (strat atomic), fiind astfel necesare rate mici de evaporare. De asemenea, pentru a evita
17
-
Figura 2.2: Tunul cu fascicol de electroni de la Laboratorul de Ştiinţa Materialelor, UTCN,Cluj-Napoca.
influenţa negativă a gazelor reziduale, se impun condiţii de vid ulta-̂ınalt. Vidul asigură ı̂n acest
fel şi posibilitatea de a folosi metode foarte sensibile de caracterizare in-situ, precum RHEED.
Şi metodele de evaporare a materialelor sunt specifice acestor condiţii, fiind folosite celulele
de evaporare Knudsen, pe lângă evaporarea ı̂n fascicol de electroni. Structurile elaborate prin
această metodă au fost realizate la ”Laboratoire de Phisique des Materiaux” de la ”Université
Henri Poincaré” din Nancy, Franţa.
Schema de principiu a instalaţiei de MBE este cea din Fig.2.3. După ce erau pregătite pentru
depunere, substrturile erau introduse intr-un sas, care este ı̂n esenţă o incintă mult mai mică
decât cea pentru depuneri, prevazută cu o pompă turbomoleculară. Principalul motiv pentru
care se recurge la folosirea unui incinte anterioare celei de depunere propriu-zise, este acela de
a nu pune niciodată camera de depunere ı̂n contact cu exteriorul, pentru a evita impurificarea
acesteia, ı̂n ederea obţinerii unui vid cât mai bun. Tot ı̂n vederea obţinerii unui ı̂nalt grad de vid,
partea superioară şi cea inferioară a instalaţiei erau răcite printr-un circuit cu azot lichid. Rolul
acestei răciri este acela de a condensa gazele reziduale pe pereţii astfel rac̆iţi ai incintei. În plus
substratul poate fi ı̂ncălzit de la 20oC până la 1000oC, precum şi răcit până la −180oC. Totodată
instalaţia dispune de un sistem de shutter care permite delimitarea a mai multor zone pe un
singur substrat, cu structuri diferite, ceea ce permite studii comparative ı̂n condiţii identice de
18
-
temperatură şi presiune. Ca şi metode de caracterizare a filmelor in-situ există un RHEED, care
constă dintr-un tun de electroni şi un ecran fluorescent. O prezentare mai detaliată va fi făcută
ı̂n paragraful 2.2.1. Instalaţia este prezentată ı̂n Fig.2.4.
Racire cu azot lichid
Incalzire (racire)substrat
Substrat
Fascicolelectroni
Ecran fluorescent
Hublou
Racire cu azot lichid
Surse de evaporare(tun electroni, celule de efuzie Knudsen)
Shutter surseevaporare
Tun cu fascicol deelectroni (RHEED)
Incinta vidaprox. 10 Torr
-9
Masurator degrosime
Figura 2.3: Schema de principiu a instalaţiei de epiatxie prin jet molecular.
Dacă moleculele unui gaz aflat ı̂ntr-o incintă, au drumul liber mediu mai mare decât dimen-
siunile incintei, mişcarea acestora se face ı̂ntr-un regim special cunoscut sub numele de scurgere
moleculară. Depunerea diferitelor materiale pe substrat se face, ı̂n cazul acestei metode, ı̂n acest
regim. Pentru a obţine presiunea dorită, se folosesc diferite metode de pompaj, pe lângă cel
preliminar, enumerate mai jos.
• Pompaj turbomolecular - incinta instalaţiei de MBE este echipată cu o pompă turbomolec-
ulară de mare capacitate. În principiu aceasta este formată din straturi succesive de palete
mobile şi fixe. Paletele mobile se numesc rotoare şi sunt separate de cele fixe numitĕ
statoare. Pompajul se realizează prin ciocnirea moleculelor de către un strat de palete,
19
-
Figura 2.4: Instalaţia de MBE din cadrul LPM, Nancy.
antrenându-le astfel spre stratul următor. Paletele se rotesc cu o turaţie de aproximativ
50.000 rotaţii/min. Eficienţa de pompare depinde de masa moleculelor pompate, astfel, cu
cât masa moleculară este mai mică, cu atâ t eficienţa este mai scăzută.
• Pompaj ionic - Moleculele de gaz care se află ı̂n incintă, sunt ionizate, prin ciocnirea lor
de catre un fascicol de electroni. Electronii sunt emişi de către un filament, catod, şi sunt
acceleraţi ı̂ntr-o diferenţă de potenţial de câţiva kilovolţi, şi ı̂n câmp magnetic. Prezenţa
câmpului magnetic are rolul de a mări parcursul electronilor, ı̂n aşa fel ı̂ncât să ciocnească,
şi deci să ionizeze un număr cât mai mare de molecule. Ionii astfel formaţi vor fi acceleraţi
ı̂nspre catodul de titan, pulverizând atomi de Ti din acesta. Atomii de Ti vor condensa pe
pereţii incintei, fixând atomii reactivi (hidrogen, oxigen, azot).
• Pompaj cu sublimare de titan - Acest tip de pompaj se foloseşte complementar la cel ionic.
Ca şi ı̂n cazul precendent se folosesc proprietăţile Ti, numai că de această dată atomii
de Ti nu se generează prin bombardament ionic, ci termic, prin sublimarea Ti dintr-un
filament ı̂ncălzit prin efect Joule. Atomii rezultaţi ı̂n urma sublimării se depun pe pereţii
pompei, generând un pompaj similar cu cel ionic.
20
-
2.2 Metode de caracterizare
2.2.1 Caracterizarea in-situ, RHEED
RHEED, Reflexion High Energy Electron Diffraction, este o metodă non-destructivă, in-situ,
utilizată pentru caracterizarea şi controlul creşterii filmelor subţiri, [12]. Caracterizarea filmelor
se face cu ajutorul clşeelor RHEED, ı̂n timp ce controlul creşterii se face prin urmărirea oscilaţiilor
de intensitate ale liniilor de difracţie prezente ı̂n aceste clişee. Fenomenul care stă la baza acestei
¥
el
kRX
k
k
Figura 2.5: Sferele Ewald ı̂n cazul razelor X, a electronilor, şi ı̂n cazul ı̂n care am avea o radiaţie având k → ∞.
tehnici este, aşa cum sugerează şi titlul acesteia, este difracţia electronilor pe reţeaua cristalină
a fimelor. Difraţia electronilor se face ı̂n acelaşi fel ca şi difracţia razelor X, diferenţa constând
ı̂n lungimea de undă a celor două radiaţii, lungimea de undă a electronilor este mai mică decât
cea a razelor X, λel < λRX . O consecinţă directă a acestui fapt este că sfera Ewald, ı̂n spaţiul
reciproc, va avea o rază mai mare ı̂n cazul elecronilor, obţinându-se astfel mai multe peakuri de
difracţie, aşa cum se vede ı̂n Fig.2.5. Aşa cum se poate observa, o radiaţie care ar avea k → ∞,
ar avea ca şi figură de difracţie chiar reţeaua reciprocă.
Electronii, ı̂n cazul RHEED, ”sondează” doar suprafaţa fimului. Acest fapt generează o
situaţie mai deosebită, care va fi analizată ı̂n continuare. Suprafaţa fimului poate fi privită,
Fig.2.6, ca o structură cristalină ı̂n care ultimul plan atomic se află la o distanţă, d → ∞ faţă
de restul acesteia. Astfel, ı̂n reţeaua reciprocă, conform relaţiei G = 2π/d, G va tinde spre 0,
adică ı̂n locul punctelor reţelei reciproce vom avea, la suprafaţă, linii. În cazul ı̂n care fascicolul
de electroni ar fi monocromatic (k = constant), şi ne-am afla la T=0 K, intersecţia sferei Ewald
cu liniile reţelei recipoce ar fi nişte puncte. Dar datorită agitaţiei termice prezente la T 6= 0 K,
21
-
precum şi faptului că fascicolul de electroni nu este monocromatic, deci sfera Ewald are o anumită
grosime (metoda von Laue), intersecţia va lua forma unor linii, aşa cum se vede ı̂n Fig.2.7. Din
¥dG 0
Figura 2.6: Reţeaua directă şi inversă ı̂n apropierea suprafeţei.
punct de vedere experimental, RHEED-ul constă dintr-un tun de electroni, acceleraţi ı̂ntr-o
diferanţă de potenţial de 10kV, amplasat aşa cum este indicat ı̂n Fig.2.3. După ce electronii
interacţionează cu suprafaţa filmului şi sunt difractaţi, ei ciocnesc un ecran fluorescent unde se
produce clişeul care urmează a fi studiat. Imaginea este mai apoi achiziţionată de un sistem de
achiziţie video, pentru a fi prelucrată cu ajutorul calaculatorului.
Coloana din reteaua reciprica
T 0 K=
-Fascicol de e monocromatic
Sfera Ewald
Coloana din reteaua reciprica
T 0 K¹
Sfera Ewald
Coloana din reteaua reciprica
T 0 K¹
Dk
-Fascicol de e monocromatic -Fascicolul de e nu e monocromatic
Sfera Ewald
Figura 2.7: Trei cazuri de intersecţie a sferei Ewald cu liniile din spaţiul reciproc. În realitate, ne aflăm ı̂n
ultimul caz.
Aşa cum am mai menţionat această metodă se foloseşte pe de o parte pentru caracterizarea
filmelelor, şi pe de alta pentru controlul creşterii acestora. Pentru a exemplifica cum anume
22
-
Linii datorate prezentei Cin suprafata
SubstratFilm
Figura 2.8: Două clişee RHEED. Primul indică prezenţe C la suprafaţa stratului de Pd. Al doilea indică
modul de creştere a unui strat de Fe pe un altul de Au.
puem să folosim imaginile RHEED, prezentăm ı̂n Fig.2.8 două imagini. În prima, cele două linii
indicate, apar datorită prezenţei carbonului pe suprafaţa stratului tampon Pd, care determină
o reconstruc ctie a suprafeţei acestuia. Reconstrucţia ı̂nseamnă o rearanjare a atomilor de la
suprafaţă, astfel ı̂ncât structura cristalină a acesteia nu mai este cea din masivul probei. A
I
t
I
t
I
t
Substrat
Film 2
Film 1
Electroni
Figura 2.9: Oscilaţii RHEED.
doua fotografie se referă la modul de creştere a fimului. Liniile ı̂ntrerupte indică faptul că filmul
nu a cresut ”strat cu strat”, ci s-a produs o creştere mai ı̂ntâi bi dimensională, urmată de una
tridimensională, modul Stranski-Krastanov, prezentat schematic ı̂n inset-ul imaginii. Dacă ne
aflăm intr-un caz ı̂n care avem un film subţire crescut. bidimensional. Electronii difractaţi, vor
interfera ulterior, creeând astfel pe figura de difracţie un maxim. În momentul când a crescut
23
-
jumătate din cel de-al doilea strat, electronii vor interfera din nou, dar de data aceata distructiv,
dând naştere unui minim de interferenţă. La completarea stratului al doilea, va rezulta un nou
maxim. Astfel, observăm cum creşterea ultimului film s-a făcut pe parcursul perioadei unei
osilaţii, Fig.2.9. Aceste oscilaţii se numesc oscilaţii RHEED, şi se manifestă ca oscilaţii ale
intensităţii luminoase a figurii de difracţie. Folosindu-ne de acestea, putem controla depunerea
filmelor practic strat cu strat, facilitând astfel obţinerea unor filme foarte subţiri, de grosimi de
câteva constante de reţea.
2.2.2 Caracterizări ex-situ
Caracterizările ex-situ, reprezintă caracterizările care se fac după ı̂nchierea procesului de depunere,
şi aducerea eşantionului ı̂n contact cu mediul ambiant. Acest paragraf este ı̂mpărţit ı̂n trei
secţiuni, prima descrie metoda AFM de investigare a suprafeţelor filmelor, iar celelalte două se
ocupă cu prezentarea instalaţiilor de măsurarea a proprietăţile de transport electric, şi a celor
magnetice.
Microscopul cu forţă atomică, AFM
Microscopul cu forţă atomică (atomic force microscope, AFM) este folosit pentru caracterizarea
suprafeţelor filmelor din punct de vedere al morfologiei acestora. În principiu, aşa cum se poate
observa ı̂n Fig.2.10, microscopul este format dintr-un cantilever de care este ataşat un vârf. Pe
Modul decontrol
AmplificatorScaner
xyz
Laser Sistem defotodiode
Aparat demasura
Cantilever
Proba
Aparat demasura
Figura 2.10: Schema de principiu a microscopului cu forţă atomică, AFM.
cantilever se trimite o rază laser, care suferă o reflexie pe acesta, pentru ca mai apoi ea să fie
24
-
preulată de un sistem de fotodiode. Vârful fixat pe cantilever interacţionează cu atomii de pe
suprafaţa filmului, interacţiune de tip Van der Waals, astfel ı̂ncât cantilever-ul se va deplasa faţă
de poziţia lui de echilibru. Reflexia spotului laser va cădea ı̂n alt punct pe sistemul de fotodiode.
Semnalul cules de pe fotodiode, proporţional cu deplasarea cantilever-ului, este măsurat şi trecut
printr-un modul de control care mai apoi trimite un semnal printr-un amplificator. Acest semnal
mişcă proba astfel ı̂ncât ansamblul cantulever-vârf să revină ı̂n poziţia de echilibru. De asemenea
semnalul este măsurat, pentru că el este o măsură a deplasării vârfului şi mai apoi prelucrat
pentru a crea imaginea suprafeţei. Trebuie amintit faptul că dimensiunile vârfului sunt de ordinul
a câţiva µm.
Caracterizarea electrică
În continuare vom descrie instalaţia de măsurare a rezistenţei electrice ı̂n câmp magnetic.
Realizarea şi automatizarea acesteia a făcut parte din activitatea desfăşurată pe parcursul
Sursa decurent
Nanovoltmetru
PC
Voltmetru
Serial
GPIB
Controlcurentelectromagnet
Controlsenscurent
FP-TB-10
FP-RLY 422
Electromagneti
Cusca Faraday
Miez magnetic moale
Sonda Hall
Suport electromagneti
Suportport-proba
Serial(RS 232)
Figura 2.11: Instalaţia de măsurare a rezistenţei electrice ı̂n câmp magnetic, schemă.
pregătirii acestei lucrări. Instalaţia se compune dintr-o sursă de curent (Keithley 6221) şi
un naonvoltmetru (Keithley 2182a). Cele două aparate constituie efectiv partea de măsură
25
-
a rezistenţei electrice a probelor. Ambele sunt interfaţabile cu calculatorul prin intermediul unui
port GPIB (General Purpouse Interface Bus). Pentru partea de măsurare a câmpului magnetic
aplicat, se foloseşte o sondă Hall. Căderea de tensiune se măsoară cu un voltmetru (Keithley
Figura 2.12: Instalaţia de măsurat rezistenţa electrică ı̂n funcţie de câmpul magnetic.
2000), şi el interfaţabil. În ceea ce priveşte controlul câmpului magnetic, acesta se face prin con-
trolul curentului prin electromagnet. Calculatorul dispune de o placă FieldPoint cu o ieşire de
tensiune ı̂ntre 0-10 V, care comandă un element de execuţie, care la rândul lui comandă curentul
prin electromagneţi, alimentaţi de la o baterie de acumulatori. S-a ales soluţia alimentării de la
acumulatori, datorită curentului constant pe care ı̂l debitează. Sensul curentului este comandat
de două relee de putere, controlate de două relee de putere mai mică aflate tot pe placa Fied-
Point. Programul care controlează toată apatura descrisă mai sus a fost dezvoltat ı̂n mediul de
programare LabVIEW. Cu ajutorul programului se pot descrie segmentele de câmp pe care să
se efectueze măsurătorile, se pot seta aparatele de măsură, are de asemenea o opţiune de salvare
a datelor ı̂ntr-un fişier, precum şi o parte de reprezentare grafică a rezultatelor, ı̂n timp real.
Scema de principiu este redată ı̂n Fig.2.11, iar instalaţia propriu-zisă ı̂n Fig.2.12.
Măsurarea efectivă a rezistenţei se face prin metoda celor patru puncte. Aceasta presupune
26
-
că există două contacte prin care este injectat curentul de mas̆ură şi alte două pe care se măsoară
căderea de tensiune. Schema metodei este prezentată ı̂n Fig.2.13. Metoda se foloseşte pentru
Filmul studiat
Contactde argint
U+I+ I- U-
Figura 2.13: Metoda celor patru puncte de măsurare a rezistenţei.
eliminarea, prin calcul, a tensiunii de contact care apre ı̂ntre film şi contacte. Pentru aceasta se
injectează curentul I ı̂ntr-un anumit sens şi se citeşte tensiunea, notată cu U+, a nu se confunda
cu contactul U+ din figura precendentă. Se schimbă sensul curentului, păstrând valoarea lui
neschimbată, şi se citeşte noua tensiune U−. Rezistenţa probei va fi dată de formula:
R =U+ − U−
2I(2.1)
Datorită faptului că tensiunile de contact nu ı̂şi scimbă semnul la schimbarea sensului curentului
prin probă, ele se vor reduce ı̂n momentul efectuării scăderii U+ − U−.
Caracterizarea magnetică
Măsurătorile magnetice, ciclurile de histereză, au fost realizate pe un magnetometru cu probă vi-
brantă, VSM (Vibrating Sample Magnetometer), la ”Laboratoire de Phisique des Materiaux” din
cadrul Universităţii ”Henri Poincaré”, Nancy, Franţa. Fenomenul care stă la baza funcţionării
magnetometrului este inducţia electromagnetică. Astfel, electromagnetul creează un câmp mag-
netic care interacţionează cu proba studiată, interacţiune care se manifestată prin existenţa unei
magnetizări a probei. Proba are o mişcare oscilatorie creată de un vibrator, comandat la rândul
27
-
Bobinele de masura(pick-up coils)
Vibrator
Tija cuart
Electromagnet
Miez magneticmoale
Proba
Suportelectomagnet
Suportvibrator
Amplificatorlock-in
Oscilator
UR
PC
U=U sin( t )w0 0
U =U sin( t + )MM 0p_2
w0
Figura 2.14: Schema de principiu al magnetometrului cu probă vibrantă.
lui de un oscilator, cu o anumită frecvenţă, ω0. Mişcarea probei magnetizate crează un flux
variabil ı̂n bobinele de măsură, care duce la apariţia unei tensiuni induse, conform legii lui Lenz,
e = −dΦdt
. Fluxul magnetic variază şi el cu acelaşi ω0, astfel ı̂ncât tensiunea măsurată, e, va fi
defazată cu π/2 faţă de frcvenţa de comandă. Amplificatorul lock-in are rolul de a măsura doar
tensiunea care este defazată cu π/2 faţă de semnalul de referinţă, adică doar tensiunea indusă.
Magnetometrul este prezentat schematic ı̂n Fig.2.14. Legătura dintre magnetizare şi tensiunea
măsurată se face ı̂n urma unei etalonări cu o probă standard de Ni.
28
-
Capitolul 3
Prepararea şi caracterizarea
structurilor multistrat
În acest capitol va fi prezentat modul de preparare al structurilor, precum şi ca- racterizarea
acestora. Aşa cum am menţionat ı̂n capitolul anterior, probele au fost crescute prin două metode
diferite, epitaxie prin jet molecular şi evaporare prin bombardament cu electroni. Înainte de a
trece la prezentarea efectivă a eşantioanelor, vom face o descriere generală a structurii probelor.
Schematic o structură tipică este prezentată ı̂n Fig.3.1. Ea are ca şi suport fizic un substrat
Partea activa a structurii
Strat tampon (Buffer layer)
Substrat
Strat de protectie (Cap layer)
Figura 3.1: Schema unei structuri multistrat.
monocristalin care poate fi de exemplu, oxid de magneziu (MgO), siliciu (Si), safir(Al2O3), ti-
tanat de stronţiu (SrTiO3), etc. Aşa cum se poate observa, urmează aşa numitul strat tampon
(buffer layer). Acesta are mai multe roluri, cum ar fi, adaptarea nepotrivirii reticulare dintre sub-
strat şi partea activă a structurii, ı̂mbunătăţirea rugozităţii, ı̂mbunătăţirea aderenţei structurii
pe substrat, adaptarea coeficientului de dilatare termică. Structura propriu-zisă este formată,
aşa cum am menţionat ı̂n Capitolul 1, dintr-o succesiune de straturi magnetice şi nemagnetice a
29
-
căror rol va fi explicat pentru fiecare structură ı̂n parte. Ultimul strat este de protecţie ı̂mpotriva
oxidării părţii active. Trebuie menţionat faptul că ı̂nainte de depunere toate substraturile au
fost spălate mai ı̂ntâi ı̂n acetonă, şi mai apoi ı̂n alcool izopropilic ı̂ntr-o baie de ultrasunete.
Înainte de a trece la prezentarea modului de prepararea şi la prezentarea rezultatelor diferitelor
caracterizări, vom descrie principiile care au stat la baza alegerii structurilor pe care le-am relizat.
S-a văzut că ı̂ntr-o structură multistrat de tip feromagnet/nemagnet/feromagnet, rezistenţa elec-
trică este mai mare atunci când magnetizările straturilor feromagnetice succesive sunt antipar-
alele, configuraţie antiferomagnetică, decât ı̂n cazul când magnetizările sunt paralele.̂Insă pentru
a putea obţine o configuraţie antiferomagnetică cu ajutorul unui câmp magnetic exterior, Hext,
magnetizările straturilor trebuie să poată fi rotite independent, cu alte cuvinte cele două filme
feromagnetice trebuie să aibă câmpuri coercitive diferite. Acest lucru poat fi obţinut dacă cele
strturile vor fi făcute din materiale feromagnetice diferite (feromagnet1/nemagnet/feromagnet2).
În Fig.3.2 sunt prezentate trei situaţii corespunzătoare a trei valori, direcţii şi sensuri diferite
ale câmpului magnetic aplicat. Stratul care are câmpul coercitiv mai mare va fi numit ”stratul
H > Hc > Hc12ext
FM2
NM
FM1 FM1
FM2
FM1
NM
FM2
NM
Hc Hc12ext
Figura 3.2: Trei situaţii ale magnetizării celor două filme,FM1, respectiv FM2, corespunzătoare a trei câmpuri
exterioare, Hext, diferite. Situaţiile (a) şi (c), configuraţii feromagnetice, sunt identice din punctul de vedere al
rezistenţei electrice a structurii, ı̂n timp ce pentru cazul (b), configuraţie antiferomagnetică, vom avea Rb >
Ra, Rc.
(magnetic) fix”, iar cel care are câmpul coercitiv mai mic va fi numit ”stratul (magnetic) liber”.
Pe lângă acest tip de structură, s-a mai realizat şi alta, ı̂n care stratul fix a fost ı̂nlocuit
cu un aşa-numit ”antiferomagnet artificial”. Antiferomagnetul artificial constă practic din două
straturi magnetice, separate de un strat metalic nemagnetic, care prin intermediul acestuia se
cuplează ı̂ntr-o configuraţie antiferomagnetică, adică magnetizările celor două straturi magnetice
sunt antiparalele. Cuplajul este un cuplaj de schimb indirect, asemănător cu cuplajul de tip
RKKY, şi are un caracter oscilator ı̂n funcţie de grosimea stratului nemagnetic. Caracterul
oscilator se manifestă prin cuplarea alternativă ı̂n configuraţii fero,-, respectiv antiferomagnetice
30
-
a straturior magnetice. Evident, pentru crearea antiferomagnetului artificial grosimea stratului
nemagnetic s-a ales ı̂n aşa fel ı̂ncât cuplajul să fie antifermagnetic. În Fig.3.3 este prezentat o
simulare a unui ciclu de histereză a unui AAF (artificial antiferromagnet). Simularea s-a făcut
mimimizând ı̂n funcţie de unghirile θ1 şi θ2, unghirile pe care magnetizările celor două straturi
le fac faţă de câmpul magnetic aplicat, funcţionala de energie din expresia (3.1), [15]:
E = K1t1sin2θ1 + K2t2sin
2θ2 − JAF cos(θ2 − θ1) − JBQcos2(θ2 − θ1) −
−H(M1t1cosθ1 + M2t2cosθ2). (3.1)
Primii doi termeni reprezintă energia de anizotropie unixială a celor două straturi, K1 şi K2 sunt
consantele de anizotropie, iar t1, respectiv t2 reperezintă grosimile celor două straturi. JAF ,JBQ,
sunt intensităţile cuplajului antiferomagnetic biliniar şi a celui bicuadratic. Ultimul termen
reprezintă suma energiilor Zeeman a celor două straturi. Trebuie menţionat faptul că ı̂n figură
este redată doar o imagine calitativă a ciclului [13],[14]. Astfel, ı̂n situaţia (1) din figură, câmpul
(1) (2)
(3)
(4)
(5)(6)
H
AAF
H
-HC
S-H-H PP
SM
/M
-1
0
1
H
(1)(2)
(3) (4)
(5) (6)
q1
q2
S
Figura 3.3: Simularea ciclului de histereză a unui antiferomagnet artificial. Alăturat sunt prezentate situaţiile
(1)-(6), indicate ı̂n grafic, ı̂n care sunt reprezentate filmele şi magnetizările acestora ı̂n situaţiile respective.
exterior are o asemenea valoare ı̂nâct este capabil să ı̂nvingă cuplajul dintre cele două filme
şi să alinieze magnetizările acestora pe direcţia sa. Câmpul de la care magnetizările filmelor
ajung la saturaţie se numeşte câmp de saturaţie,HS. Pe măsură ce câmpul magnetic scade sub
valoarea HS, păstrâ ndu-şi ı̂nsă sensul,(2), magnetizările vor face, conform calculelor amintite,
31
-
unghiurile θ1 şi θ2. θ2 va creşte până când magnetizarea startului inferior va fi antiparalela
cu câmpul(θ2 = 180o), ı̂n timp ce θ1va creşte după care revine la 0
o, cuplajul fiind ı̂n acest
moment mai puternic decât câmpul aplicat, astfel ı̂ncât se obţine configuraţia antiferomagnetică
magnetizărilor, (3). Câmpul magnetic de la care se stabileşte configuraţia antiferomagnetică, se
numeşte câmp de platou, HP . După ce se inversează sensul câmpului şi se continuă creşterea lui
ı̂n sens negativ, ı̂ntreaga configuraţie basculează cu 180o, (4). Se defineşte astfel câmpul coercitiv
al structurii, HAAFC . În continuare situaţia este ca cea descrisă ı̂n situaţiile descrise până acum,
fiin rotite doar cu 180o. Astfel se trece printr-o situaţie intermediară, (5), pentru ca la câmpuri
mai mari, ı̂n valoare absolută, decât −HS cuplajul să fie anihilat şi magnetizările să fie paralele,
(6).
Folosind astfel antiferomagnetul artificial pe post de ”strat” magnetic fix, s-a depus un alt
strat nemagnetic, şi apoi un strat feromagnetic, acesta din urmă fiind stratul liber.
3.1 Eşantionul depus prin epitaxie prin jet molecular
3.1.1 Preparare
Proba depusă prin această metodă are urmatoarea structură:
MgO/Cr(2nm)/Pd(90’)/Co(3nm)/Ru(0.8nm)/Co(5nm)/Au(4.5nm)/Fe(5nm)/Pd(15’).
Aşa cum se poate observa substratul structurii a fost din oxid de magneziu. Straturile de
Cr şi Pd reprezintă straturile tampon. Urmează două straturi de Co separate printr-un strat
de Ru. Straturile de Co sunt cuplate antiferomagnetic prin intermediul stratului de Ru, şi
constituie antiferomagnetul artificial, stratul fix. Stratul de Au separă antiferomagnetul artificial
de stratulde Fe, care este stratul liber, adică stratul magnetic a cărui magnetizare se schimbă
odată cu câmpul exterior. Pd-ul depus peste Fe este stratul de protecţie.
Presiunea ı̂n incintă ı̂n timpul depunerii a fost de ordinul a 10-9 Torr. Pentru evaporarea Pd
şi a Fe s-au folosit celulele de efuzie Knudsen ı̂ncălzite la 1280oC. Restul materialelor au fost
evaporate prin bombardament cu electroni. După ı̂ncheierea depunerii stratului de Pd din buffer,
acesta a fost supus unui tratament termic la 450oC, timp de 15 minute. Rolul tratamentului
este acela de a obţine o suprafaţă cât mai plană a stratului de Pd. Din figura RHEED (Fig.3.4)
se observă că s-a obţinut efectul dorit, liniile drepte indicând aşa cum am amintit ı̂n capitolul
precedent o creştere bidimensională a filmului. În continuare, la creşterea primului film de Co, de
32
-
Figura 3.4: Figura RHEED obţinută pe Pd după tratamentul termic(450oC timp de 15 minute).
0 500 1000 1500 2000 2500
60
70
80
90
100
110
120
130
140
Timp
Inte
nsit
ate
Figura 3.5: Oscilaţiile RHEED obţinute la creşterea primului strat de Co.
grosime de 30Å, s-au folosit oscilaţiile RHEED pentru a obţine grosimea dorită. Fiecărui maxim
de oscilaţie ı̂i corespunde creşterea unui monostrat de Co, astfel, numărând maximele se observă
ca acestea sunt ı̂n număr de 10, ceea ce indică grosimea aproximativă de 30Å, aproximativă,
din cauză că reţeaua Co nu are constanta de exact 3Å (Fig.3.5). Controlul creşterii straturilor
următoare s-a făcut cu ajutorul oscilatorului de cuarţ.
3.1.2 Caracterizare
Pentru ı̂nceput prezentăm ciclul major de histereză al probei, Fig.3.6. Deasupra straturiloor care
formează antiferomagnetul artificial au mai fost depuse un strat nemagnetic, Au, şi unul feromag-
netic, Fe. Datorită faptului că stratul de Fe are un câmp coercitiv mic ı̂n raport cu câmpurile din
graficul de mai jos, prezenţa lui nu infulenţează comprtamentul structurii, astfel, pe grafic avem
reprezentat ciclul de histereză a antiferomagnetui artificial. Se observă asemănarea acestuia
33
-
cu graficul din Fig.3.3, prin prezenţa tuturor segmentelor care definesc comportamentul specifc
unei astfel de structuri. Astfel, ı̂n situaţia (1) momentele magnetice ale tuturor straturilor
-15000 -10000 -5000 0 5000 10000 15000
-1.0
-0.5
0.0
0.5
1.0
M/M
S
H (Oe)
HH
-H -HS P
P
S
Fe
Au
Co
Ru
Co
H =10.000 Oe
H = 2.500 Oe
S
-
(1)(2)
(3)
(4)
(5)(6)
(1)
(4)
(2) (3)
(5) (6)
Figura 3.6: Ciclu major de histereză pentru eşantionul preparat prin MBE. Cele şase situaţii, (1)-(6), prezen-
tate pe ciclul simulat sunt indicate şi pe această figură, ı̂mpreună cu reprezentarea magnetizării stratului de Fe
pentru situaţiile corespunzătoare.
sunt orientate ı̂n sensul câmpului aplicat. Pe măsură ce valoarea câmpului scade, (2), magne-
tizările straturilor de Co vor avea comprtamentul descris pe simularea prezentată la ı̂nceputul
capitolului, adică vor face unghiurile θ1, respectiv θ2, prnteu a se stabiliza ı̂n configuraţie an-
tiferomagneică, (3), datorită cuplajului, ı̂ncepând de la un câmp de platou, HP , evaluat grafic
ca având o valoare de aproximativ 2500 Oe. Câmpul de saturaţie a fost eterminat de asemenea
grafic ca fiind ı̂n jurul valorii de 10000 Oe. În tot acest interval de câmp magnetizarea stratului
de Fe rămâne neschimbată. La (4), magnetizarea stratului de Fe este inversatc̆u 180o, la fel şi
mgnetizările straturilor de Co. Pentru a determina mai exact ı̂n ce fel are loc această trecere
s-au efectuat măsurători de mgnetizare ı̂n interiorul intervalului +HP ,−HP , ciclul minor de his-
tereză, prezentat mai jos. Situaţiile (5) şi (6) sunt asemănătoare cu cele prezentate ı̂n ciclul de
la ı̂nceputul capitolului. În aceste două situaţii magnetizarea filmului de Fe rămâne identică cu
cea de la configuraţia (4).
Aşa cum am spus, pentru a determina modul ı̂n care are loc ı̂ntoarcerea magnetizării filmelor
s-a realizat ciclul minor de histerză, prezentat ı̂n Fig.3.7, ı̂mpreună cu măsurătoarea rezistenţei
34
-
-1000 -500 0 500 1000
0.4736
0.4738
0.4740
0.4742
0.4744
0.4746
0.4748
0.4750
0.4752
0.4754
0.4756
R(W
)
H ( Oe )
-1000 -500 0 500 1000
-1.0
-0.5
0.0
0.5
1.0
M/M
S
H (Oe)
(1)
(3)
(2)
(4)
(1)
(1)
(2)
(2)
(3)
(3)
(4)
(4)
DR=0,338 %
Figura 3.7: Ciclul minor de histereză şi dependenţa rezistenţei electrice de câmpul mgnetic aplicat.
Configuraţiile magnetizărilor straturilor pentru situaţiile (1)-(4) indicate pe cele două grafice.
structurii, ca funcţie de câmpul magnetic aplicat. Situaţia de la care se porneşte, (1), este aceea
ı̂n care 0 < Hext < HP . Magnetizările filmelor de Co se află, datoită cuplajului, ı̂n configuraţie
antifeomagnetică, iar magnetizarea flimului de Fe este saturată ı̂n direcţia şi sensul lui Hext.
Când câpmul ı̂şi schimbă sensul, prima magnetizare care se roteşte, la câteva zeci de Oe, este
magnetizarea Fe, ceea ce ı̂nsemnă că ı̂ntr-adevăr câmpul coercitiv al filmului de Fe este destul
de mic (2). Odată cu rotirea magnetizării acestui film se observă o creştere bruscă a rezistenţei
structurii. Creşterea bruscă rezistenţei se explică prin rotirea ı̂ntr-un interval relativ mic de
câmp a magnetizării ceea ce duce la o configuraţie antiferomagnetică a stratului de Fe cu stratul
imdediat următor de Co. Pe măsură ce câmpul magnetic scade, magnetizările celor două straturi
35
-
cuplate de Co se rotesc la rândul lor cu 180o. Pe măsură ce rotaţia magnetizării filmelor de Co se
apropie de 180o, rezistenţa structurii scade din cauză că magnetizarea filmului de Fe este acum
paralelă cu cea a filmului de Co din apropierea acestuia, (3). Crescând câmpul şi inersându-i
din nou sensul (Hext > 0), (4), magnetizarea stratului de Fe ı̂şi se roteţe din nou, determinând
un nou salt al rezistenţei structurii. După ce magnetizările antifermagnetului artificial se rotesc
şi ele, structura trece din nou ı̂ntr-o stare de rezistenţă minimă. Calculând raportul magneto
rezistiv după formula (1.1), se obţine valoarea de ∆R/R = 0.338%.
Deşi pe acestă probă nu s-a făcut un studiu de morfologie, ı̂n Fig.3.8, este prezentat imag-
inea AFM, a unei structuri asemănătoare, depusă prin MBE, care are următoarea structură:
MgO/Cr(2nm)/Pd(30nm)/Co(5nm)/Ru(0.8nm)/Co(3nm)/Au(4.5nm)/Fe(5nm)/Cr(2nm).
Figura 3.8: Imaginea şi analiza AFM a unei structuri depuse prin MBE..
Se poate vedea că rugozitatea este ı̂n jurul valorii de 1.25Å. Această rugozitate mică este o
36
-
măsură a calităţii filmului, şi poate explica proprietăţile mai bune ale probei faţă de eşantioanele
przentate ı̂n continuare. Menţionăm că analiza AFM a fost efectuată pe ultimul strat, cel de
protecţie, de Cr.
3.2 Eşantioanele depuse prin evaporare prin bombarda-
ment cu electroni
Prin această metodă s-au depus trei structuri. Prima care va fi prezentată are parte activă un
strat de Co, stratul magnetic ”fixat”, adică cu câmpul coercitiv mai mare, un strat de Cu, şi un
strat de Fe având câmpul coercitiv mai mic. În a doua strucură s-a ı̂nlocuit stratul simplu de
Co cu un antiferomagnet artificial, Co/Ru/Co, restul structurii rămânând neschimbată. În fine,
ultima structură are partea activă identică cu cea a primei structuri, dar ı̂ntre stratul tampon
şi Co s-a introdus un strat de MgO, care ı̂n teorie ar fi trebuit să izoleze din punct de vedere
electric stratul tampon de restul structurii şi să producă o creştere a raportului magnetorezistiv.
3.2.1 Preparare
Datorită faptului că cele trei structuri au fost preparate prin aceeaşi metodă şi au, ı̂n principiu,
structuri asemănătoare, nu vom descrie modul de preparare pentru fiecare probă ı̂n parte, ci
vom face o prezentare comună a depunerilor.
Eşantioanele au următoarea structură: Si/Ru(30nm)/(MgO(15nm))/parte activă/Cr(2nm).
Partea activă va fi descrisă pentru fiecare ı̂n parte ı̂n secţiunea următoare. Aşadar, structurile
au fost depuse pe un substrat de Si(111). Presiunea ı̂n incintă a fost de ordinul a 10−7Torr.
Controlul grosimii şi a ratei de depunere s-a realizat cu un măsurător de grosime cu oscilator
cu cuarţ. Stratul tampon a fost realizat din Ru. Înainte de a depune efectiv Ru, substratul
a fost ı̂ncălzit la 400oC, a fost menţinut la această temperatură ı̂n timpul depunerii, precum
şi 30 de minute după ı̂ncheierea acesteia, pentru a micşora pe cât posibil rugozitatea filmului
astfel obţinut. Restul filmelor s-au depus la temperatură ı̂n jurul valorii de 90oC, după răcirea
stratului tampon. Stratul de protecţie este reprezentat de filmul de Cr.
37
-
-1200 -1000 -800 -600 -400 -200 0 200 400 600 800 1000 1200
1.8459
1.8468
1.8477
1.8486
DR = 0.127 %
R(O
hm
)
H ( Oe )
(3) (1)
(2)
(4)
Co
Cu
Fe(1)
(2)
(3)
(4)
DR/R=0.127%
Figura 3.9: Variaţia rezistenţei electrice ı̂n funcţie de câmpul magnetic aplicat.
3.2.2 Caracterizare
Prima dintre structurile depuse are partea activă ca şi cea descrisă ı̂n Fig.3.2, şi anume ea este
formată din două straturi feromagnetice, unul de Fe şi altul de Co, cu câmpuri coercitive diferite
separate de un strat de Cu. Proba are, astfel, are următoarea compoziţie:
Si/Ru(30nm)/Co(6nm)/Cu(6nm)/Fe(10nm)/Cr(2nm). Această probă a fost caracterizată nu-
mai din punc de vedere al dependenţei rezistenţei electrice de câmpul magnetic aplicat. Rezul-
tatul este prezentat ı̂n Fig.3.9. Alăturat graficului sunt prezentate şi situaţile, indicate pe acesta,
magnetizărilor celor două filme feromagnetice. Astfel, la (1) magnetizările sunt saturate pe
direcţia şi sensul câmpului magnetic exterior. După ce acesta ı̂şi schimbă sensul, primul strat
a cărui magnetizare se roteşte este cel de Fe, care are un câmp coercitiv mai mic, situaţia (2).
Aceasta este situaţia cu o configuraţie antiferomagnetică, ceea ce se traduce printr-o rezistenţă
mare a probei. Crescând mai departe câmpul se ajunge din nou la saturaţie, corespunzătoare
unei rezistenţei reduse, (3). La ı̂ntoarcere vom avea din nou un salt similar cu cel din (2), core-
spunzător situaţiei (4), pentru a reveni mai apoi la situţia (1). Raportul magnetorezistiv este
de 0.127%, aşa cum este indicat şi ı̂n figură.
38
-
-4000 -2000 0 2000 4000
1.5905
1.5910
1.5915
1.5920
1.5925
1.5930
1.5935
1.5940
DR = 0.122 %
R(O
hm
)
H ( Oe )
-600 -400 -200 0 200 400 600
1.5940
1.5945
1.5950
1.5955
1.5960
1.5965
(6)
(1)
(4)
(2)
(5)
Fe
Cu
Co
Ru
Co
(1)
(4)
(2) (3)
(5) (6)
(3)
DR/R=0.122%
Figura 3.10: Variaţia rezistenţei electrice ı̂n funcţie de câmpul magnetic aplicat.
Cea de-a doua structură pe care o vom prezenta are ı̂n locul stratului de Co, un antiferomag-
net artificial de tip Co/Ru/Co. Structura acestei probe este:
Si/Ru(30nm)/Co(3nm)/Ru(0.8nm)/Co(3nm)/Cu(6nm)/Fe(10nm)/Cr(2nm). În Fig.3.10 este
prezentată de asemenea varaiaţia rezistenţei ı̂n funţie de câmpul magnetic aplicat. Configuraţiile
magnetizăriolr sunt aproape identice cu cele prezentate ı̂n ciclul major de histereză al probei de-
puse prin epitaxie prin jet molecular. Diferenţa constă ı̂n faptul că̂ın cazul de faţă straturile care
formează antiferomagnetul artificial sunt cuplate mult mai slab ı̂ntre ele, astfel ı̂ncât saturaţia
structurii are loc la câmpuri ı̂n jurul valorii de 2000 Oe, spre deosebire de valoarea de aproxima-
tiv 10000 Oe, la eşantionul depus prin MBE. Această difernţă se poate explica prin calitatea mai
proastă a filmelor depuse prin bombardare cu fascicol de electroni. În continuare este prezentată
analiza structurii Si/Ru(30nm)/Co(3nm)/Ru(0.8). Aşa cum se vede rugozitatea este de 2.33Å.
Rugozitatea este mai mare decât cea a probei depuse prin MBE. O variaţie mare a grosimii strat-
ului de Ru poate ı̂mpiedica realizarea cuplajului pe anumite porţiuni ceea ce duce la scăderea
câmpului de saturaţie. Raportul magnetorezistiv este apraope egal cu cel calculat ı̂n proba
prezentată anterior, şi anume ∆R/R = 0.122%. Trebuie menţionat faptul că acest raport a fost
calculat numai ı̂ntre valorile rezistenţei probei ı̂nainte şi după rotirea stratului de Fe.
Ultima structură este practic identică din punct de vedere magnetic cu prima probă prezen-
tată la această metodă. Diferenţa constă ı̂n aceea ca ı̂ntre stratul de Co si stratul tampon de
39
-
Figura 3.11: Imaginea şi analiza AFM a structurii Si/Ru(30nm)/Co(3nm)/Ru(0.8nm).
-600 -400 -200 0 200 400 600
1.7776
1.7784
1.7792
1.7800
DR/R = 0.104%
R(O
hm
)
H ( Oe )
(4)
(2)
(3)
(1)
(2)
(4)
Co
Cu
Fe(1)
(3)
Figura 3.12: Variaţia rezistenţei electrice ı̂n funcţie de câmpul magnetic aplicat.
Ru, s-au depus 15 nm de MgO pentru a izola din punct de vedere electric stratul tampon de
partea activă a structurii, pentru a aveaun semnal magnetorezistiv mai mare. Structura probei
este astfel, Si/Ru(30nm)/MgO(15nm)/
Co(6nm)/Cu(6nm)/Fe(10nm)/Cr(2nm). Curba dependenţei rezistenţei de câmp este redată ı̂n
Fig.3.12. Se observă că ı̂mbunătăţirea semnalului nu s-a produs, din potrivă, acesta a scăzut la
∆R/R = 0.104%. De asemenea se mai poate observa prin comparaţie cu structura fără stratul
izolator, tranziţia dintre starea de rezistenţă ridicată spre cea de rezistenţă joasă se face mai
abrupt acum ı̂n prezenţa stratului de oxid. Acest fapt se poate pune tot pe seama calitătii
filmelor, dar ı̂n acest caz nu s-a făcut un studiu AFM care să confirme această ipoteză.
40
-
Concluzii
Scopul acestei lucrări a fost punerea ı̂n evidenţă a magnetorezistenţei gigant şi a cuplajului
dintre straturile feromagnetice ı̂n structurile multistrat. Pentru aceasta au fost preparate două
tipuri de structuri: AAF/NM/FM şi FM/NM/FM, prin două metode de depunere diferite,
epitaxie prin jet molecular şi evaporare ı̂n fascicol de electroni. Ultimul tip de structură a
fost elaborată doar prin evaporare ı̂n fascicol de electroni. Ambele tipuri de structuri au
prezentat atât fenomenul de magnetorezistenţă gigant precum şi, acolo unde a fost cazul, cel
de cuplare a straturilor magnetice. Astfel, valoarea raportului magnetorezistiv pentru proba
MgO/Pd(30nm)/Co(3nm)/Ru(0.8nm)/Co(5nm)/Au(4.5nm)/Fe(5nm)/Pd(1.5nm) preparată prin
MBE a fost de 0.34%. Pentru probele depuse prin evaporare ı̂n fascicol de electroni, Si/Ru(30nm)
/Co(3nm)/Ru(0.8nm)/Co(3nm)/Cu(6nm)/Fe(10nm)/Cr(2nm) şi Si/Ru(30nm)/Co(6nm)
/Cu(6nm)/Fe(6nm)/Cr(2nm), valoarea acestuia a fost de aproximativ 0.12%. Prin izolarea
electrică a structurii active de stratul tampon de Ru, prin introducerea unui film de MgO, nu
s-a ı̂mbunăţit valoarea raportului magnetorezistiv, dimpotrivă acesta a scăzut pentru proba
Si/Ru(30nm)/MgO(10nm)/Co(6nm)/Cu(6nm)/Fe(6nm)/Cr(2nm) la 0.10%. Acest fapt poate
fi pus pe de o parte pe seama creşterii rugozităţii şi/sau a discontinuităţii stratului izolator.
Diferenţa dintre raportul magnetorezistiv al structurilor depuse prin MBE, şi cele depuse prin
evaporare ı̂n fascicol de electroni poate fi explicată prin morfologia mai slabă a filmelor obţinute
prin evaporare, fapt susţinut şi de analizele AFM. Din punct de vedere al proprietăţilor magnet-
ice a antiferomagneţiolr artificiali obţinuţi prin cele două metode, diferenţa se menţine. Astfel,
câmpul de saturaţie pentru structura obţinută prin MBE este de aproximativ 10000 Oe, indicând
prezenţa unui cuplaj puternic, ı̂n timp ce pentru cealaltă, acesta este de doar 2500 Oe. Concluzia
acestui studiu este că proprietăţile magnetice şi electrice ale structurilor multistrat sunt puternic
dependente de morfologia filmelor constituente.
41
-
Bibliografie
[1] M. N. Baibich, et. al., Phys. Rev. Lett. 61, 2472 (1988)
[2] G. Binasch, et. al., Phys. Rev. B 39, 4828 (1989)
[3] S. S. Parkin, Phys. Rev. Lett. 64, 2304 (1990)
[4] M. Ziese, M. J. Thorton (eds.), Spin Electronics, Springer (2001)
[5] N. F. Mott, H. Jones, The Theory of the Properties of Metals and Alloys, Clarendon Press
(1936)
[6] A. Fert, I. A. Campbell, J. Phys. F, 6, 849 (1976)
[7] J. Mathon, J. Magn. Magn. Mater. 100, 527 (1991)
[8] J. Barnaś, A. Fuss, R.E. Camley, Phys. Rev. B 42, 8110 (1990)
[9] U. Hartmann (ed.), Magnetic Multilayers and Giant Magnetoresistance, Springer (2000)
[10] A. Barthélémy, A. Fert, Phys. Rev. B 43, 13124 (1991)
[11] M. A. Herman, H. Sitter, Molecular Beam Epitaxy, Springer (1988)
[12] S. Andrieu, Course de physique des surfaces, Universitatea ”H. Poincaré”, Nancy
[13] C.Tiuşan, et. al.,Phys. Rev. B 64, 104423 (2001)
[14] C. Tiuşan, et. al., Phys. Rev. B 61, 580 (2000)
[15] C. Tiuşan, Teză de doctorat, Universitatea ”Louis Pasteur”, Strasbourg (2000)
[16] M. Coldea, Electronica Solidului, Presa UBB Cluj-Napoca (2002)
42
-
[17] R. K. Nesbet, IBM J. Res. Develop., 4, 55 (1998)
[18] B. Dieny, et. al., J. Appl. Phys., 87, 3415 (2000)
[19] R. O’Handley, Modern Magnetic Materials, John Wiley (2000)
43