RAPORT DE CERCETARE Nr. 9 / 21.09 - ssll.inflpr.rossll.inflpr.ro/ISOTEST/Raportari/R9.pdf- Testare /...
Transcript of RAPORT DE CERCETARE Nr. 9 / 21.09 - ssll.inflpr.rossll.inflpr.ro/ISOTEST/Raportari/R9.pdf- Testare /...
PROGRAMUL OPERAŢIONAL SECTORIAL CREŞTEREA
COMPETITIVITĂŢII ECONOMICE
AXA PRIORITARĂ 2 – COMPETITIVITATE PRIN CDI
Operaţiunea 2.1.2: "Proiecte CD de înalt nivel ştiinţific cu participarea unor
specialişti din străinătate"
Titlul / Acronimul proiectului: Facilitate pentru diagnoza de fascicul laser si
caracterizare / certificare ISO a comportarii componentelor optice / materialelor sub
actiunea fasciculelor laser de mare putere / ISOTEST.
RAPORT DE CERCETARE Nr. 9 / 21.09.2012
Perioada de raportare: 23.06.2012 – 21.09.2012
2
INFLPR
Sectia Laseri
Raport de Cercetare nr. 9 / 21.09.2012
In cadrul activitatilor prevazute pentru a 9-a perioada de raportare (23.06.2012 –
21.09.2012) au fost obtinute urmatoarele rezultate:
Activitatea 2.3. Teste preliminare si finale pentru optimizarea functionarii instalatiei automate
privind derularea automata a procedurilor de masurare, detectarea PDCL, achizitia si
procesarea datelor furnizate de senzorii de masura.- Realizat.
A fost receptionata Etapa 4 (ultima) a contractului DELISOFT, intitulata "Asistenta si
modificari ale software-ului de operare pe durata testelor tehnologice de optimizare a procedurii
automate S-on-1". In cadrul acestei etape au fost aduse ultimile imbunatatiri si a fost definitivat
programul software de operare al procedurii S-on-1 pentru masurarea pragului de distrugere in
camp laser (PDCL) a suprafetelor optice, conform ISO 21254-2:2011.
Testele finale pentru optimizarea functionarii instalatiei automate ISOTEST in procedura
ISO S-on-1 de masurare a PDCL au fost efectuate pe statia automata in pulsuri de nanosecunde in
perioada 05.05.12 – 06.07.12. Rezultatele obtinute au demonstrat o functionare corecta a
procedurii automate S-on-1, conform cerintelor tehnice de arhitectura si operare cuprinse in
Caietul de sarcini 01-10.03.2011.
Componente optice de test au fost furnizate de Ophir Optics SRL (Newport-Ophir, Israel).
Rezultatele specificate mai sus sunt sintetizate in P.V. de Receptie Finala nr. 1170/06.07.2012
incheiat cu DELISOFT SRL, prezentat in ANEXA 1 a prezentului raport de cercetare.
Activitatea 2.4. Intocmirea documentatiei pentru acreditare RENAR. Se vor defini operatiunile
de certificare pentru care se solicita acreditarea RENAR, tinand cont de prioritatile potentialilor
beneficiari ai facilitatii ISOTEST. - Realizat.
A fost intocmit dosarul tehnic pentru RENAR, Asociatia de Acreditare din Romania, in
vederea acreditarii Sectiei Laseri din INFLPR ca Organism de Evaluare a Conformitatii (OEC)
pentru urmatoarele proceduri de test dezvoltate in cadrul proiectului ISOTEST:
- Masurare /certificare PDCL a componentelor optice prin Testul S-on-1, conform cu standardul
ISO 21254-2:2011;
- Testare / certificare fiabilitate a componentelor optice in camp laser prin Testul tip 2, conform cu
standardul ISO 21254-3:2011.
Dosarul RENAR include urmatoarele documente:
3
- Cerere pentru acreditarea Sectiei Laseri din INFLPR;
- Lista cu documente normative aplicabile domeniului solicitat (standardul SR EN ISO/CEI 17025
: 2005);
- Lista domeniilor pentru care se solicita acreditarea (Incercarea rezistentei componentelor optice
in camp laser);
- Lista echipamentelor OEC incluse in Statia Automata de masurare PDCL in pulsuri laser de
nanosecunde;
- Manualul calitatii – management;
- Matrici de corespondenta (Competenta, Personal si Documentatie OEC);
- Protocolul de operare pentru procedurile ISO S-on-1 si Fiabilitate tip 2 efectuate pe Statia
Automata in pulsuri laser de nanosecunde.
Protocolul de operare S-on-1 / Fiabilitate tip 2 este prezentat in ANEXA 2 a prezentului
raport.
Activitatea 2.5. Efectuare de teste / masurari conform procedurilor ISO elaborate si
implementate privind:
- Diagnoza de fascicul pe laseri in pulsuri scurte / ultrasurte dezvoltati de INFLPR: sistemul
oscilator; microchip – amplificator in pulsuri de sute de picosecunde si sistemul laser in
femtosecunde CPA-2101.
- Diagnoza de fascicul pe laseri / echipamente laser portabile cu emisie in unda continua sau
pulsat;
- Masurarea PDCL, a fiabilitatii componentelor optice pe laseri in pulsuri scurte / ultrasurte
dezvoltati de INFLPR. Realizat partial, conf. Calendar.
Au fost efectuate:
Masurari conform ISO 11146-1:2005 privind diagnoza de fascicul pe oscilatorul microchip al
sistemului laser Nd;YAG cu emisie in pulsuri de sute de picosecunde la lungimea de unda de
1064 nm, realizat in Sectia Laseri din INFLPR. Frecventa de repetitie a pulsurilor generate de
sistemul laser este de 1 kHz la o putere medie de fascicul de 1 mW, corespunzatoare unei energii
laser per puls de 10 µJ. Fasciculul laser este polarizat liniar.
Au fost masurati urmatorii parametri de propagare ai fasciculului laser:
- dimensiunile transversale minime de fascicul (talia), dσ0, exprimate in momente de ordinul 2;
- pozitia taliei, z01, pe axa de propagare a fasciculului;
- lungimea Rayleigh in jurul taliei, zR1;
- factorul de merit (parametrul de propagare) M2;
4
- divergenta unghiulara σ1 (unghiul intreg).
Masurarile au fost efectuate atat in aproximatia de fascicul laser stigmatic (fascicul cu
distributie circulara a densitatii de putere in plan transversal pe directia de propagare), cat si in
aproximatia de fascicul aliniat simplu astigmatic (fascicul cu distributie transversala de densitate
de putere eliptica, orientarea axelor principale ale elipsei ramanand constanta si aliniata cu axele x
si y, la diferite distante de propagare ale fasciculului). Abaterea standard a rezultatelor masurarilor
a fost de ± 1 %. Rezultatele detaliate ale masurarilor sunt aratate in ANEXA 3 a prezentului
raport.
Masurari conform ISO 11146-1:2005 privind diagnoza de fascicul pe doua sisteme laser
portabile cu emisie in unda continua la lungimea de unda de 633 nm: laser He-Ne tip 3222H-PC
(Hughes, SUA) si laser He-Ne 1105P (JDS Uniphase, SUA). Fasciculele generate de cei doi
laseri sunt polarizate linar, puterea laser emisa fiind de 2,6 mW si respectiv de 6,3 mW.
Masurarile au fost efectuate in aproximatia de fascicul laser stigmatic si in cea de aliniat simplu
astigmatic.
Au fost masurati urmatorii parametri de propagare ai fasciculelor laser: diametrul taliei dσ0,
pozitia taliei z01, lungimea Rayleigh zR1, factorul de merit M2, divergenta unghiulara σ1. Abaterea
standard a rezultatelor masurarilor a fost cuprinsa in limitele ± (1 % - 4 %). Rezultatele detaliate
ale masurarilor sunt aratate in ANEXA 4 (laser Hughes) si in ANEXA 5 (laser JDS Uniphase) ale
prezentului raport.
Masurari PDCL prin procedura S-on-1 conform ISO 21254-2:2011 pe statia automata in
pulsuri de nanosecunde pe doua tipuri de componente optice furnizate de Ophir Optics SRL:
oglinda metalica de mare reflectivitate in vizibil - infrarosu apropiat si substrat nedepus din sticla
de cuart polisat cu rugozitate de cca 1.5 nm (r.m.s, masurata cu microscop de forta atomica pe o
arie de 50 m x 50 m).
In Fig. 1 este aratata caracteristica de distrugere a oglinzii metalice (densitatea de energie
laser la pragul de distrugere functie de numarul de pulsuri laser aplicate pe proba), determinata
experimental de programul software al procedurii S-on-1.
5
100
101
102
103
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
1.4
1.6
1.8
1
2
3
4
Y
X
Fig. 1. Characteristic damage curve of the sample.
X – number of pulses, N (N ≤ S) for which the damage probability is calculated;
Y – threshold energy density, H(N) (J/cm2);
1 – threshold energy density at 0 % damage probability, H0(N) – experimental data;
2 – threshold energy density at 50 % damage probability, H50(N) – experimental data;
3 – H0(N) - nonlinear fit*1
;
4 – H50(N) - nonlinear fit*1
.
Prin extrapolarea caracteristicii de distrugere pentru un numar mare de pulsuri, a rezultat o
densitate de energie laser la prag (probabilitate de distrugere 0 %) de 0,5 J /cm2, pentru 10
8 pulsuri
laser cu durata efectiva de 5,7 ns aplicate pe oglinda. Incertitudinea standard a masurarii a fost de
± 20 %.
In Fig. 2 este aratata caracteristica de distrugere a substratului de cuart topit determinata
experimental de programul software al procedurii S-on-1.
100
101
102
103
40
50
60
70
80
90
100
1
2
3
4
Y
X
6
Fig. 2. Characteristic damage curve of the sample.
X – number of pulses, N (N ≤ S) for which the damage probability is calculated;
Y – threshold energy density, H(N) (J/cm2);
1 – threshold energy density at 0 % damage probability, H0(N) – experimental data;
2 – threshold energy density at 50 % damage probability, H50(N) – experimental data;
3 – H0(N) - nonlinear fit*1
;
4 – H50(N) - nonlinear fit*1 .
Prin extrapolarea caracteristicii de distrugere pentru un numar mare de pulsuri, a rezultat o
densitate de energie laser la prag de 39 J /cm2, pentru 10
8 pulsuri laser cu durata efectiva de 5,7 ns
aplicate pe substrat. Incertitudinea standard a masurarii a fost de ± 20 %. Raportul de Test al
substratului de cuart topit este prezentat in ANEXA 6 a prezentului raport.
Au fost initiate primele teste preliminare privind masurarea PDCL prin procedura S-on-
1conform ISO 21254-2:2011 pe statia automata in pulsuri de femtosecunde care utilizeaza
sistemul laser in femtosecunde CPA-2101 Clark-MXR (durata de puls 200 femtosecunde, energie
pe puls 0,6 mJ, frecventa de repetitie 2 kHz, lungimea de unda 775 nm) ca sursa laser de test.
Testele au fost realizate pe o oglinda laser partial transparenta in domeniul spectral 700 nm –
1100 nm din infrarosul apropiat.
Au fost obtinute primele caracteristici de probabilitate de distrugere ridicate experimental de
programul software al procedurii S-on-1, asa cum se arata in Fig. 3.
Fig. 3. Statia automata in pulsuri de femtosecunde: Interfata grafica a programului S-on-1 in timpul
secventei automate de ridicare a caracteristicii de probabilite de distrugere P100000 (pentru un numar de
max. 105 pulsuri aplicate pe siturile de test).
In acest stadiu, principalii parametri de proces urmariti sunt:
- inregistarea corecta in baza de date a numarului de pulsuri laser si a energiei medii per puls
aplicate pe siturile interogate, in noile conditii de operare specifice testului cu pulsuri de
7
femtosecunde (pulsuri laser de test cu frecventa de repetitie ridicata (2 kHz) si un numar mare de
pulsuri (105) aplicate pe siturile de test.
- optimizarea numarului de intervale de energie laser utilizate in ridicarea caracteristicilor de
probabilitate de distrugere, luand in considerare mecanismele de distugere optica specifice
pulsurilor ultrascurte.
Activitate 4. Informare şi publicitate privind proiectul. Realizat partial, conf. Calendar.
Lucrari stiintifice:
1 lucrare trimisa spre publicare la Applied Optics (manuscript ID 173910): “Measuring the
effective duration of nanosecond and femtosecond laser pulses”, Authors A. Zorila, L. Rusen,
A.Stratan, G. Nemes.
1 lucrare prezentata la conferinta SPIE "Advanced Topics in Optoelectronics,
Microelectronics and Nanotechnologies", ATOM-N 2012, 23 - 26 August 2012, Constanta,
Romania: "Measuring the effective duration of laser pulses", A. Zorilă, L. Rusen, A. Stratan, G.
Nemeş.
2 lucrari redactate pentru prezentare la SPIE Laser Damage Symposium XLIV: Annual
Symposium on Optical Materials for High Power Lasers, 23-26 Sept. 2012, NIST, Boulder,
Colorado, USA:
- "Effective area of pulsed laser spots within ISO 21254-1,2,3 standards: critical analysis,
extensions, and measurements in near ultraviolet - near infrared domain", Paper 8530-72,
Authors: G. Nemes, A. Stratan, A. Zorila, L. Rusen.
- "Automated test station for laser-induced damage threshold measurements according to ISO
21254-1,2,3,4 standards ", Paper 8530-80, Authors: A. Stratan, G. Nemes, A. Zorila, L. Rusen, S.
Simion, C. Blanaru, C. Fenic, L. Neagu.
Concluzii
Apreciem ca au fost indeplinite activitatile prevazute pentru perioada de raportare
23.06.2012 –21.09.2012. Pana in prezent nu sunt de semnalat factori care ar putea intarzia
derularea planificata a activitatilor proiectului.
Director proiect Director stiintific,
Dr. George Nemes Dr. Aurel Stratan
8
ANEXA 1
9
10
11
ANEXA 2
Procedurile tehnice ale încercării de distrugere a suprafeţelor optice în câmp
laser
Statia Automata in pulsuri de nanosecunde
Protocol de Operare
I. Test S-on-1 (ISO 21254-2:2011)
II. Test Fiabilitate tip 2 (ISO 21254-3:2011)
I. Test S-on-1
1. Cuplarea echipamentelor la reteaua stabilizata 220 V c.a.:
- Sursa de alimentare laser Brilliant B-IR-10: comutatorul de retea cu cheie pe pozitia 1 (se
aprinde lampa LASER ON).
Indicator luminos
- Modul OP/BB/SLM laser Brilliant B-IR-10: intrerupatorul de retea de pe panoul spate pe
pozitia 1;
pe panoul frontal: comutatorul cu cheie SYSTEM PWR pe pozitia 1 (se aprinde LED-ul
POWER),
Cheie pornire Led pornire Comutator mod
comutatorul MODE pe pozitia AUTO.
- Monitor energie LabMax-TOP.
Cheie
12
- Analizor fascicul laser BGP-FWB-GRAS20. Se verifica daca este conectata la laptop placa de
achizitie si daca aceasta este alimentata cu alimentatorul dedicat.
- Osciloscop Tek. DPO 7104.
- Sursa de alimentare 24 V c.c.
- Unitatea DSP. Se porneste din comutatorul de retea si se apasa tasta "zero" de pe tastatura
pentru a aduce motoarele in pozitia initiala.
- Controler obturator fascicul CX2450B. Dupa pornire se armeaza prin apasare pe butonul rosu
(ledul verde indica activarea starii de armare).
2. Se asteapta 20 minute pentru intrarea echipamentelor in regim termic stationar.
13
3. Activarea emisiei laserului Brilliant B-IR-10 cu telecomanda RB07:
3.1. Setarea / verificarea setarii parametrilor laser pe valorile nominale prestabilite:
- Lampile flash: tensiunea de alimentare 1520 V, sincronizare interna.
- Pulsul laser Q-switch: intarzierea intre aprinderea lampilor flash si generarea pulsului
laser 220 μs, frecventa de repetitie 10 Hz, regim Q-switch Auto (repetitiv).
Configurarea se face din urmatoarele meniuri
3.2. Alimentarea cu energie a lampilor flash si intrarea sistemului laser in regim de emisie Q-
Switch, pe un singur mod longitudinal (SLM), se face prin apasarea butoanelor Start Flashlamp si
Start Q-switch
1. Oprire urgenta
2. Led pornire (cheia este in poz 1)
3. Led stare laser (solid cand este pregatit)
4. Led pornire lampi flash
5. Buton pornire current Simmer
6. Buton pornire lampi flash
7. Buton oprire lampi flash
8. Emisia unui singur puls laser
9. Pornire laser in mod repetitiv
10. Oprire emisie laser
11, 12, 13, 14, 15 Butoane operare meniu
16. Afisaj alfanumeric
14
4. Se monitorizeaza profilul temporal al pulsurilor laser, masurat cu fotodioda UPD-200-UD
si osciloscopul Tektronix DPO 7104. Se asteapta cca. 30 minute, pana la stabilizarea profilului
temporal al pulsului laser in regim SLM, asa cum se arata in Fig. 1. Setup-ul de masurare al
procedurii ISO S-on-1 in pulsuri de nanosecunde este aratat schematic in Fig. 2 (vezi pag. 18 a
prezentului raport).
Fig. 1. Profil temporal tipic al pulsurilor laser in regim SLM.
5. Curatirea si inspectia probei de test conform procedurii descrise in ANEXA 1.
6. Masurarea duratei efective a pulsurilor laser (ANEXA 2).
7. Masurarea ariei efective a spotului laser pe suprafata probei (ANEXA 3).
8. Calibrarea monitorului de energie LabMax-TOP ( ANEXA 4).
9. Se deschide programul software de operare al procedurii S-on-1 si se executa secventele
succesive ale programului de operare (ANEXA 5).
15
ANEXA 2-1
Curatirea probei de test
Pentru curatirea probei sunt necesare: manusi de latex, servetele pentru componente
optice, alcool tehnic, penseta, betisoare cu bumbac, spray cu aer comprimat.
Se analizeaza proba optica la microscop si in functie de gradul de contaminare (grasime,
particule de praf) se parcurg urmatoarele etape:
Daca se observa doar particule de praf pe suprafata, se sufla cu un jet de aer comprimat pe
suprafata componentei optice si se reanalizeaza la microscop.
Daca inca este contaminata cu particule de praf sau daca prezinta urme de grasime, se va
sterge prin procedura de tragere cu un servetel special pentru componente optice umezit cu alcool
tehnic.
Daca contaminarea persista se vor folosi betisoarele cu bumbac umezite cu alcool pentru
curatire, dupa care se reia stergerea prin tragere cu servetel de hartie.
Un video cu detalii realizat de Edmund Optics se gaseste la adresa
youtu.be/SPGgeFGBkXg.
16
ANEXA 2-2
Masurarea duratei efective a pulsurilor laser
Standardul ISO 21254-1 defineste durata efectiva τeff de puls prin raportul dintre energia Q
si densitatea maxima de putere Pmax a pulsului laser de test:
τeff = Q/Pmax.
Setare osciloscop Tektronix DPO 7104
1.a. Se seteaza osciloscopul pe urmatoarele valori: banda 1 GHz, orizontal 5 ns/div, vertical
50mV/div.
1.b. Setarile se incarca automat prin alegerea setup-ului "teff setup.set" asa cum se arata mai jos:
- Se selecteaza File > Recall
- Se selecteaza Setup
- Se selecteaza "teff setup.set"
- Se selecteaza Recall
2. Se selecteaza trigger-ul cu canalul 1 (canal la care este conectata fotodioda)
3. Pentru achizitie se va selecta modul de mediere a 50 de pulsuri din meniul
Horiz/Acq > Acquisition mode > Average > 50 samples
1
2
3
4
17
4. Se selecteaza urmatoarele optiuni de masurare automata a formei de unda:
Measure > Amplitude > Maximum (Vpk)
Measure > More > Area (Apuls sau Azgomot)
5. Masurarea duratei pulsului se efectueaza prin parcurgerea urmatoarelor etape:
a. Se regleaza energia laser incidenta pe fotodioda cu atenuatori optici astfel incat raspunsul fotodiodei
(amplitudinea semnalului pe ecranul osciloscopului) pe o sarcina de 50 Ω sa aiba amplitudinea de 400
mV - 450 mV, in zona centrala a domeniului de raspuns liniar al fotodiodei UPD-200-UD. Se
selecteaza o sensibilitate de 50 mV/div, pentru a expune profilul temporal al pulsului laser pe intreaga
scala verticala a osciloscopului. In acest fel se minimizeaza influenta zgomotului asupra acuratetei
masurarii duratei efective a pulsului laser.
b. Se masoara simultan aria profilului temporal al pulsului laser, Apuls, amplitudinea raspusului
fotodiodei, Vpk, (proportionale respectiv cu Q si Pmax), si aria zgomotului, Azgomot (cu fasciculul laser
blocat). Durata efectiva a pulsurilor laser se determina cu relatiile
Asemnal = Apuls – Azgomot si ][][
][ns
VV
VnsA
pk
semnal
eff
.
c. Se salveaza o imagine a formei de unda pentru raportul de testare.
18
ANEXA 2-3
Masurarea ariei efective a spotului laser pe suprafata probei
Standardul ISO 21254-1 defineste aria efectiva Aeff a spotului laser ca fiind data de
raportul dintre energia Q si densitatea maxima de energie Hmax a pulsului laser incident pe
suprafata probei:
Aeff = Q/Hmax.
Aria efectiva a spotului laser se masoara cu un analizor de fascicul laser BGP-FWB-GRAS20 cu
camera CCD. Apertura camerei CCD si suprafata probei de test sunt egal distantate (acelasi drum
optic) fata de optica de focalizare (v. Fig. 2). In acest caz, marimile Q si Hmax reprezinta energia,
respectiv densitatea max. de energie a pulsului laser incident pe apertura camerei CCD.
Fig. 2. Schema setup-ului experimental pentru procedura S-on-1.
S – obturator fascicul laser; P, polarizor; L, lama semiunda in montura de rotatie; M1, M2 – oglinzi laser
total reflectante;
Pentru masurarea ariei spotului laser sunt necesare urmatoarele etape:
Conectarea analizorului de fascicul la laptop cu prin adaptorul FireWire – PCIExpress;
Alimentarea adaptorului FireWire – PCIExpress cu tensiune;
Conectarea cablului de trigger la semnalul de iesire din laser al lampilor flash;
Pornire soft BeamGage Professional si incarcare “Setup ns”;
Fascicul
laser
M2
M
1
P
P L
Laser pulsat
BRILLIANT-b-SLM
Diagnoza fascicul
Detector de
sit distrus
Optica de
focalizare
Atenuator
variabil
variabil
S
Fotodioda
DT
Analizor fascicul
Detector
de energie
Proba
Osciloscop
digital
Control
Polarizare
Procesor Digital
de Semnale
Translatii x-y
19
In meniul source se seteaza timpul de expunere la aprox. 5 ms .
Se activeaza intrarea trigger.
In meniul Computations sa fie active optiunea Statistics cu 20 frameuri.
Se deschide fisierul “Calculator arie efectiva.xls”.
Se verifica daca formula din coloana E corespunde cu cea afisata mai jos
(=PRODUCT(D3;4.5))
Se regleaza energia pulsului laser incident pe camera CCD astfel incat maximul pe pixeli afisat
pe camera sa fie aproximativ 15 000 cnts.
Se calibreaza sistemul cu optiunea Ultracal.
Se introduc pe coloanele A si B valorile medii de la TOTAL, respectiv PEAK, care sunt
marimi adimensionale proportionale cu energia Q si, respectiv, densitatea max. de energie Hmax a
pulsului laser incident.
Se verifica daca in meniul aperturii este setarea “Circle” selectata, se introduce valoarea din
coloana E (tabel excel) la coordonata W (meniu apertura BeamGage) si se centreaza apertura pe
maxim cu drag & drop.
20
Se repeta masurarea cu noua apertura si se trec datele in tabel pana cand in coloana F vom avea
doua valori consecutive sub 1 %. Se noteaza ultimele valori ale diametrului si ariei din fisierul
Excel si se salveaza o poza cu un profil 3-D reprezentativ al spotului laser.
ANEXA 2-4
Calibrarea monitorului de energie LabMax-TOP
Calibrarea energimetrului ME1 se face prin introducerea in setup a unui energimetru
secundar (ME2) si corectarea indicatiei ME1 cu un factor de castig.
Pe ME1, compus din monitorul de energie LABMAX TOP si capul de masura J-25MT-10KHz,
ajunge o fractiune de aproximativ 4 % din energia fasciculului principal, fractiune reflectata pe
fata unei pene de quartz. Pe ME2, compus din monitorul de energie LABMAX TOP si capul de
masura J-50MB-YAG ajunge energia de test (cu care este iradiata si proba).
Calibrarea se face astfel:
- Se seteaza energia pulsurilor laser la iesirea din atenuatorul variabil la un nivel de ≈ 5 mJ per
puls.
- Se pozitioneaza ME2 cat mai departe in fasciculul principal, astfel incat spotul laser sa fie
suficient de mare pentru a nu produce distrugeri pe suprafata detectorului (≈ 5 mm diametru).
21
- In fata detectorului ME2 se pune o apertura de 10 mm diametru pentru a impiedica radiatia
difuzata de detector sa ajunga inapoi pe ME1.
- Se regleaza castigul electronic al monitorului de energie ME1 pana cand indicatiile celor doua
monitoare sunt egale.
Castigul electronic se regleaza astfel:
a. In meniul SETUP, se roteste butonul de Selectare pentru a muta indicatorul pana la randul cu
sub-meniul Gain Compensation.
b. Se apasa pe butonul de selectare ENTER/ SET pentru a accesa primul camp.
c. Rotiti butonul de selectie pentru a schimba campul Gain Compensation in ON dupa care se
apasa ENTER/SET pentru a muta caseta de editare in campul de valoare Gain Compensation
(afisat in figura cu valoarea 000001.000).
d. Rotiti butonul selectare pentru a schimba valoarea numerica pe fiecare digit. Folositi tastele
directionale (<<- si ->>) pentru a schimba digitul.
e. Se apasa ENTER/SET pentru a salva valoarea si se apasa Exit.
FL
W1
ME
2
Energimetrue ME
1
Buton Selectare
Rotire pentru
deplasare
Apasare pentru setare
22
ANEXA 2-5
Aplicatia software de operare a procedurii S-on-1
Secventele succesive ale programului de operare S-on-1 se executa utilizand interfata grafica a
aplicatiei software, dupa cum urmeaza:
1. Setarea parametrilor de proces
2. Centrarea probei
In meniul Periferals din aplicatie se intra la sectiunea DSP.
Se seteaza numele bazei de date in care se salveaza atat
parametrii de masurare cat si datele experimentale
Se seteaza raza ariei optice a probei ce urmeaza sa fie testata
Se seteaza raza sitului explorat (deff/2 conf. anexa 3)
Se seteaza distanta dintre siturile explorate
Se selecteaza tipul laserului de test
Se selecteaza si se defineste daca este cazul o harta rectangulara
Se apasa butonul OK pentru a merge la pasul urmator
23
Dupa trimiterea comenzii, DSP-ul va muta masutele de translatie x si y la coordonatele 25 mm si
25 mm. In acest moment este activa tastatura DSP si butonul de deschidere a Shutter-ului. Se
monteaza proba martor cu orificul de centrare si se deschide Shutter-ul pentru a verifica
pozitionarea fasciculului laser prin orificiul de centrare al probei martor.
Proba martor
Se seteaza portul si se apasa butonul de conectare
Se apasa butonul pentru refresh status
“OK” indica pozitia motorului in zero
Se alege comada “Center Sample” si se apasa
butonul de trimitere a comenzii
Buton trimitere comanda catre DSP
Orificiu centrare
24
Se ajusteaza din butoanele tastaturii cordonatele masutelor de translatie pana cand proba este
centrata.
Dupa centrare se apasa pe tastatura "* " pentru a memora in DSP coordoatele centrului si se apasa
OK pe fereastra aparuta in aplicatie.
3. Calibrarea atenuatorului variabil
Pentru a obtine o inalta stabilitate a emisiei laser, sistemul laser de test trebuie sa
functioneze in mod continuu (fara intreruperi), parametrii de fascicul (energia, durata, frecventa
de repetitie a pulsurilor laser, structura de moduri longitudinale de oscilatie) fiind mentinuti
constanti pe intreaga durata a procedurii de test.
Ca urmare, este necesar sa utilizam un atenuator variabil extern, care permite reglarea
energiei laser in gama dinamica solicitata de procedura de test. Atenuatorul este alcatuit dintr-un
polarizor de intrare P1, o lama semiunda LS montata intr-o montura de rotatie actionata de un
motor pas cu pas controlat prin calculator si un polarizor de iesire P2 care transmite fasciculul
atenuat pentru proba de test (Fig. 3).
Fig. 3. Schema optica a atenuatorului variabil.
P1, P2: polarizori lama; LS, lama semiunda; Q0, energia pulsului liniar polarizat incident pe lama
LS; Q, energia pulsului la iesirea din atenuator. D1, D2: absorbanti optici.
Fasciculele reflectate de cei doi polarizori sunt disipate in absorbantii optici D1, D2.
Polarizorul P1 este orientat paralel cu directia de polarizare a fasciculului laser, care este 75 %
Grup deplasare inainte
Grup deplasare inapoi
Viteza deplasare
Mica Moderata Mare
Laser de test
D1
D2
LS
Q0 Q P2
P1
25
liniar polarizat in plan orizontal, astfel incat sa transmita maximum de energie laser liniar
polarizata spre lama LS. Polarizorul P2 este montat antiparalel fata de P1, pentru a evita
transalatia fasciculului in plan transversal la trecerea prin atenuator. Initial, lama semiunda este
rotita pe pozitia initiala α = 0. Daca neglijam energia reziduala transmisa in pozitia initiala (Q =
0), atunci energia de iesire Q functie de unghiul α de rotatie a lamei LS fata de pozitia de extinctie
este data de legea lui Malus
)2(sin)( 2
0 QQ , (1)
unde Q0 este energia pulsului laser incident pe polarizorul P2.
Procedura de calibrare
Caracteristica Q(α) se determina experimental prin masurarea unui numar de n valori
discrete Q(αi), unde αi apartine intervalului [0o
- 45o]. Numarul n de puncte experimentale se
determina din conditia ca eroarea de extrapolare a caracteristicii teoretice data de ecuatia (1) sa fie
mai mica decat rezolutia in energie a sistemului laser (≈ 1 %). Daca Δα este separarea unghiulara
intre doua puncte succesive Q(αi), Q(αi + Δα), atunci eroarea de extrapolare ΔQ in aproximatia
liniara este data de relatia (v. Raport de Cercetare RC 3 / 16.03.2011, Anexa 1):
4cos)( 2
0
Q
Q (2)
Conform ec. (2), eroarea relativa de extrapolare εQ este maxima la extremitatile domeniului de
variatie a energiei de iesire, pentru α =0o si α =45
o:
2
0
)(
Q
QQ (3)
Din ec. (3) rezulta ca, pentru o separare unghiulara Δα = 1o, eroarea relativa de extrapolare este de
ordinul εQ ≈ 10-3
, valoare care este neglijabila in raport cu abaterea standard (rms) a energiei
pulsurilor laser, rms ≈ 10-2
.
Setarea parametrilor de calibrare:
- Unghiul minim, αmin, care determina energia de lucru minima Qmin;
- Unghiul maxim, αmax, care determina energia de lucru maxima Qmax
- Numarul de pasi n (numar de puncte discrete Q(αi)),
minmax1n ;
- Numarul de pulsuri laser pe care se face statistica.
26
Setarea energiei de test
Programul calculeaza energia laser Qnext pentru interogarea sitului urmator pe baza datelor
obtinute pe siturile interogate anterior. Pentru setarea atenuatorului pe valoarea Qnext programul
efectueaza pasii urmatori:
1. Determina intervalul )()( 1 ii QQ care include Qnext.
2. Calculeaza incrementul δα:
)()(
)(
1 ii
inext
3. Roteste lama LS pe pozitia unghiulara i .
4. Testarea preliminara a probei (efectuata de operator)
Testul incepe cu setarea pragului de detectie a distrugerii optice, care se realizeaza prin
incercari, pe baza monitorizarii raspunsului detectorului de sit distrus (DD) la energii laser de test
situate in apropierea pragului de distrugere monopuls al sitului interogat. Monitorizarea se
efectueaza pe cca. 10 situri, starea sitului interogat fiind verificata cu microscopul on-line. Pragul
de detectie a DD este setat cu potentiometrul P aflat pe panoul frontal al DSP. In baza de date a
procedurii S-on-1 vor fi retinute numai siturile monitorizate cu pragul DD setat pe ultima valoare
selectata, care va ramane constanta pe toata durata testului. Siturile interogate la alte valori ale
pragului DD se exclud din baza de date cu click dreapta pe punct → exclude.
Buton calibrare atenuator
Unghi minim
Unghi maxim
Nr. pasi calibrare (n)
Nr. de pulsuri pe care
se face statistica
Buton Save & Exit
27
In continuare, operatorul testeaza 30 - 40 situri cu diferite energii laser, astfel incat sa existe
situri testate fara distrugere dupa aplicarea numarului prestabilit (NP = 500) de pulsuri per sit si
situri distruse dupa un puls aplicat pe sit. In baza de date se inregistreaza per sit energia laser
medie per puls si numarul de pulsuri dupa care s-a distrus situl.
5. Testarea in regim automat si marcarea probei
Dupa ce operatorul a parcurs etapa de testare preliminara, adica a furnizat programului
suficiente puncte experimentale pentru a fita liniar caracteristicile P1 si P500 (probabilitate de
distrugere la un puls si la 500 de pulsuri aplicate pe sit), programul poate rula secventa automata.
Operatorul seteaza:
si initiaza testarea automata cu tasta OK.
In secventa automata programul calculeaza energia laser de test pentru situl urmator pe baza
evaluarii datelor experimentale acumulate in baza de date. Programul reduce treptat eroarea de
fitare parametrica a caracteristicilor P1 si P500 prin adaugare de noi date experimentale si prin
uniformizarea distributiei energiilor laser de test in intervalele de energie cuprinse in gama de
lucru Qmax – Qmin. Derularea secventei automate este stopata de operator atunci cand eroarea
relativa de fitare a caracteristicilor P1 si P500 se satureaza la o valoare minima δmin (de regula,
δmin ≤ 20 %), care nu se mai micsoreaza prin adugarea de noi date experimentale.
Programul verifica si afiseaza daca energia de test setata corespunde cu energia medie de test
masurata pe situl interogat (adica daca valoarea masurata se incadreaza in subintervalul de energie
laser selectat de program). Largimea subintervalelor este determinata de parametrii m1 si m2
(numar de subintervale). O neconcordanta repetata intre energia setata si cea masurata poate fi
cauzata de decalibrarea atenuatorului variabil care controleaza energia pulsurilor laser, sau de
largimea relativ redusa a subintervalelor definite de m1 si m2. In acest caz, operatorul intrerupe
secventa automata si, in functie de situatia concreta, se recalibreaza atenuatorul sau se modifica
corespunzator numarul de subintervale m1 si m2.
La sfarsitul secventei de interogare a siturilor, operarorul selecteaza butonul pentru marcarea
probei.
Energia minima
Energia maxima
Nr. de intervale
Nr. de subintervale pt P1
Nr. de subintervale pt P500
28
Pentru fiecare din cele 9 caracteristici de probabilitate de distrugere (P1; P2; P53; P10; P20;
P50; P100; P200; P500) ridicate experimental in secventa de interogare a siturilor de test,
programul citeste energiile laser per puls Q50(N) si Q0(N) corespunzatoare probabilitatii de
distrugere de 50 %, respectiv 0 %. Aici N reprezinta numarul de pulsuri laser pentru care a fost
evaluata caracteristica de probabilitate de distrugere, N = 1; 2; 5; 10; 20;50;100;200;500.
Programul converteste datele din {Q50(N), Q0(N)} din energie per puls in densitate maxima de
energie per puls {H50(N), H0(N)}, conform ecuatiei H(N) = Q(N)/Aeff. Setul de date {H50(N),
H0(N)} determina caracteristica de distrugere a probei, adica densitatea de energie laser la pragul
de distrugere functie de numarul de pulsuri laser, pentru probabilitatea de distrugere de 0 % si de
50 % (v. Fig. 4).
100
101
102
7x102
20
22
28
30
32
34
1
2
3
4
Y
X
Fig. 4. Caracteristica de distrugere a probei SJ 6623 (acoperire dielectrica antireflectanta la
1064 nm).
X – Numarul de pulsuri N pentru care s-a calculat probabilitatea de distrugere.
Y – Densitatea de energie a pulsului laser , H(N) (J/cm2);
1 – Densitatea de energie a pulsului laser la probabilitate de distrugere de 0 %, H0(N) - date
experimentale;
2 – Densitatea de energie a pulsului laser la probabilitate de distrugere de 50 %, H50(N) - date
experimentale;
3 – H0(N) – fitare neliniara;
4 – H50(N) – fitare neliniara.
Caracteristica H0(N) este extrapolata pentru un numar foarte mare de pulsuri (conform
Annex C, ISO 11254-2:2001(E)).
6. Sinteza rezultatelor in Raportul de Test
Raportul de test include urmatoarele date:
1. Numele laboratorului si al persoanei care a efectuat testul.
29
2. Caracteristici / cod proba, producator, data fabricatiei.
3. Metoda de curatire, conditii de stocare.
4. Ambientul de test.
5. Parametrii de fascicul ai laserului de test:
– Lungimea de unda;
– Unghiul de incidenta;
– Starea de polarizare;
– Frecv. de repetitie a pulsurilor laser;
– Profilul spatial de fascicul in planul probei;
– Aria efectiva a spotului laser pe suprafata probei: + (profil 3D);
– Durata pulsului (FWHM) + diagrama profil temporal;
– Durata efectiva a pulsului;
6. Procedura de test:
a. Numar de situri per proba: 200
b. Dispunerea siturilor de test: egal distantate;
c. Numarul de pulsuri aplicate per sit: NP
d. Separarea siturilor adiacente: dsep.
7. Bugetul erorilor.
8. Rezultatul testului:
a. Caracteristici H0(N), H50(N) – date experimentale;
b. Caracteristica H0(N) extrapolata pentru un numar foarte mare de pulsuri;
c. Morfologia unui sit distrus obtinuta cu un microscop Nomarski.
Salvarea datelor experimentale si a Raportului de Test in baza de date a procedurii S-on-1.
II. Test Fiabilitate tip 2 (ISO 21254-3:2011)
Protocol de Operare
1. Setarea parametrilor de proces
1.1 Parametrii care definesc harta siturilor de test pe proba:
- Aoptic, aria disponibila pe proba; Aoptic= πR2, pentru probe cu simetrie circulara (diameru de ½
inch, 1 inch, 2 inch); Aoptic= LxW, (L orizontal, W vertical in gama ½ inch – 2 inch); Marimi
setate R sau L si W.
- dT,eff – diametrul spotului laser pe suprafata probei : dT,eff > 1 mm (Fig. 5).
1mm
30
Fig. 5. Profil spatial tipic al spotului laser pe suprafata probei de test: dT,eff = 1.4 mm.
- dsep – separarea intre siturile adiacente: 4 diametre de spot.
- Numarul de pulsuri laser aplicate pe sit: 4000.
Distributia siturilor de test pe suprafata probei separate la 4 diametre efective de spot, pentru dT,eff
= 1.4 mm, este aratata in Fig. 6.
Fig. 6. Distributia siturilor de test pe suprafata probei
1.2. Densitatea de energie (fluenta) pulsurilor laser pe suprafata probei de test poate fi stabilita de
catre beneficiarul testului, sau de comun acord cu beneficiarul, pe baza unor rezultate anterioare
existente in baza de date a statiei automate in pulsuri de nanosecunde.
2. Testul de fiabilitate se executa de catre operator, in cadrul etapei “Testarea preliminara a
probei”.
Testul de fiabilitate este trecut atunci cand toate siturile au fost interogate la nivelul stabilit de
fluenta laser, fara detectia distrugerii optice pe oricare din siturile testate (test nedistructiv).
Testul de fiabilitate se considera cazut la detectia primei distrugeri a unui sit interogat (test
distructiv).
3. Sinteza rezultatelor in Raportul de Test
Raportul de test al testului de fiabilitate are aceeasi structura cu raportul de test S-on-1, cu
deosebirea ca in cap. 8 ”Rezultatul testului” se specifica numai daca testul a fost trecut sau nu, si o
micrografie Nomarski a sitului distrus, in eventualitatea ca testul a fost cazut.
Salvarea datelor experimentale si a Raportului de Test in baza de date a procedurii S-on-1.
1 111 mmmmm mm
31
ANEXA 3
National Institute for Laser, Plasma, and Radiation Physics (NILPRP)
Solid State Laser Laboratory
ISOTEST
Test Report # 1 of 30.08.12
Evaluation of laser beam widths, divergence angles and beam propagation ratios
according to ISO 11146-1:2005 standard
a) General information
1) Test has been performed in accordance with ISO 11146-1:2005
2) Date of test: 30.08.12
3) Name and address of test organization: ISOTEST, Solid State Lasers Laboratory: http://ssll.inflpr.ro;
National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Str., P.O. Box MG 36,
077125 Magurele, Romania.
4) Name of individuals performing the test: L. Neagu, L. Rusen
b) Information concerning the tested laser
1) Laser type: Diode pumped passively Q-switch Nd:YAG sub-nanosecond laser
2) Manufacturer INFLPR, Romania
3) Manufacturer’s model designation: SNLS
4) Serial number: home made
c) Test conditions
1) Laser wavelength(s) at which tested: 1064 nm
2) Operating mode (CW or pulsed): pulsed
3) Laser parameter settings
i) Output power: 1.1 mW
4) Polarization: linear, vertical
5) Environmental conditions: clean filtered air, controlled temperature 22 oC 1
oC, room stray light.
d) Information concerning testing and evaluation
1) Evaluation method used: Second order moments
2) Test equipment: Beam Profiler type FireWire Beam Pro Model 2523 (Photon, Inc., USA), SN93044,
stray light suppressor attached (Ф 5 mm).
3) Beam forming optics and attenuating method:
i) Type of attenuator: neutral density (ND) glasses
ii) Type of focusing element: convergent lens, f = 400 mm @ 1064 nm
e) Test Results
1) Beam propagation parameters derived from hyperbolic fit (in accordance with Clause 9, after the
back principal plane of the focusing lens, subscript 2)
i) Measured parameters of the real beam approximated as an aligned simple astigmatic
(ASA) beam
32
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x2 (mm) 440 1 Beam waist location z0y2 (mm) 430 1 Beam waist width dσ0x2 (mm) 0.20 1 Beam waist width dσ02y (mm) 0.24 1 Rayleigh length zRx2 (mm) 18 1 Rayleigh length zRy2 (mm) 25 1
Beam divergence angle σx2 (mrad) 11 1
Beam divergence angle σy2 (mrad) 9.8 1 Beam propagation ratio Mx
2 1.6 1
Beam propagation ratio My2 1.7 1
400 420 440 460 480 500 520
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1.0
Dx, D
y (
mm
)
z (mm) - after focusing lens
Dx
Dy
Hyperbolic fit of Dx
Hyperbolic fit of Dy
Equation Dx = Sqrt (A + B*z + C*z*z)
Value Standard Error
Dx
A 23.24144 0.0307
B -0.10592 1.56113E-4
C 1.20885E-4 2.47197E-7
Equation Dy = Sqrt (A + B*z + C*z*z)
Value Standard Error
Dy
A 17.79962 0.03107
B -0.08177 1.94787E-4
C 9.42246E-5 2.82343E-7
Fig. 1. Hyperbolic fit of the measured real beam approximated to an ASA beam after the focusing
element.
ii) Calculated* parameters of the real beam approximated as a stigmatic (ST) beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z02 (mm) 440 1 Beam waist diameter dσ02 (mm) 0.22 1 Rayleigh length zR2 (mm) 21 1
Beam divergence angle σ2 (mrad) 10 1 Beam propagation ratio M
2 1.7 1
33
400 420 440 460 480 500 520
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1.0
Dmean
Hyperbolic fit of Dmean
Dm
ean
(mm
)
z (mm) - after focusing lens
Equation Dmean = Sqrt (A + B*z + C*z*z)
Value Standard Error
Dmean
A 20.54355 0.0298
B -0.09395 1.70045E-4
C 1.07665E-4 2.56308E-7
Fig. 2. Hyperbolic fit
** of the equivalent ST beam after the focusing element.
Fig. 3. Example of spatial beam profile of the real beam measured at z = 545 mm after focusing
element.
2) Beam divergence angle – direct measurement (per Clause 8, at the back focal plane of the focusing
element)
Focusing element used: spherical convergent lens, f = 400 mm @ 1064 nm
i) Measured diameters and corresponding divergences
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist width dσfx2 (mm) 0.26 1 Beam waist width dσfy2 (mm) 0.23 1
Beam divergence angle σx2 (mrad) 3.3 1
Beam divergence angle σ2y (mrad) 2.9 1
34
ii) Calculated divergence of the ST - type approximated beam σ2 = (1/2)(σx2 + σy2)
σ2 (mrad) = 3.1
3) Retrieved
* original beam parameters (beam from laser, before the focusing element)
i) Original beam approximated as an ASA beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x1 (mm) 3850 1 Beam waist location z0y1 (mm) 3485 1 Beam waist width dσ0x1 (mm) 1.9 1 Beam waist width dσ0y1 (mm) 2.3 1 Rayleigh length zRx1 (mm) 1610 1 Rayleigh length zRy1 (mm) 2250 1
Beam divergence angle σx1 (mrad) 1.2 1
Beam divergence angle σy1 (mrad) 1.0 1 Beam propagation ratio Mx
2 1.6 1
Beam propagation ratio My2 1.7 1
ii) Original beam approximated as a ST beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z01 (mm) 3720 1 Beam waist diameter dσ01 (mm) 2.1 1 Rayleigh length zR1 (mm) 1900 1
Beam divergence angle σ1 (mrad) 1.1 1 Beam propagation ratio M
2 1.7 1
35
National Institute for Laser, Plasma, and Radiation Physics (NILPRP)
Solid State Laser Laboratory
ISOTEST
Test Report # 2 of 23.08.12
Evaluation of laser beam widths, divergence angles and beam propagation ratios
according to ISO 11146-1:2005 standard
a) General information
1) Test has been performed in accordance with ISO 11146-1:2005
2) Date of test: 23.08.12
3) Name and address of test organization: ISOTEST, Solid State Lasers Laboratory: http://ssll.inflpr.ro;
National
Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409, Atomistilor Str., P.O. Box MG 36, 077125
Magurele,
Romania.
4) Name of individuals performing the test: L. Neagu, L. Rusen
b) Information concerning the tested laser
1) Laser type: He-Ne laser
2) Manufacturer Hughes, USA
3) Manufacturer’s model designation: 3222H-PC
4) Serial number: 6420119
c) Test conditions
1) Laser wavelength(s) at which tested: 633 nm
2) Operating mode (CW or pulsed): CW
3) Laser parameter settings
i) Output power: 2.6 mW
4) Polarization: linear, vertical
5) Environmental conditions: clean filtered air, controlled temperature 22 oC 1
oC, room stray light.
d) Information concerning testing and evaluation
1) Evaluation method used: Second order moments
2) Test equipment: Beam Profiler type FireWire Beam Pro Model 2523 (Photon, Inc., USA), SN93044,
stray light
suppressor attached (Ф 5 mm).
3) Beam forming optics and attenuating method:
i) Type of attenuator: neutral density (ND) glasses
ii) Type of focusing element: convergent lens, f = 400 mm @ 633 nm
e) Test Results
1) Beam propagation parameters derived from hyperbolic fit (in accordance with Clause 9, after the
back principal plane of the focusing lens, subscript 2)
36
i) Measured parameters of the real beam approximated as an aligned simple astigmatic
(ASA) beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x2 (mm) 560 1 Beam waist location z0y2 (mm) 530 1 Beam waist width dσ0x2 (mm) 0.25 2 Beam waist width dσ02y (mm) 0.23 1 Rayleigh length zRx2 (mm) 81 2 Rayleigh length zRy2 (mm) 65 1
Beam divergence angle σx2 (mrad) 3.1 1
Beam divergence angle σy2 (mrad) 3.6 1 Beam propagation ratio Mx
2 1.0 1
Beam propagation ratio My2 1.0 1
400 500 600 700 800 900
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
Dy
Dx
Hyperbolic fit of Dx
Hyperbolic fit of Dy
Z (mm) - after focusing lens
Dx,
Dy
(mm
)
Equation Dx = sqrt ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dx
A 3.14021 0.02882
B -0.01101 1.04572E-4
C 9.85224E-6 8.74554E-8
Equation Dy = sqrt ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dy
A 3.62781 0.02559
B -0.01341 9.87725E-5
C 1.25779E-5 8.65308E-8
Fig. 1. Hyperbolic fit of the measured real beam approximated to an ASA beam after the focusing
element.
ii) Calculated* parameters of the real beam approximated as a stigmatic (ST) beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z02 (mm) 540 1 Beam waist diameter dσ02 (mm) 0.24 1 Rayleigh length zR2 (mm) 70 1
Beam divergence angle σ2 (mrad) 3.3 1 Beam propagation ratio M
2 1 1
37
300 400 500 600 700 800
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
Dmean
Hyperbolic fit of Dmean
Dm
ean
(mm
)
z (mm) - after focusing lens
Equation Dmean = ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dmean A 3.05694 0.02311
Dmean B -0.01172 9.07175E-5
Dmean C 1.14774E-5 8.21759E-8
Fig. 2. Hyperbolic fit
** of the equivalent ST beam after the focusing element.
Fig. 3. Example of spatial beam profile of the real beam measured at z = 545 mm after focusing
element.
2) Beam divergence angle – direct measurement (per Clause 8, at the back focal plane of the
focusing element)
Focusing element used: spherical convergent lens, f = 400 mm @ 633 nm
i) Measured diameters and corresponding divergences
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist width dσfx2 (mm) 0.26 1 Beam waist width dσfy2 (mm) 0.23 1
Beam divergence angle σx2 (mrad) 3.3 1
Beam divergence angle σ2y (mrad) 2.9 1
38
ii) Calculated divergence of the ST - type approximated beam σ2 = (1/2)(σx2 + σy2)
σ2 (mrad) = 3.1
3) Retrieved
* original beam parameters (beam from laser, before the focusing element)
i) Original beam approximated as an ASA beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x1 (mm) 1200 1 Beam waist location z0y1 (mm) 1370 1 Beam waist width dσ0x1 (mm) 0.57 3 Beam waist width dσ0y1 (mm) 0.62 2 Rayleigh length zRx1 (mm) 410 3 Rayleigh length zRy1 (mm) 480 3
Beam divergence angle σx1 (mrad) 1.4 2
Beam divergence angle σy1 (mrad) 1.3 2 Beam propagation ratio Mx
2 1 1 Beam propagation ratio My
2 1 1
ii) Original beam approximated as a ST beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z01 (mm) 1280 1 Beam waist diameter dσ01 (mm) 0.6 2 Rayleigh length zR1 (mm) 440 3
Beam divergence angle σ1 (mrad) 1.4 2 Beam propagation ratio M
2 1.1 1
39
ANEXA 5
National Institute for Laser, Plasma, and Radiation Physics (NILPRP)
Solid State Laser Laboratory
ISOTEST
Test Report # 3 of 03.08.12
Evaluation of laser beam widths, divergence angles, and beam propagation ratios
according to ISO 11146-1:2005 standard
a) General information
1) Test has been performed in accordance with ISO 11146-1:2005
2) Date of test: 03.08.12
3) Name and address of test organization: ISOTEST, Solid State Lasers Laboratory: http://ssll.inflpr.ro;
National Institute for Lasers, Plasma, and Radiation Physics, 409, Atomistilor Str., P.O. Box MG 36,
077125 Magurele, Romania.
4) Name of individuals performing the test: L. Neagu, L. Rusen
b) Information concerning the tested laser
1) Laser type: He-Ne laser
2) Manufacturer: JDS Uniphase, USA
3) Manufacturer’s model designation: 1105P
4) Serial number: 159768
c) Test conditions
1) Laser wavelength(s) at which tested: 633 nm
2) Operating mode (CW or pulsed): CW
3) Laser parameter settings
i) Output power: 6.3 mW
4) Polarization: linear, vertical
5) Environmental conditions: clean filtered air, controlled temperature 22 oC 1
oC, room stray light.
d) Information concerning testing and evaluation
1) Evaluation method used: Second order moments
2) Test equipment: Beam profiler type FireWire BeamPro Model 2523 (Photon, Inc., USA), SN93044,
stray light suppressor attached (Ф 5 mm).
3) Beam forming optics and attenuating method:
i) Type of attenuator: neutral density (ND) glasses
ii) Type of focusing element: convergent lens, f = 400 mm @ 633 nm
e) Test Results
1) Beam propagation parameters derived from hyperbolic fit (in accordance with Clause 9,
after the back principal plane of the focusing lens, subscript 2)
40
i) Measured parameters of the real beam approximated as an aligned simple astigmatic
(ASA) beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x2 (mm) 530 1 Beam waist location z0y2 (mm) 490 2 Beam waist width dσ0x2 (mm) 0.27 1 Beam waist width dσ02y (mm) 0.23 2 Rayleigh length zRx2 (mm) 88 1 Rayleigh length zRy2 (mm) 62 2
Beam divergence angle σx2 (mrad) 3.1 2
Beam divergence angle σy2 (mrad) 3.7 3 Beam propagation ratio Mx
2 1.0 1
Beam propagation ratio My2 1.1 2
300 400 500 600 700 800
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
z (mm) - after focusing lens
Dx
Dy
Hyperbolic fit of Dx
Hyperbolic fit of Dy
Dx, D
y (
mm
)
Equation Dx = sqrt ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dx
A 2.77626 0.01998
B -0.01015 7.54875E-5
C 9.53117E-6 6.63705E-8
Equation Dy = sqrt ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dy
A 3.37967 0.03851
B -0.01347 1.58821E-4
C 1.36333E-5 1.49008E-7
Fig. 1. Hyperbolic fit of the measured real beam approximated to an ASA beam after the focusing
element.
ii) Calculated* parameters of the real beam approximated as a stigmatic (ST) beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z02 (mm) 510 1 Beam waist diameter dσ02 (mm) 0.25 1 Rayleigh length zR2 (mm) 75 2
Beam divergence angle σ2 (mrad) 3.4 2 Beam propagation ratio M
2 1.1 1
*The calculated parameters are the arithmetic mean of the corresponding measured parameters on x and y, as, for
example, z02 = (1/2)(z0x2 + z0y2) **
Dmean(z) = d02[1 + (z – z02)2/zR2
2]
1/2 41
300 400 500 600 700 800
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
Dmean
Hyperbolic fit of Dmean
Dm
ea
n (
mm
)
z (mm) - after focusing lens
Equation Dmean = ( A + B*z + C*z*z )
Value Standard Error
Dmean
A 3.05694 0.02311
B -0.01172 9.07175E-5
C 1.14774E-5 8.21759E-8
Fig. 2. Hyperbolic fit
** of the equivalent ST beam after the focusing element.
Fig. 3. Example of spatial beam profile of the real beam measured at z = 510 mm after focusing
element.
2) Beam divergence angle – direct measurement (per Clause 8, at the back focal plane of the
focusing element)
Focusing element used: spherical convergent lens, f = 400 mm @ 633 nm
i) Measured diameters and corresponding divergences
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist width dσfx2 (mm) 0.28 1 Beam waist width dσfy2 (mm) 0.29 2
42
Beam divergence angle σx2 (mrad) 3.1 2
Beam divergence angle σ2y (mrad) 3.7 3
ii) Calculated divergence of the ST - type approximated beam σ2 = (1/2)(σx2 + σy2)
σ2 (mrad) = 3.4
3) Retrieved* original beam parameters (beam from laser, before the focusing element)
i) Original beam approximated as an ASA beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z0x1 (mm) 1240 3 Beam waist location z0y1 (mm) 1590 4 Beam waist width dσ0x1 (mm) 0.68 2 Beam waist width dσ0y1 (mm) 0.81 3 Rayleigh length zRx1 (mm) 560 3 Rayleigh length zRy1 (mm) 780 4
Beam divergence angle σx1 (mrad) 1.2 2
Beam divergence angle σy1 (mrad) 1.0 3 Beam propagation ratio Mx
2 1.0 1 Beam propagation ratio My
2 1.1 2
ii) Original beam approximated as a ST beam
Mean value
Standard deviation of
hyperbolic fit (%)
Beam waist location z01 (mm) 1390 3 Beam waist diameter dσ01 (mm) 0.76 2 Rayleigh length zR1 (mm) 670 3
Beam divergence angle σ1 (mrad) 1.1 2 Beam propagation ratio M
2 1.1 1
43
ANEXA 6
National Institute for Lasers, Plasma, and Radiation Physics
(NILPRP/INFLPR)
Solid State Lasers Laboratory
ISOTEST
Test report # 13 of 12.09.12
Laser-induced damage threshold (LIDT) by S-on-1 test according to ISO 21254 - 1, 2, 3, 4
Tester’s name: Alexandru Zorila, Laurentiu Rusen
Date: 12.09.12
Order #:
Specimen
Type of specimen: Fused-Silica substrate
Specifications: Scratch-Dig 60-40
Shape and size: round, 25.4 mm diameter, 4 mm thickness
Manufacturer/ supplier: Ophir Optics SRL, Bucharest, Romania
Part ID #
Date of production 15.08.12
Storage: original package
Cleaning procedure: blowing with Green clean aerosol
Preliminary inspection comments: OK
Mounting of test specimen: kinematic mount, vertical position
Test equipment
Laser source
Type: Q-switched, single longitudinal mode
Manufacturer: Quantel (France)
Model #: Brilliant B 10 SLM
Energy meter
Manufacturer: Coherent, Inc.
Model #: J-25MT-10 kHz pyroelectric detector
Calibration date: Sept. 2010
Calibration due date: Sept. 2011
Temporal diagnosis
Photodiode Alphalas, type UPD-200-UD
Oscilloscope Tektronix, type DPO-7104
Spatial diagnosis
Beam profiler Newport-Ophir-Spiricon, type GRAS20
Diagnosis - Pulse energy real time monitored with type J-25MT-10 kHz pyroelectric detector and calibrated by
making a measurement before and after the full test with type J-50MB-YAG pyroelectric detector.
- Temporal profile recorded before and after test. Effective pulse duration calculated using waveform
recorded data.
44
- Spatial profile recorded before and after test. Beam diameter/widths obtained directly from beam profiler.
Effective beam diameter/widths calculated from beam profiler raw data.
Laser parameters
Wavelength: 1064 nm
Operating mode: pulsed, repetitively
Output energy: adjustable, up to 450 mJ
Pulse repetition frequency: 10 Hz
Polarization state: linear, totally polarized, horizontal
Pulse duration - FWHM: 4.5 ns
Pulse duration – effective, τeff: 5.7 ns
Measurement specifications
Beam diameter/widths - second moments: -
Beam diameter/widths - 1/e2 clip level: -
Beam diameter/widths - effective: 0.22 mm
Spatial beam profile: see typical figure (Fig. 2)
Angle of incidence (AOI): 4° ± 1°
Polarization: type P
Number of sites per specimen: 226
Number of shots per site, S: 500
Arrangement of test sites: near-circular, close packed
Distance between sites: 1 mm
Number of specimens tested: 1
Total number of sites for the test: 169
Real time damage detection method: scattered radiation
Damage detection after test: visual, Nomarski microscope (50x, 200x, 500x)
Environmental conditions
Test environment: clean filtered air
Temperature: 24 °C ± 1 °C
Humidity: 40 %
Comments Typical 200x Nomarski picture of the sample after cleaning, before test
Damaged surface Nondamaged surface
Error budget
a) random (type A) errors
Pulse energy standard deviation: ± 1 %
Pulse spot effective area standard deviation: ± 5 %
Effective pulse duration standard deviation: ± 2 %
45
b) instrument (type B) standard uncertainties
Pulse energy measuring system (4 instruments overall): ± 4 %
Pulsed spot effective area uncertainty (1 instrument): ± 6 %
Effective pulse duration uncertainty (2 instruments): ± 5 %
Estimated LIDT standard uncertainty: ± 20 %
Temporal and spatial beam profiles
Fig. 1. Temporal profile of the laser pulse.
Y – detector output (a.u.); X – time (ns).
Fig. 2. Spatial laser beam profile in the target plane
(3-D profile and two orthogonal 2-D sections
through beam centroid).
Effective spot area = 3.9 x 10-4
cm2.
Test Results
100
101
102
103
40
50
60
70
80
90
100
1
2
3
4
Y
X
Fig. 3. Characteristic damage curve of the sample.
X – number of pulses, N (N ≤ S) for which the damage probability is calculated;
Y – threshold energy density, H(N) (J/cm2);
1 – threshold energy density at 0 % damage probability, H0(N) – experimental data;
2 – threshold energy density at 50 % damage probability, H50(N) – experimental data;
3 – H0(N) - nonlinear fit*1
;
4 – H50(N) - nonlinear fit*1
.
46
100
101
102
103
104
105
106
107
108
109
40
50
60
70
80
1
2
Y
X
Fig. 4. Measured and extrapolated S-on-1 damage threshold versus number of pulses, N.
X – number of pulses, N; for N ≤ S, calculated from experimental results; for N > S, extrapolated data;
Y – threshold energy density at 0 % damage probability, H0(N) (J/cm2);
1 – experimental data;
2 – extrapolated*2
H0(N) for large number of pulses.
Summary of LIDT values
Extrapolated 0 % LIDT for N = 108 pulses: energy density H0(10
8) = 39 J/cm
2.
Extrapolated power density for τeff = 5.7 ns effective pulse duration: E0(108) = H0(10
8)/τeff = 6.8 GW/cm
2.
Extrapolated equivalent*3
energy density for τeff,eq = 10 ns: H0,eq(108) = 50 J/cm
2.
Extrapolated equivalent*4
power density for τeff,eq = 10 ns: E0,eq(108) = 5 GW/cm
2.
Recommendation for durability
The extrapolation curve for 108 pulses may not take into account all possible factors leading to potential
damage. We recommend an additional safety factor of approximately 0.9 applied to each of the above
values.
*1
Fitting equation: Hth(N) = Hth,∞ + (Hth,1 – Hth,∞)/[1 + log10(N)/Δ], notations according to ISO21254-2 Annex E *2
Fitting equation: Hth(N) = Hth,∞ – d + (Hth,1 – Hth,∞)/[1 + log10(N)/Δ], notations according to ISO21254-2 Annex E
*3 Equivalence equation used: H0,eq(10
8) = H0(10
8)·( τeff,eq /τeff)
1/2
*4 Equivalence equation used: E0,eq(10
8) = E0(10
8)·( τeff /τeff,eq)
1/2
47
Fig. 5. Example of 200x Normarski micrograph of a damaged site
(energy density 100 J/cm2, damage after 1 pulse)
Statement related to certification of the test results
ISOTEST laboratory certifies that the Laser Induced Damage Threshold of this sample was
tested according to recommendations of the ISO 21254-1,2,3,4:2011 standards. During 2013
ISOTEST will submit the paperwork to obtain the accreditation as a test laboratory from
Romanian Accreditation Association (RENAR). Currently these results represent ISOTEST
internal results.
Test performed by Signatures
Alexandru Zorila
For ISOTEST:
Dr. George Nemes