Post on 12-Sep-2015
description
MICRODISPOZITIVE EVOLUTIA EIS CATRE ISFETs
CUPRINS1. Evolutia EIS2. Structura unui ISFETs3. ISFETs Celula de curgere continua4. Microstructuri
Diagrama Evolutiei EISISFETChemFETElectroziEISFir acoperitHibridEISCiclul EIS Evolutia
Diagrama EvolutieiISFETChemFETBiosensorIEISMICROELECTRONICHIBRID
ELECTROD DE LUCRU CONVENTIONAL EISCONVENTIONAL FIR ACOPERITFaza 1Faza 2Faza 3
Diagrama Bloc
Diagrama Bloc
STRUCTURA ISFET
Sectiune printr-un ISFET1start nitrura de siliciu; 2 membrana ion-selectiva cu ionofor; 3oxid de siliciu; 4 zona dopata -n; 5 substrat de siliciu
ISFET - uri
Celula de curgere continua
Structura membrana ion selectiva
Microstructura
Microstructura
*