CoordonatorCoordonator

Institutul

National de Cercetare

-

Dezvoltare

pentru

Microtehnologie

(IMT-

Bucuresti)

Nr. Nr. ProiectProiect: 11 : 11 ––

017017

Director Director proiectproiectDr. Dr. IngIng. Ileana CERNICA. Ileana CERNICA

Universitatea Valahia Targoviste ROM-QUARTZ S.A

Institutul Naţional de C&D pentru Electrochimie si Materie Condensată –

INCEMC Timisoara Universitatea Politehnica Bucuresti (CCO, DCAE)

Buget/cofinantare: 2

000

000 / 35

450

leiBuget/cofinantare: 2

000

000 / 35

450

lei

Adresa web

www.imt.ro/piezosenz

Adresa webAdresa web

www.imt.ro/piezosenzwww.imt.ro/piezosenz

Realizarea unui model experimental de detectie selectiva

a concentratiilor substantelor poluante sau de risc ridicat (pesticide) utilizand microbalante QCM sau rezonatoare AT excitate in camp lateral. Modelul sesizeaza

atat modificari de proprietati mecanice (masa, stres) cat si electrice (conductivitate) in filme nanostructurate selective chimic depuse pe rezonator.

Noutatea

prezentata de proiect este legata de utilizarea unor lay-out-uri multielectrod, dispozitiv utilizand doua moduri de vibratie, realizare de microbalante (QCM), utilizarea de noi materiale piezoelectrice avansate, dezvoltarea de noi tehnici de asamblare 3D pentru senzori si de electronica de analiza semnal integrabila MCM cu senzorii.

Industrie, agricultura, alimentatia, protectia mediului, sanatata. Se determina la nivel de nanoparticole, poluantii de natura anorganica si organica din diverse compozitii.

Potential Potential beneficiarbeneficiar: ROM : ROM ––

QUARTZ S.A.QUARTZ S.A.

Buget de stat: 135 000 leiCofinantare: 1 700 leiAchizitii realizate: 1. Tehnica de calcul pentru cercetare: 10 000 lei

Precursori/ rezultate intermediare

15.12.2007

Documentare si studiu tehnologic. Formularea de ipoteze si analiza acestora

Studii si documentare privind ”the state of the art” in domeniul sistemelor integrate de detectie multiparametru.

Studii si documentare privind "the state of the art" in domeniul materialelor piezoelectrice.

Studii si documentare privind "the state of the art" in domeniul proiectarii senzorilor piezoelectrici

Analiza microsistemelor integrati piezoelectrici;Formulare de ipoteze de lucru privind structuri, tehnologii, proiectare sistem;

Analiza tehnologiilor specifice de asamblare;Formulare de ipoteze de lucru privind tehnologiile de asamblare sisteme si integrarea cu

electronica de analiza sistem;Analiza si selectie substante senzitive;Analiza tehnicilor de testare;Analiza tehnicilor de detectie, monitorizare.

Buget de stat: 605 000 leiCofinantare: 8 750 leiAchizitii realizate: 1. RTP- Echipament de procesare termica rapida: 87 000 lei

2. Sistem de caracterizare micro si nanocomponente, testare microcipuri electronice:

65

000 lei3. Tehnica de calcul:

3

500 leiPrecursori/ rezultate intermediare

29.08.2008

Simulare si experimentare tehnologica

Proiectare senzori multiparametru pe substrat din cuart (SiO2) silangasit.

Simulare si modelare senzori piezoelectrici multiparametru;Proiectare, modelare, simulare si experimentare procese

tehnologice pentru fabricarea senzorilor piezoelectrici multiparametru;Experimente tehnologice de realizare a substantelor senzitive;

Stabilirea preliminara a programelor de proces pentru procesele tehnologice individuale pentru realizarea microsenzorului pe substrat piezoelectric;

Experimente tehnologice de asamblare MCM-3D a structurilor PIEZOProiectare metode de caracterizare tehnologica si electrica;Proiectarea metodei de analiza semnal si a schemei electronice.

Senzori individuali piezoelectrici multiparametru pe cuart: frecventa de rezonanta

5 MHz; diametru cuart

25, 4 mm; aria senzitiva

13,25 mm2; grosimea cuartului 133 mm; rugozitatea 50 A pe ambele fete;

metale depuse: CrAu (50 A Cr si 200 A Au); TiAu (50 A Ti si 200 A Au) si TiPt (50 A Ti si 200 A Pt). Senzor piezoelectric pe cuart

cu electrozi din CrAu si cu un

polimer nanometrc depus pe el

Senzori multiparametru din cuart

cu electrozi din: CrAu; TiAu si TiPt; frecventa de oscilatie 5 MHz, diametrul 25,4 mm2, compatibili cu sistemele de

oscilatie proiectate

Multisenzor pe cuart

(4 senzori conectati individual sau in retea) cu electrozi din CrAu

Asamblarea 3D a multisenzorului din cuart

Buget de stat: 260 325 leiCofinantare: 4 672 leiAchizitii realizate: 1. RTP - Echipament de procesare termica rapida: 43 922 lei

2. Etuva laborator ED 53 : 9

700 lei3. Tehnica de calcul:

2

570 leiPrecursori/ rezultate intermediare

30.05.2009

Proiectare ME. Experimentari tehnologice I

Simularea şi modelarea functionalt a structurii multielectrod.Stabilirea parametrilor de control si caracterizarea tehnologica.Proiectarea ME si a geometriilor test.Realizare set masti de lucru.Simularea functionala a structurii pe substrat piezoelectric,

variante de material. Alegerea substratului optim.Stabilirea parametrilor de control si caracterizarea tehnologica

pentru senzorii multiparametru.

Analiza / evaluare si alegere solutie optima a proiectelor de microsenzori (variante de detectie parametri si aplicatiile de verificare).

Obtinerea substantelor senzitive pentru ME (utilizand ca varianta si materiale nanostructurate). Alegerea substantelor senzitive pentru contaminantii stabiliti a fi detectati in aplicatie

Elaborarea fluxurilor tehnologice preliminare.

Senzor din cuart multiparametru cu electrod din CrAu asamblat si pregatit pentru testarea parametrilor fluidelor (adsorbtia,

desorbtia, viscoelasticitatea, densitatea) in timp real.

Imaginea AFM pe un senzor din cuart

cu electrozi din CrAu

Imaginea cristalografica

obtinuta

la un difractometru cu raze X cu lungimi de unda

variabile (WAXRD)

Realizarea unui strat monoatomic de etanthiol pe Au cu ajutorul Microbalantei cu cristal din cuart

(QCM) pe un senzor cu electrozi din CrAu, prin autoasamblarea

moleculelor din etanthiol la frecventa de 5 MHz (SAM)

IMT-

Bucuresti 4 tineri

–

Andrei Ghiu, Alina Matei, Florian Pistritu, Vasilica

Schiopu

Universitatea Valahia Targoviste 5 tineri

–

Bute

Oana,

Bancuta

Iulian, Dulama

Oana, Gheboianu

Anca, Let Dorin

INCEMC Timisoara 4 tineri

–

Grozescu Ana-maria, Lazau

Carmen, Poenar

Maria, Ratiu

Cornelia

UPB (CCO, DCAE) 3 tineri

–

Dragulinescu

Andrei, Mita

Oana, Voinea

Vlad

InterneInterne: 7 lucrari la conferinte, 2 carti

InternationaleInternationale: 3 articole, 3 lucrari la conferinte

Buletin pilot Buletin nr. 2