MICRODISPOZITIVE EVOLUTIA EIS CATRE ISFETs

CUPRINS1. Evolutia EIS2. Structura unui ISFETs3. ISFETs Celula de curgere continua4. Microstructuri

Diagrama Evolutiei EISISFETChemFETElectroziEISFir acoperitHibridEISCiclul EIS Evolutia

Diagrama EvolutieiISFETChemFETBiosensorIEISMICROELECTRONICHIBRID

ELECTROD DE LUCRU CONVENTIONAL EISCONVENTIONAL FIR ACOPERITFaza 1Faza 2Faza 3

Diagrama Bloc

Diagrama Bloc

STRUCTURA ISFET

Sectiune printr-un ISFET1start nitrura de siliciu; 2 membrana ion-selectiva cu ionofor; 3oxid de siliciu; 4 zona dopata -n; 5 substrat de siliciu

ISFET - uri

Celula de curgere continua

Structura membrana ion selectiva

Microstructura

Microstructura

*