Instalatia Multifunctionala “Thin Films” (IMTF)

1. Sistem de baza pentru IMTF 1-1. Camera tehnologica pentru depuneri de straturilor subtiri in vid, cu: ● L= 500mm ● H = 575mm. 1-2. Sistem de pompare pentru vid curat si inaintat (sub 10~7 mbar), ce contine:

Pompa de vid preliminar 20 m3/h Pompa turbomoleculara, 500 l/s Robinet de izolare intre pompa turbomoleculara si preliminara; Robinet manual de ventilare a camerei tehnologice; Echipament de comanda si monitorizare a componentelor sistemului de vid si de masura a vidului

1.3 Echipamentul de rotire a substratului 1.4 Echipament electric de alimentare si comanda a Sistemului de baza al IMTF

2. Trei surse de pulverizare de tip Magneton cu: ● Diametrul tintei de pulverizare: 4" (3 kW) ● Racire indirecta cu apa ● Magneti permanenti din pamanturi rare

3. O sursa de cc/pulsata, pentru alimentare magnetron 1, cu: ● Putere: reglabila in domeniul 0-3000W ● Ttensiune: 0-800V

● Interfata pentru calculator: RS 232/485 4. O sursa de cc pulsat pentru alimentare magnetron 2, cu: ● Putere: reglabila in domeniul 0-2000W

●Tensiune: 0-800V cc pulsat ● Interfata pentru calculator: RS 232/485

5. Generator de RF, pentru alimentare magnetron 3, cu: ● Putere: 300-600W; ● Frecventa nominala: 13,56 MHz; ● Interfata pentru calculator: RS 232/485; ● Retea automata de adaptare 6. Echipament de dozare, masura si control a debitului de gaza, cu:

Controler de debit de gaze, calibrat pentru Ar/N2 pentru 0-100 cm3/mm (sccm); Unitate de alimentare si afisare pentru 1/2 canale (gaze de lucru)

7. Spectrometru de masa cuadrupolar, pentru analiza gazelor reziduale din spatiul tehnologic, sau pentru monitorizarea procesului de pulverizare, cui:

Domeniul de mase detectat: 0- 300 amu 8. Echipament pentru evaporare termica rezistiva, cu

Putere nominala: 3 kVA Tensiune de lucru reglabila in domeniul 0-12 V AC

9. Echipament cu cristal de cuart, pentru masurarea grosimii straturilor depuse in vid integrat in sistemul de comanda si automatizare al instalatiei IMTF.

Comanda surselor de alimentare, a evaporatoarelor rezistive sau a magnetroane de pulverizare se face in regim manual sau automat cu monitorizare pe PC, folosind draivere cu soft Labview, realizate de UTBv.

DFH din IFIN-HH are capabilitatea de a asigura transferul IMTF si al tehnologiilor de depunere a straturilor subtiri in vid si catre alti utilizatori.