Limbile
Pagini
Legal
1
2
3
CUPRINS
Cap. I Introducere în camerele curate şi controlate.
Bilanţ de umiditate…................................................................2
Cap. II Clasificare şi standarde internaţionale ale camerelor
curate........................................................................................15
Cap. III Principalele clase ale incintelor cu atmosfera curata..27
Cap. IV Proiectarea camerelor cu atmosferă curată pentru
industria microelectronică......................................................32
Cap. V Filtre de tip U.L.P.A. şi H.E.P.A.................................42
Cap. VI Instalaţia pentru purificarea atmosferei utilizând
„calea umedă”.........................................................................53
Cap. VII Concluzii...................................................................70
Bibliografie
4
I. INTRODUCERE ÎN CAMERELE CURATE
ȘI CONTROLATE. BILANŢ DE UMIDITATE
Istoricul domeniului
Controlul şi purificarea atmosferei într-o incinta a apărut ca o necesitate în
urma cu 100 de ani, atunci când au apărut primele spitale moderne, mai ales în
sălile chirurgicale a fost necesară o atmosferă cu cât mai puţin praf, microbi,
particule în suspensie. Se punea nu numai problema purificării, ci şi a
controlului atmosferei (exemplu: concentraţia O2).
Odată cu apariţia industriilor moderne necesitatea de a controla şi a purifica
atmosfera dintr-o incintă a fost şi mai puternică.
În următorul tabel se prezintă câteva tipuri de industrie în care se utilizează
camerele cu atmosferă curată şi controlată:
Tabelul 1
Tipul industriei Produsele corespunzătoare
ElectronicăComputere, tuburi TV, produse cu imprimare
modernăMicroelectronică Circuite integrate de toate tipurile
Micromecanică Giroscoape, părţile mecanice în CD-uri şi
aparate video
Industria optică Lentile, filme fotografice,
echipamente laserIndustria biotehnologiilor Producerea antibioticelor, inginerie genetică
Industria farmaceutică Produse farmaceutice sterileIndustria aparaturii medicale Aparatura de orice tip
Industria alimentara Alimente sterile
Medicina
Terapia imuno-deficienţilor Izolarea
pacienţilor contagioși. Saloanele de
intervenţie chirurgicale
În tabel sunt redate pentru fiecare tip de industrie produsele care nu pot
fi realizate decât în atmosfera controlată.
5
În general, prima metoda de curăţire şi control într-o incinta a fost
ventilaţia aerului filtrat, astfel se utilizează aerul natural filtrat prin filtre de
diverse tipuri şi reciclat cu ajutorul ventilatoarelor în interiorul camerelor.
Primul care a introdus acest tip de purificare şi control a fost Florence
Nightingale (1895). Totuşi, dezvoltarea cea mai puternică s-a produs în al
doilea război mondial, când numărul spitalelor de campanie era foarte
mare.
O serie de deficiențe ale acestui tip de sistem au fost considerate
inacceptabile, odată cu apariţia industriilor moderne (1960), exemplificare:
- efectul diferenţei de temperatura dintre aerul din incinta şi cel din
afara ei;
- diferenţa de presiune dintre aerul incintei şi cel din exteriorul ei;
- probleme apărute din cauza furnizării neconstante a aerului în incintă;
- existența curenţilor de aer în incintă.
Încă din secolul trecut medicul John Simon a cerut ca pentru protejarea
bacteriologica a pacienţilor, curgerea aerului între incinta şi atmosfera de
afara sa fie făcuta din interior câtre exterior, iar aceasta sa fie cat mai
uniforma.
În 1946 Collbrock a făcut un studiu în care a fost prezentat pentru
prima dată efectul piston, în care se arata că sistemele de aerisire prin
ventilaţie determină deplasarea prafului de pe podele în sus, mutându-1 în
atmosfera respirabilă. Astfel a apărut necesitatea creării unor sisteme de
control şi purificare a aerului din incintă cu minimum de turbulente.
În tehnica purificării atmosferei incintelor, o anumită revoluţie tehnică
s-a produs în 1961 prin introducerea unor standarde ce indicau
unidirecționalitatea şi curgerea laminară a aerului purificat (New Mexico).
În fig. 1 este schiţat un astfel de sistem.
6
În 1957 când URSS-ul a lansat primul satelit, începând astfel era
spaţială, a apărut necesitatea creării incintelor cu atmosfera controlată şi
purificată, incinte care nu mai puteau folosi recircularea aerului dinspre
exterior spre interior. În aceasta situaţie s-au pus doua probleme: fie
recondiţionarea aerului prin îmbogăţire cu oxigen şi filtrare cu carbon, fie
prin utilizarea de azot lichefiat iar gazele erau preparate într-o atmosfera
controlată. Ne referim bineînţeles la cabinele spaţiale.
Conceptele realizate de laboratoarele Sandia au fost importante şi prin
aceea ca ele au utilizat primele standarde în domeniu (standardele 209).
În ultima vreme, în industria de mare tehnologie, metodele de purificare
au avansat foarte mult, iar standardele au devenit din ce în ce mai înalte
ajungându-se la cerinţe speciale, care au fost 100.000 microparticule/m3 de
aer în microelectronica industrială.
7
Clasificarea incintelor cu atmosfera controlata
O camera eu atmosferă controlată şi pură este definită conform
standardelor americane 209E, ca fiind o incintă în care particulele
suspensiilor din aer sunt controlate şi care conţin una sau mai multe zone
absolut curate.
Standardele internaţionale ISO 14044/01 dau următoarea definiţie: „O
incintă în care concentraţia particulelor în suspensie din atmosfera este
controlată şi care este construită şi utilizată într-o astfel de maniera în care
să minimalizeze introducerea, generarea şi reţinerea particulelor înăuntru
incintei şi pentru care alţi parametri importanţi cum ar fi temperatura,
umiditatea şi presiunea pot fi controlaţi după necesitate."
Clasificarea incintelor cu atmosfera controlată şi uscarea lor se face
după gradul de curăţenie al atmosferei.
Parametrul care stabileşte gradul de curăţenie al atmosferei este
numărul de particule cu dimensiunea mai mare de 0,5 microni din 1m3.
Clasificarea I.S.O. este cea mai noua în domeniu şi se bazează pe
următoarea ecuaţie:
Cn=10N + (0,l/D)208 unde:
Cn - concentraţia maximă permisă (exprimată în particule pe metru cub aer
de particule în suspensie care au dimensiunile mai mari sau egale cu
mărimea particulei considerate);
C este rotunjit la cel mai apropiat număr întreg.
N - numărul de clasificare I.S.O., număr care nu poate fi mai mare decât 9.
Orice număr între 0 şi 9 reprezintă un număr de clasificare, iar 0,1 este
cea mai mică diviziune a lui N permisă;
D - mărimea particulei considerate (microni);
0,1 - constanta cu dimensiunea unui micron.
În fig. 2 este reprezentată diagrama claselor limită:
8
În tabelul 3 se dă o descriere a camerelor cu atmosferă curată
corespunzătoare concentraţiilor C :
Tipul de incintă
1 Utilizate în industria în care este necesară o atmosfera
controlată
10 Utilizate în industria semiconductoarelor
100 Utilizate în incinte de tip spital, unde nu este dorită
1000 Utilizate în industria optică
10000 Utilizate în industria de echipamente pneumatice
100000 Utilizate în industria asamblărilor echipamentelor
electronice, a echipamentelor optice
Clasificarea zonelor cu atmosfera purificata se face în 4 tipuri principale:
1. Tipul convenţional, cu ventilaţie turbulentă şi multidirecţională;
2. Tipul curgerii unidirecţionale, curgerea laminară a aerului şi sunt prezente
9
filtre de înaltă eficienţă;
3. Tipul de curgere mixtă cu ventilare unidirecţională în care se poate afla un
cabinet cu curgere unidirecţională;
4. Cabinet izolator cu curgere laminară şi unidirecţională cu pereţi izolatori. În
acest tip sunt prezente dispozitive de control ale umidităţii şi temperaturii.
Parametri climatici interiori de calcul
Pentru realizarea stării de confort termic corespunzătoare unui anumit
specific de activitate, factorii care condiţionează realizarea bilanţului termic al
omului trebuie asiguraţi la anumite valori sau sa fie menţinuţi în anumite limite
în funcţie de importanta obiectivului deservit.
Definirea corectă a acestor parametrii prezintă importante implicaţii
funcţionale şi economice, ei devenind ipoteze de bază pentru aerul interior în
dimensionarea instalaţiilor de ventilare mecanică şi climatizare. În afară de
cerinţele de confort sau tehnologie, de importanţa obiectivului ventilat, aceşti
parametrii depind şi de parametrii aerului exterior.
Parametrii de calcul pentru perioada calda a anului
Temperatura interioară de calcul t , prin care se înţelege temperatura aerului
măsurată în centru încăperii la înălţimea de 1,5 m de la pardoseală, intervine la
reprezentarea punctului de stare, la întocmirea bilanţului termic şi la stabilirea
temperaturii aerului refulat în cazul încăperilor climatizate.
Pentru încăperile social culturale climatizate, realizate pentru asigurarea
confortului termic:
t =
unde: t =este temperatura exterioară de calcul vara.
Pentru încăperi de producţie în care procesele tehnologice cer anumite
condiţii de microclimă. În cazul în care aceştia indică intervale mai largi de
10
temperatură, se adoptă temperatura cea mai apropiată de cea necesară asigurării
confortului termic.
Dintre toţi factorii care condiţionează confortul interior temperatura prezintă
importanţa cea mai mare.
Cercetările fiziologice şi tehnologice tind însă din ce în ce mai mult să indice
valori pentru perechi de factori de confort, cum ar fi în cazul următoarelor
procese tehnologice:
Procese tehnologice t [ C] [%]
prelucrarea pieselor de precizie 24 45-50
fabricarea şi ajustarea instrumentelor
de precizie20-24 45-50
etalonarea şi controlul aparaturii şi
instrumentelor de precizie20 45-50
asamblarea aparatelor de măsură şi
control20 50
Umiditatea relativă a aerului interior serveşte alături de temperatură la
reprezentarea punctului de stare, influenţând vizibil starea de confort.
În cazul instalaţiilor de confort, umiditate relativă a aerului din încăperi
poate fi cuprinsă între 30-70%.
Valoarea maximă a umidităţii relative este limitată în funcţie de
temperatura aerului interior, în vederea evitării senzaţiei de zăpuşeală.
t 22 23 25 26 ( C)
70 66 66 56 (%)
În cazul unor secţii industriale şi îndeosebi în industria textilă care necesită
umidităţi relative mari este posibilă folosirea umidificării adiabatice în tratarea
aerului climatizat vara.
11
Viteza de mişcare a aerului interior v are valori fixate din considerente de
confort termic, care devin ipoteze principale în calculul suprafeţelor orificiilor
de refulare.
Pentru instalaţii de climatizare, viteza aerului în zona de lucru este cuprinsă
între 0,10 şi 0,30 m/s, iar pentru instalaţiile de ventilare mecanică ajunge până la
0,5 m/s.
Temperatura medie de radiaţie mr, este strâns legată de gradul de vitrare şi
de izolare termică a elementelor de delimitare la exterior.
O valoare mai apropiată de temperatura aerului interior, posibilă prin
reducerea gradului de vitrare la strictul necesar duce la micşorarea debitului de
aer necesar ventilare, deci la reducerea cheltuielilor de investiţie şi exploatare.
Parametrii de calcul pentru perioada rece a anului
Temperatura de calcul a aerului interior, are influenţe similare situaţiei de
vară. În cazul clădirilor social culturale trebuie precizat ca valoarea prin STAS
1907 / 2-80 răspunde strict probelor de confort puse pentru încăperi încălzite.
Apare necesară limitarea inferioară a temperaturii aerului interior la 20 C,
dat de următoarele aspecte:
- lipsa totală sau parţială a corpurilor de încălzire face ca temperatura
medie de radiaţie să fie mai mică decât în cazul încăperilor încălzite.
- limitarea inferioară a temperaturii aerului refulat la valori t +15 C...,
vara pe lângă degajările de căldura de la sursele interioare se suprapun,
aporturile de căldură din exterior.
- sub aspect economic nu apar inconveniente, deoarece temperatura
adoptată se asigură cu instalaţie de ventilare atât timp cât încăperea este folosită
conform destinaţiei sale.
Umiditatea relativă a aerului interior se alege corespunzător cerinţelor de
confort sau în funcţie de procesul tehnologic similar condiţiilor din situaţia de
vară. În cazul ventilării necondiţionate rezultă uneori valori scăzute ale
umidităţii relative, ceea ce necesită introducerea unor elemente pentru
12
umidificarea aerului.
Viteza de mişcare a aerului rămâne în mai multe cazuri aceeaşi ca şi în
situaţia de vară, instalaţiile funcţionale cu debit constant.
Temperatura medie de radiaţie.
În afara valorii globale a temperaturii medii de radiaţie este necesar să se
sublinieze două aspecte care pot duce la senzaţii fiziologice neplăcute:
- senzaţia de disconfort pe care o pot provoca pardoselile reci, senzaţia ce
poate fi amplificată de natura materiei din care este făcută pardoseala.
- senzaţia neplăcută numită „radiaţie rece” poate fi provocată de ferestre,
mai ales când locurile de şedere sau de muncă se găsesc în imediata apropriere a
acestora.
Aceste efecte neplăcute pot fi combătute parţial prin mijloace constructive,
izolare mai bună a pardoselilor şi ecranarea ferestrelor la interior şi exterior.
Pentru încăperile cu elemente perimetrale de delimitare la exterior se
recomandă în scopul limitării scăderii temperaturii superficiale pe faţa interioară
a acestora sa se prevadă o instalaţie de încălzire cu corpuri statice care să asigure
la nefuncţionarea instalaţiei de ventilare, a temperaturii de gardă (5-10 C).
Bilanţ de umiditate din încăperile ventilate şi climatizate
Sursele de umiditate
Sursele de vapori de apă sunt diverse, în funcţie de destinaţia şi procesele
tehnologice ce se desfăşoară în încăperile respective.
În încăperile din clădirile social-culturale, degajările de umiditate provin de
la oameni.
În secţiile industriale, diversitatea surselor tehnologice de umiditate poate fi
mare: bazine şi băi industriale cu supraîncărcare de apă liberă, apa stagnată sau
scursă continuu pe pardoseală, materialele îmbibate cu apă, materiale umezite în
contact cu suprafeţe calde.
13
Pentru calculul debitului de aer interesează debitul de vapori de apă care este
preluat sau cedat de aer. În majoritatea cazurilor, apar fenomene de schimb de
căldură şi de substanţă între aer şi apa; evaporare, condensare, fierbere, ale căror
legi fiind cunoscute, debitele de vapori de apă degajaţi sau consumaţi, pot fi
calculate.
O altă problemă legată de schimbul de umiditate o constituie schimbul
concomitent de căldură. Trebuie să se acorde atenţie deosebită pentru a stabili
dacă evaporarea apei se face pe seama căldurii conţinută în apă sau pe seama
căldurii primite de la aer.
Fluxul de vapori de la suprafaţa liberă a apei
Fluxul de vapori de la suprafaţa liberă a apei din rezervoare. Debitul de
vapori de apă G se determină din legea evaporării a lui DALTON.
G = C (p -p ) [Kg/h]
unde:
s - este suprafaţa liberă de apa (m );
p - presiunea de saturaţie a vaporilor de apa de la suprafaţa liberă
corespunzătoare temperaturii apei + (1...2) C, în mbar;
p - presiunea parţială a vaporilor de apă din aerul încăperii, în mbar;
B - este presiunea barometrică în bar;
C - coeficient de evaporare care ţine seama de mişcarea aerului la suprafaţa
apei.
Pentru un circuit paralel cu suprafaţa apei avem:
C =(17,18+13,05v) [ Kg/m h ].
Iar pentru un curent perpendicular pe suprafaţa apei:
14
C =2 (17,18+13,05v) [ Kg/m h ].
În urma unor cercetări experimentale, coeficientul de evaporare C a rezultat,
pentru cazul unui curent de aer paralel cu suprafaţa apei, având expresia:
C =(45+15v) [ Kg/m h ].
Fluxul de vapori de la apă ce stagnează pe pardoseală
În ipoteza ca apa stagnează un timp suficient pentru a ajunge la temperatura
egală cu temperatura aerului, după termometrul umed, k primeşte prin convecţie
căldură perceptibilă de la aer pentru evaporare şi că nu există acest schimb de
căldură între apă şi pardoseală, atunci pentru debitul de vapori de apă degajaţi G
, se foloseşte relaţia:
G = [Kg/h]
S - suprafaţa pe care stagnează apa;
- coeficientul de schimb superficial prin convecţie între apă şi aer.
Sarcina de umiditate a încăperilor
Similar calculelor pentru determinarea sarcinii termice, se întocmeşte un
bilanţ de umiditate al încăperii G /sarcina de umiditate, care exprimă diferenţa
dintre suma debitelor de vaporii degajaţi de diferite surse şi preluaţi de aerul
încăperii, Gvd şi suma debitelor de vapori pierdute, cedate de aer Gvp:
Gn= Gvd- Gvp [Kg/h]
Sarcina de umiditate a încăperii trebuie determinată separat pentru condiţiile
din perioada de vară şi separat pentru cele de iarnă întrucât anumite degajări de
umiditate depind de temperaturile aerului.
Sarcina de umiditate este dependentă de sistemul de ventilare ”sus-jos” şi
„jos-sus”.
1. Pentru încăperile cu degajările de umiditate, chiar neînsoţite de degajările
15
de căldura perceptibilă, există şi o „sarcina termică“ proveniţi din conţinutul de
căldură al vaporilor de apă degajaţi având o temperatură egală sau diferită cu cea
a aerului din încăpere. Tipul convenţional, cu ventilaţie turbulentă şi
multidirecţională;
2. Tipul curgerii unidirecţionale, curgere laminară a aerului şi sunt prezente
filtre de înaltă eficienţă;
3. Tipul de curgere mixtă cu ventilare unidirecţională în care se poate afla un
cabinet cu curgere unidirecţională;
Cabinet izolator cu curgere laminară şi unidirecţională cu pereţi izolatori. În
acest tip sunt prezente dispozitive de control ale umidităţii şi temperaturii.
II. CLASIFICARE ŞI STANDARDE INTERNAŢIONALE
ALE CAMERELOR CURATE
În acest curs vom trece în revista câteva din standardele internaţionale
în domeniu, care se pot împărţi în trei categorii:
- standarde tehnice sau de inginerie;
16
- standarde referitoare la farmacologie şi contaminarea biologică;
- standarde referitoare la contaminarea generală.
Organismele care se ocupă cu producerea standardelor pentru incintele
cu atmosferă curată sunt în general ministerele naţionale cu preocupări în
domeniul ecologiei; dar standardele mai pot fi propuse spre omologare şi
de către alte societăţi naţionale cu răsputere în domeniu.
Toate aceste organisme sunt grupate în Confederaţia Internaţională a
Societăţilor de Control a Contaminării, confederaţie care are drept scop
propunerea unor standarde internaţionale în domeniu. Această confederaţie
este partener al organizaţiei I.S.O. şi printre membrii confederaţiei se află
şi Ministerul Mediului din România.
În figurile 3, 4, 5 şi 6 sunt prezentate cele mai utilizate patru tipuri de
camere cu atmosferă curată şi controlată.
Trecem în revista câteva dintre activităţile de standardizare din ultimele
decenii: numărul standardelor în incinte având atmosfera curată a crescut
substanţial din 1975 până în prezent, mai ales în S.U.A., Japonia, Europa.
Cea mai recentă listă de standarde în domeniu numită RP 009 a fost
publicată în 1993 şi a raportat 266 de standarde oficiale (un număr dublu
faţă de ediţia din 1984), numai în S.U.A. existând 167 de standarde.
Pentru a evita confuzia care ar putea apare din cauza numărului mare de
standarde care au aceeaşi preocupare utilizate peste tot în lume, la cererea
Institutului Naţional de Standardizare, Comisia Europeana de
Standardizare şi Norme (C.E.S.N.), a pornit în 1990 un program condus de
o comisie tehnică T.C. 243 de unificare a standardelor, într-un set comun
utilizabil la modul internaţional. Aceasta comisie, în momentul în care a
introdus standardele internaţionale a hotărât de comun acord cu toate ţările
implicate, suspendarea tuturor standardelor şi normelor utilizate în
domeniu.
17
18
19
În 1998 s-au creat următoarele grupe de lucru ce au ca rol adăugirea şi
perfecţionarea standardelor în domeniu. Grupele de lucru sunt:
-W.G.I se ocupă cu clasificarea incintelor cu atmosferă curată în funcţie
de starea de curăţenie faţă de particulele aflate în atmosferă;
-W.G.2 se ocupă cu biocontaminarea;
-W.G.3 se ocupa cu metodele de testare şi metrologie;
-W.G.4 se ocupă cu proiectarea, construirea, şi punerea în funcţiune a
unor astfel de incinte;
-W.G.5 se ocupă cu operaţiunile dintr-o astfel de incintă;
-W.G.6 se ocupă cu stabilirea definiţiilor termenilor şi unităţilor de
măsură în domeniu;
-W.G.7 se ocupă cu dispozitivele prezente în incintă;
-W.G.8 se ocupă cu contaminarea moleculară.
În problema contaminării atmosferei dintr-o incintă, rolul cel mai
important îl joacă particulele aflate în suspensie, indiferent că sunt
microorganisme vii sau moarte, substanţe inerte sau toxice, particule mari
sau mici, albe sau negre, solide sau lichide.
Domeniul de dimensiuni variază de la 0,001 microni până la 1000
microni. Proprietăţile particulelor referitoare la suprafaţă pot fi foarte
variate.
În ceea ce priveşte contaminarea, în afara contaminării cu particule (cea
mai importantă), mai pot apare şi alţi factori, de contaminare, temperatura
aerului, umiditatea aerului, intensitatea luminii, vibraţii în atmosferă,
câmpuri electromagnetice mari prezente în atmosferă, zgomot, radiaţii
nucleare, ionizarea puternică a atmosferei.
În ceea ce priveşte microorganismele prezente în atmosfera (clasa de
curăţenie biologică sau farmaceutică), aceasta poate include microbi, iar
determinarea contaminării cu microorganisme este complexă şi necesită
20
mult timp: 1-3 zile. Standardul care se ocupă cu aceasta este I.E.S.R.P.023.
Subiectul acesta al contaminării cu microorganisme în atmosfera dintr-
o incintă este la început de drum. Tratarea atmosferei pentru eliminarea
acestor microorganisme este foarte dificilă, deoarece substanţele folosite
rămân în atmosferă şi pot fi mai periculoase în ceea ce priveşte
contaminarea atmosferei.
În clasificarea camerelor cu atmosfera curată se foloseşte din 1960
termenul de „Camera albă" pentru camerele cu nivel scăzut de praf,
umiditate şi temperatură controlată; aceasta deoarece astfel de camere sunt
vopsite în alb. În figura 7 este reprezentată schema unei astfel de camere
albe.
Clasificarea camerelor cu atmosferă controlată şi curată
Clasele tehnice (inginereşti) pentru câteva state avansate în domeniu,
sunt prezentate în tabelul de mai jos.
Ţara index standard anul adoptării observaţii
Australia A.S.1386 1989Pentru staţii de lucru în
incinte curate
Franţa A.F.N.O.R.X. 1981
Pentru definirea nivelelor
de curăţire a atmosferei în
incinte specifice
Germania V.D.L2083/3 1983
Tehnici de măsura şi control
a contaminării pentru
incintele cu atmosferă curată
21
Ţara Index standard Anul adoptării Observaţii
Olanda V.C.C.N.l 1992
Clasificarea aerului în
raport cu praful şi
microorganismele
Japonia J.T.S.-B-9920 1989
Metode de măsurare pentru
particulele în suspensie din
incintele cu atmosferă
curată
Rusia G.O.S.T.-R-50776 1995
Clasificarea camerelor cu
atmosferă curată, cerinţe
generale
22
Anglia B.S.5295 1989Curăţenia mediului în
incinte
S.U.A. F.S.209 E 1992
Clasificarea curăţeniei
incintelor în raport cu
particulele în suspensie din
atmosferă
În tabelul următor se face o comparaţie a diverselor clase tehnice folosite
în lume clase referitoare la incintele cu atmosferă curată.
U.S.A. ISO JAPONIA FRANTA GERMANIA ANGLIA209E 14644-1 B9920 X 44101 VDI BS 52951992 1997 1989 1981 1990 1989
U.S.A. JAPONIA FRANTA GERMANIA ANGLIA
1 ISO CLI 110 ISO CL2 2 0100 ISO CL3 3 1 C1000 ISO CL4 4 2 D10000 ISO CL5 5 4000 3 E,F100000 ISO CL6 6 40000 4 G,K
ISO CL7 7 400000 5 JISO CL8 8 4000000 6 KISO CL9 7
Deoarece despre standardul american 209E s-a mai scris, vom face o
descriere generală a celorlalte standarde din tabel.
- Englez BS 5295: "Curăţenia mediului în spaţii închise", publicat în 1976 şi
revizuit în 1989.
Conţine:
- partea 0: Introducere, terminologie şi definiţii pentru incinte curate şi
dispozitive de purificare a atmosferei:
- partea 1: Specificaţii pentru camere curate şi dispozitive de
23
purificare a atmosferei
- partea 2: Metode de proiectare şi construcţie pentru camere
curate şi dispozitive de purificare a atmosferei;
- partea 3: Ghid de proceduri operaţionale aplicabil camerelor curate şi
dispozitive de purificare a aerului;
- partea 4: Specificaţii pentru monitorizarea camerelor curate
şi dispozitive de purificare a aerului.
În tabelul următor se prezintă în detaliu ce înseamnă fiecare clasa de
curăţenie a mediului în standardul englezesc:
Clasa de
curăţenie a
mediului
Numărul maxim de particule permise pe m3 egal sau mai mare decât
mărimea considerată)
0.3 0.5 5 10 25
C 100 35 0 NS NSD 1000 350 0 NS NSE 10000 3500 0 NS NSF NS 3500 0 NS NSG 100000 3500 200 0 NSH NS 35000 200 0 NSJ NS 350000 2000 450 0K NS 3500000 20000 4500 500L NS NS 200000 45000 5000M NS NS NS 450000 50000
NS - nespecificat
- German V.D.I. 2083. Acest standard a fost conceput de către
Asociaţia Germana de Inginerie care şi-a început activitatea în anul 1976 şi
care a făcut prima propunere de standard în acelaşi an, revizuind-1 în 1987,
făcându-se adăugiri în 1998. Este format din următoarele parţi:
- partea 1: noţiuni fundamentale, definiţii, determinarea claselor;
- partea 2: construire, utilizare, întreţinere;
- partea 3: tehnici de măsurare pentru camere cu aer curat;
24
- partea 4: curăţarea suprafeţelor;
- partea 5: criterii de confort;
- partea 6: personalul muncitor în zona camerei curate;
- partea 7: curăţarea şi procesarea elementelor ce formează mediul
(gaze, lichide, etc);
- partea 8: compatibilitatea produselor pentru camere curate;
- partea 9: calitatea, producerea şi distribuirea apei super-pure;
- partea 10: distribuţia elementelor utilizate în camere cu atmosferă
curată;
- partea 11: asigurarea calităţii;
- Japonez J.I.S.B.9920. O clasificare a camerelor cu atmosferă curată a
fost publicata în Japonia în 1989 şi reprezintă de fapt o traducere a
standardului american F.S.209E, de la care totuşi se abate în felul următor:
a: este metric şi sistemul de denumire se bazează pe puterea
concentraţiei particulelor;
b: utilizează particule mai mari decât 0. 1 microni, faşă de cel american
care utilizează particule mai mari decât 0.5 microni;
c: are două clase de curăţenie a atmosferei faţă de F.S.209E.
- Rusesc G.O.S.T.-R 50766-95. Încă din 1970 U.R.S.S. a
publicat un astfel de standard primar. În 1991 Asociaţia Sovietică
pentru Incintele cu Atmosferă Curată s-a afiliat la Asociaţia Internaţională
pentru Cooperare în Privinţa Standardizării.
Rusia, ca stat separat, a continuat activitatea în aceasta privinţa şi a
emis în ianuarie 1996 standardul rusesc în domeniu.
- Standardele I.S.O.
Standardul I.S.O. în domeniu a fost revăzut şi republicat în 1999.
Standardul I.S.O. conţine următoarele secţiuni:
- introducerea: în care explică locul standardului în seria standardelor
25
I.S.O. în acest domeniu.
- specificaţiile: sunt normative, dau scopul, definiţia, clasificarea; se
arata felul în care o anumita incinta cu atmosfera curata este cuprinsa în
standard.
Anexa A: este informativă, dă definiţiile;
Anexa B: dă clasele de incintă;
Anexa C: normativă, redă metoda de testare pentru determinarea unei
clasificări particularizate pentru incinte cu atmosfera curată utilizând un
numărător de particule. Descrie următoarele:
a - număr de particule,
b - condiţiile de pretestare;
c - calculare numărului probei;
d - calcularea volumului unei singure probe;
e - procedura pentru prelevarea de probe;
f - înregistrarea rezultatelor;
g - calcularea datelor;
h - interpretarea datelor.
Anexa D (normativă): Procedura de calcul pentru limita superioară
procentului de 95% din numărul de particule;
Anexa E (informativă): exemple de calcule pentru clasificare;
Anexa F (informativă): numărul şi mărimea particulelor în afara
rangului considerat pentru clasificări, cum ar fi particulele ultrafine şi
microparticule;
Anexa G (normativă): se referă la procedura pentru luarea secvenţială
de probe.
26
III. PRINCIPALELE CLASE ALE INCINTELOR
CU ATMOSFERĂ CURATĂ
Clasa farmaceutică şi de biocontaminare
Dezvoltarea standardelor pentru camerele cu atmosferă curată folosite
în industria farmaceutică a început în deceniul VII.
Normele iniţiale se numeau G.M.P. (Practica procedurilor de bunuri de
calitate în farmacie); noutatea adusă de această clasă se referă la
identificarea, zonelor critice" din camere cu atmosferă controlată, zone în
care factorul de risc la contaminare este mare.
Primul standard G.M.P. a fost publicat în 1963 de Administraţia Hranei
şi Medicamentelor din S.U.A. în 1966 a apărut următorul regulament în
Suedia,
În 1969 a fost adoptat primul standard de Organizaţia Mondială a
Sănătăţii; ultimul standard în domeniu a fost adoptat în anul 1997 de către
U.E. prin organismul sau specializat P.I.C. (Convenţia de Inspecţie
Farmaceutică).
În Rusia s-a adoptat în 1992 primul standard din Europa de Est cu
indicativul LD 64 125-91.
Cele mai utilizate standarde cu privire la camerele cu atmosferă curată
utilizate în industria farmaceutică sunt:
- standardul P.I.C. (1995): valid în ţările din afara Europei;
şi a Australiei,
- standardul F.D.A. (1987): valid în S.U.A.;
- standardul G.G.M. (1997): valid în U.E.
Din păcate nu există uniformizare mondială a standardelor în acest
domeniu spre diferenţă de standardele pentru utilizări inginereşti.
27
P.1.C G.M.P.
G. M.P.
E.U.-G.M.P.
1992
F.D.A.
1987
Clase de transfer toate
operaţionale
Condiţii în repaos operaţional operaţional 209E 209 E ISO
Grad A 100 100 critica 100 M3,5 ISO 5
Grad B 100 10000 - 100 M3,5 ISO 5Grad C 10000 100000 - 10000 M5,5 ISO 7
Grad D 100000 -Arie
controlată100000 M6,5 ISO 8
Tabelul se referă la standardul G.M.P. şi la clasele prevăzute de acesta.
Standardele internaţionale de biocontaminare I.S.O.
I.S.O. 14698 - sunt standarde de completare la momentul actual, dar
vor fi mai generale referindu-se la un cadru mai larg de industrii,
incluzând pe lângă industria alimentară şi a medicamentelor, serviciul de
sănătate, industria cosmeticelor etc. Sunt împărţite în trei categorii:
1) Controlul biocontaminării: I.S.O. 14698-1;
2) Datele şi interpretarea acestora, date referitoare la biocontaminare:
I.S.O. 14698-2;
3) Suprafeţele de control a biocontaminării: I.S.O. 14698-3.
Clasele de biocontaminare
Sunt clase mai generale decât cele biologice referindu-se nu numai la
contaminarea cu microorganisme, ci şi la cea radioactivă, chimică etc.
Exista patru clase (B.L. 1-4), de laboratoare sigure din punct de vedere
biologic.
Clasa B.L.l este pentru laboratoare obişnuite şi se refera la laboratoare
biologice şi chimice în scoli şi universităţi.
Clasa B.L.2 este pentru laboratoare cu pregătire specială a cadrelor în
legătură cu prevenirea infecţiilor şi mânuirea substanţelor otrăvitoare.
28
Este folosit în laboratoare de diagnosticare precum şi în laboratorul
serviciului sănătăţii. În figura 8 este prezentat un astfel de laborator, cu
spaţii izolate interconectate.
Clasa B.L.3 se referă la laboratoarele speciale cu presiune negativă; în
aceste laboratoare presiunea aerului este menţinută la o valoare mai mică
decât presiunea atmosferică, astfel încât aerul contaminat sa nu părăsească
camera. Aceasta clasă este folosită de laboratoare cu siguranţă sporită cum
ar fi laboratoarele de depistare a tuberculozei.
Clasa B.L.4 este o clasă pentru laboratoarele speciale care realizează
separaţia totală între oameni şi microorganisme în orice condiţie şi care au
presiunea negativă şi sterilizare. Sunt laboratoare cu înalt grad de risc.
Lista cu dispozitive ce trebuie regăsite în laboratoare
de anumite clase
În conformitate cu aceste dispozitive clasele sunt indexate de laRP001-
RP028. Iată câteva dintre ele:
RP 001 - filtre de toate tipurile;
29
RP 002 - dispozitive de curăţare a aerului prin curgere laminară;
RP 003 - sisteme de control a mediului interior;
RP 006 - dispozitive de testare a curăţeniei atmosferice în incintele
specializate;
RP 009 - manualele de utilizare a camerelor şi dispozitivelor din acestea;
RP 015 - echipamente de producere a incintelor specializate;
RP 018 - echipamente de curăţare a incintelor;
RP 024 - facilităţi de măsurare a vibraţiilor.
30
IV. PROIECTAREA CAMERELOR CU ATMOSFERĂ
CURATĂ PENTRU INDUSTRIA MICROELECTRONICĂ
În industria microelectronică, care se referă la construirea dispozitivelor
semiconductoare de dimensiuni foarte mici, este obligatoriu utilizarea
camerelor cu atmosferă controlată deoarece orice fir de praf depus pe
suprafaţa semiconductorului poate scurtcircuita circuitul electronic,
distrugându-1. În general, la începutul microelectronicii se utilizau
incintele decontaminate şi sigilate. Mai târziu au fost introduse adevăratele
camere cu atmosferă curată şi controlată.
Spre diferenţă de incintele folosite în farmacii, incintele folosite în
microelectronică sunt supuse contaminării cu praf, cărbune, nisip, particule
fine de lemn, reziduuri de silicon şi germaniu, vapori de apă apăruţi în
procesul industrial.
În figura 9 este prezentată o incintă folosită în industria
microelectronică, care prevede protecţia la contaminările descrise mai sus
(incinta foloseşte curent de aer vertical). În figura 10 sunt descrise cabinete
de lucru care realizează acelaşi tip de protecţie, dar în spații mai restrânse.
31
De asemenea, apar în mediul atmosferic din incintă, temperaturi de
peste 1000 grade Celsius, acţiuni excepţional de agresive ale substanţelor
chimice, vapori chimici foarte toxici.
Toate acestea au loc într-un mediu în care se produc dispozitive cu
dimensiuni chiar mai mici de o sutime de micron, iar elementele active
care sunt interconectate într-un singur microelectron pot fi de milioane, în
timp ce un dispozitiv are doar 1cm2.
clasa I clasa II clasa III
Fig. 10 Cabinete de lucru de diverse clase folosite în industria
microelectronică
În tabelul următor trecem în revistă procedeele industriale
caracteristice microelectronicii locul unde se produc acestea precum şi
produsele caracteristice ce contaminează atmosfera din laboratorul de
producţie.
32
PROCEDEUL UNDE APARE CONTAMINARE
Polizare
Polizare echiaxială -
folosite în condiţii de
temperaturi înalte cu
vapori de apa
Dioxid de siliciu sub
forma de praf
Acoperiri oxidiceînveliş aplicat
fotorezistent
Diferiţi oxizi sub forma
de praf
Tratarea cu ultraviolete
Fotomăşti
electronice produse
în radiaţie
ultravioleta
Expunere la
radiaţii
ultraviolete
Procesul de difuziune
la temperaturi înalte
Dispozitive de
implantare ionica,
captare de impurități şi
purificare
Praf de siliciu şi
impurităţi
Acoperiri aluminiceDispozitive de
acoperire cu aluminiu
Microparticule de
aluminiu
Realizare de
microcontacte
În dispozitivul de
microcontacte de
aur
Microparticule de aur
Din cauza gradului înalt de contaminare în procesul industrial
respectiv, clasa de incinte cu atmosferă curată şi controlată utilizată este
foarte înaltă şi cuprinsă între clasa 100 corespunzător lui I.S.O.5 şi clasa
10000 corespunzător lui I.S.O. 7.
În general, incintele cu atmosferă curată şi controlată specializate
pentru industria microelectronică sunt foarte scumpe şi nu pot fi amortizate
mai devreme de doi ani de la punerea în funcţiune a laboratorului de
microelectronică industrială.
33
Incintele cu atmosfera curată şi controlată se construiesc în mai multe
tipuri de aranjament, aşa cum se vede şi în figura 11.
de serviciu suprafata de serviciu
camera curata \ camera curata
ISO 3
ISO 6
Fig. 11 Trei tipuri de aranjare a incintelor:
a) cu acoperire integrală pe mijloc;
b) cu acoperire pe spaţii de lucru interconectate;
c) cu mini incinte.
Din cauza preţurilor ridicate nu se poate utiliza o proiectare care să ţină
cont de parametri şi mai înalţi decât cei necesari. Tot din cauza preţului,
proiectarea trebuie sa ţină cont de flexibilitate; adică de posibilitatea
utilizării laboratorului la mai multe scopuri diferite între ele. Aceasta se
realizează posibilitatea rearanjării echipamentului, pereţilor, filtrelor,
utilităţilor etc. (reamenajarea ar trebui sa se facă uşor).
În microelectronică se produc incinte cu atmosferă curată şi controlată
numai în locuri în care este necesar şi numai la nivelul necesar. Ca să se
producă cu succes o astfel de incintă trebuie ţinut cont mereu ca o zonă
curată este precum zonele vidate: absoarbe impurităţile din mediul
exterior. Cu cât zona este mai curată cu atât tendinţa de contaminare este
34
mai mare.
Metode de proiectare
Proiectarea camerelor pentru producerea semiconductorilor evoluează
anual, mai ales în privinţa modalităţilor de purificare a atmosferei, precum
şi în stabilirea direcţiilor de curgere a curenţilor de aer.
Acum se utilizează curenţi de aer unidirecţionali care provin din filtre
celulare de înaltă eficienţă, direcţia curenţilor fiind stabilită dinspre podea
spre tavan.
Unii proiectanţi utilizează metoda revenirii curentului de aer spre podea
(figura 12), în timp ce alţi proiectanţi introduc aerul preluat de la tavan prin
tubulatură prin subsolul camerei, subsol specializat pentru o astfel de
metodă (figura 13).
35
În figura 13 se poate observa cum aerul este trimis dinspre plafon spre
podea. Atât plafonul cât şi podeaua fiind celulare, permiţând astfel sa fie
traversate de curentul de aer. În plus, ele realizează şi o filtrare
suplimentară a aerului.
Aerul ajuns în subsol este împins spre pereţii laterali dubli, unde se află
camerele de condiţionare şi purificare a aerului.
Printr-o reţea de tubulaturi aerul este introdus în partea superioară a
plafonului celular. O astfel de cameră se numeşte camera de tip balon,
fiind în general o cameră de dimensiuni mari, având o suprafaţă mai mare
de 1000 m2. Este o cameră scumpă dar uşor adaptabilă.
Filtrele pentru camerele de tip balon sunt filtre celulare de înaltă
eficienţă care furnizează aer curat în întregul spaţiu al camerei.
Zona de lucru corespunde unui standard de curăţenie a atmosferei
I.S.O. 3 (clasa 1), sau mai bun. Zona circulaţie a personalului corespunde
unui standard de curăţenie I S O 6 (clasa 1000) sau mai rău.
36
În aceste tipuri de camere tehnicienii au acces la maşini fără să intre în
spaţiile curate unde suprafeţele semiconductoare aflate în timpul procesării
sunt supuse contaminării.
În camerele de tip balon este posibilă divizarea spaţiului prin utilizarea
de pereţi prefabricaţi şi tuneluri curate.
Tunelurile cu atmosferă curată pot fi proiectate în aşa fel încât să
corespundă diferitelor standarde de puritate a atmosferei. Diferite
modalităţi de proiectare de acest tip se afla în uz în diferite ţări.
În figurile 14 şi 15 sunt redate două modalităţi tipice de proiectare.
Clasa de puritate a aerului într-o cameră utilizată ca spaţiu pentru
producerea dispozitivelor în microelectronică, depinde de gradul de
acoperire cu filtre celulare a plafonului incintei respective.
În figura 14 - gradul de acoperire este de 100%, pe când în figura 15 -
gradul de acoperire este de 30%,
37
Fig. 15 Grad de acoperire 30%
În tabelele următoare publicate de LE.S.T. în normale de lucru
012, se redă clasa, tipul de curent de aer, viteza medie, precum şi numărul
de cicluri de purificare a aerului pe oră (ciclicitatea purificării):
Clasa Tipul de curent de
aer
Viteza medie
m/minCiclicitate
I.S.O.8 (1000000) N/M 0,3-3 5-48I.S.O.7 (10000) N/M 3-5 60-30I.S.O.6 (1000) N/M 5-12 150-240I.S.O.5 (100) N/M 12-30 240 - 480I.S.O.4(10) U 30-40 300 - 540I.S.0.3 (1) U 35-40 360 - 540
Mai bun decat
I.S.0.3
U 45-50 360 - 600
unde: ciclicitatea este dată de viteza medie ori suprafaţa camerei ori 60.
38
N - unidirecţional;
U - curgerea unidirecţională;
M - camera cu direcţionalitate mixtă a curentului de aer.
39
V. FILTRE DE TIP H.E.P.A. ŞI U.L.P.A.
Generalităţi
Alimentarea cu aer pentru camerele cu atmosfera curată şi controlată
trebuie sa aibă neapărat sisteme de filtrare care să asigure filtrarea
particulelor ce pot contamina procesul de fabricaţie desfăşurat în respectiva
cameră. Până în 1980 aerul era filtrat cu filtre de tip H.E.P.A. (filtre de aer
de înaltă eficienţă). În acei ani, filtrele H.E.P.A. erau cele mai avansate din
punct de vedere al calităţii. Şi astăzi acest tip de filtre sunt larg răspândite,
mai puţin în domeniul microelectronicii, unde a fost nevoie de filtre mai
avansate cunoscute sub numele de filtre de tip U.L.P.A. (filtre de aer cu
penetrare ultrascăzută).
În camerele cu atmosfera curata şi controlata se folosesc filtre de înalta
eficienta atât pentru îndepărtarea particulelor foarte mici, cat şi pentru
unidirecţionarea curentului de aer în camere.
Concentrarea de particule în suspensie precum şi formarea de zone
turbulente în care particulele se pot acumula sunt foarte puternic
influenţate atât de aranjarea în spaţiu a filtrelor de înaltă eficienţă cât şi de
viteza aerului.
Nivelul de particule în suspensie prevăzut de diversele standarde din
CAP.I, poate fi realizat cu diferite aranjări ale filtrelor de tip H.E.P.A. şi
U.L.P.A..
În industria semiconductoarelor, filtrele de tip U.L.P.A. sunt folosite în
scopul realizării dispozitivelor submicronice, iar în industria farmaceutică,
filtrele de tip H.E.P.A. sunt suficiente pentru a îndepărta bacteriile şi
particulele inerte ce pot cauza multe probleme.
Construcţia filtrelor de înaltă eficienţă
40
Filtrele de înaltă eficienţă se construiesc în două tipuri:
- cu straturi în profunzime;
- cu straturi mici;
Amândouă metodele se utilizează în ideea de a asigura o suprafaţă de
filtrare cât mai mare şi cât mai compactă, asamblată cât mai sigur într-o
ramă etanşă care să nu permită existenţa nici unei scurgeri de aer nefiltrat.
În filtrele cu straturi în profunzime, role de hârtie de filtru sunt
împăturite în două direcţii opuse, cap la cap, cu grosimea în două
dimensiuni: 15 cm şi 30 cm. Se foloseşte o foaie de aluminiu ca separator
pentru a întări filtrul. Rama poate fi din plastic, lemn sau metal.
În figura 16 este reprezentat în secţiune o astfel de construcţie clasică
de filtru. Este filtrul cel mai utilizat şi este folosit pentru viteze de trecere a
aerului între 1,25 - 2,5 m/s. În figura 17 este reprezentat un filtru proiectat
fără foaie de aluminiu separatoare.
41
Cel mai recent filtru de înaltă eficienţă se furnizează în minicelule în
care foaia de separare de aluminiu nu mai este utilizată doar ca modalitate
de împăturire (se numeşte „peste muchie") şi este asamblată într-un cadru
de lemn, metal, sau plastic. Aceasta metodă de asamblare permite cuplarea
a 6 - 8 celule pe 2,5 cm (figura 18).
Fig. 18 Filtre în minicelule cu foaie separatoare
42
Filtrele de acest tip pot fi făcute mult mai compacte şi sunt folosite mai
ales în camere cu atmosferă curată şi controlată cu curenţi de aer
unidirecţionali. Se folosesc pentru viteze între 0,35 – 0,5 m/s. În figurile 18
şi 19 sunt prezentate schematic filtre în minicelule cu foaie separatoare,
respectiv fără foaie separatoare.
Mediul de filtrare pentru filtre de tip H.E.P.A şi U.L.P.A. este produs
din fibre de sticla cu diametrul de 0,1 - 1 microni, iar spaţiile între fibre nu
sunt mai largi decât particulele capturate.
Dispunerea fibrelor de sticlă în mediul de filtrare este absolut
întâmplătoare şi nu poate furniza o mărime controlată a porilor.
Când un aerosol intra în hârtia de filtru, al este blocat între fibre, ori în
alte particule prinse între fibre. Deoarece particulele sunt foarte mici apare
o varietate de forţe ce acţionează între particulele blocate între fibre, cum
ar fi forţele Van-der-Waals aceste forţe determină atracţia noilor impurităţi
în interiorul filtrului.
Cele mai importante trei mecanisme în îndepărtarea microparticulelor
într-un mediu de filtru sunt:
- impactul;
- difuzia;
- intercepţia.
43
Mecanismul de îndepărtare a particulelor poate fi descris prin
diagramele următoare:
În procesul de capturare prin impact, particulele destul de mari, cu
masa destul de mare, care au un impuls destul de mare va părăsi curentul
de aer şi vor lovi fibra chiar daca curentul de aer trece pe lângă fibra.
În procesul de capturare prin difuziune, particulele mici care nu au un
impuls destul de mare, se mişcă aleatoriu, ca în figură, fiind bombardate în
mod constant de alte particule mici şi de moleculele gazului în care acestea
se află în suspensie.
Aceasta mişcare electronică face ca microparticulele să lovească fibra.
Dacă o particulă loveşte fibra tangenţial când trece pe lângă ea, va fi
capturată sau reţinută, iar mecanismul se numeşte "intercepţie". Astfel că
într-un filtru, particulele mari sunt îndepărtate prin impact inerţial, cele
mijlocii prin intercepţie directă şi cele mici prin difuziune.
După cum se vede şi în figura 29, eficienţa minimă pentru astfel de
filtre este pentru particulele de 0,3 µm.
Fig. 21 Eficienţa de filtrare funcţie de diametrul particulelor
44
Oricum, eficienţa minimă este dependentă de un număr foarte mare de
variabile, cum ar fi:
1) densitatea de particule;
2) viteza particulei;
3) grosimea mediului de filtrare;
4) viteza, presiunea şi temperatura gazului în care se află particule
ca aerosoli.
Mărimea şi distribuţia fibrelor în mediul de filtrare
În prima figura 22 este redată eficienţa îndepărtării de către fibra de
sticlă a particulelor în funcţie de densitatea pachetului de fibră de sticlă şi
diametrul particulei. A fost considerat diametrul fibrei de 3um şi viteza
aerului de 10 cm/s.
În figura 23 se redă aceiaşi eficienţă funcţie de diametrul fibrelor din
filtru. Viteza aerului este de 10 cm/s şi densitatea de împachetare de 0,1.
Fig. 22 Eficienţa îndepărtării de către fibra de sticlă a particulelor
în funcţie de densitatea pachetului de fibră de sticlă
şi diametrul particulei
45
Testarea filtrelor de înaltă eficienţă
Testarea face în felul următor: se produc particule aproape de aceeaşi
mărime (aprox. 2 µm) şi se foloseşte un aparat numit spectrometru în
scopul de a detecta concentraţia acestor particule în spatele filtrului, când
un debit de aer de 0,4 m3 este trecut prin filtru. Particulele sunt făcute în
general dintr-un material numit diochtilstal (dop). Din cauza ca acesta este
un material foarte cancerigen, se mai folosesc şi alte materiale cum ar fi:
dioctilsebacat, polialfadeftina.
Testarea filtrelor de înaltă eficienţă se face cu penetrometrul Q-107
(vezi figura 24). Acesta măsoară penetrarea aerosolurilor prin filtru. Un alt
tip de testare important este cel prevăzut de standardele europene
EUROVENT 4/4 şi British Standard 3928. Aceasta este o testare la flacără
de sodiu şi foloseşte un aerosol din particule de clorura de sodiu, cu o
dimensiune medie de 0,02 fim. Este folosit la determinarea eficienţei de
filtrare.
Aparatul de testare este reprezentat schematic în figura 25. Standardul
european E.N. 1822 este utilizat pentru clasificarea filtrelor H.E.P.A. şi
U.L.P.A.
46
- partea 1: clasificare, performante la testare, marcaj;
- partea 2: producţia de aerosoli, echipamente de măsură, statistica
particulelor numărate;
- partea 3: testare hârtie de filtru neîmpăturită;
- partea 4: testarea elementelor de filtrare în scopul detectării
prezentei scurgerilor de aer nefiltrat.
- partea 5: testarea eficienţei elementelor de filtrare;
47
Fig. 25 Aparat pentru testare în flacăra de sodiu
1 - regulator de debit 6 - debitmetre 11 - 2 - agitator 7 - sursa de aer la presiune înalta 12 -
manometru3 - încalzitor 8 - fiansa 13 -sita4 - filtru interior 9 - tuburi pentru mostre5 - dispozitiv de maruntire 10 - filtru de testare
În conformitate cu standardul E.N. 1822, filtrele se clasifica în
conformitate cu următorul tabel:
Clase
de
filtrare
Eficienţa
filtrului pe
toată suprafaţa
(%)
Penetrare
a întregii
suprafeţe
a
Eficienţă
locală (%)
Penetrarea
locala (%)
H 10 85 15 - -H 11 95 5 - -H12 99,5 0,5 - -H 13 99,95 0,05 99,75 0,25H 14 99,995 0,005 99,975 0,025U15 99,9995 0,0005 99,9975 0,0025U16 99,99995 0,00005 99,99975 0,00025U17 199,999995 0,000005 99,999975 0,0001
48
VI. Instalaţia pentru purificarea atmosferei utilizând
„calea umedă”
Alcătuirea instalaţiei
În general instalaţia se compune din următoarele părţi:
- camera de distribuţie a gazelor;
- canalul de gaze prin care sunt transportate gazele de ardere spre
scruber;
- rama de ajutaje divergente a scruberului amplasată înaintea intrării
gazelor în scruber, prin care gazele trec cu viteza mare ( 40 m/s).
Trecerea se face sub o perdea de apă produsă de un număr mare de găuri
de diametru egal cu 2mm;
- ventilatorul scruberului de tip centrifugal pentru procedeul de
cetrifugare a gazelor amestecate cu apa;
- retinătorul de stropi unde este reţinută apa antrenată de gaze;
- ventilatorul pentru absorbţia şi apoi evacuarea gazelor în atmosferă;
- coşul de evacuare a gazelor, cu un diametru convenabil prevăzut la
capăt cu un difuzor pentru realizarea unei diluţii cât mai bune a gazelor în
atmosferă.
În componenţa instalaţiei mai fac parte şi decantoarele pentru nămol,
care sunt prevăzute cu toate dispozitivele antrenate şi mecanizate de
adunare, a nămolului spre centru de unde este pompat periodic cu ajutorul
pompelor speciale de nămol pentru bataluri.
Calculul instalaţiei de epurare a gazelor pe cale umedă
Calculul de instalaţie de epurare a gazelor a fost realizată pentru
emisiile poluante ale unei termocentrale electrice folosind drept
49
combustibil cărbuni şi având următoarele caracteristici:
- puterea calorică, PT>300 MW ;
- sarcina medie a cazanului de 80%;
- debitul nominal de combustibil ars, D =160 t/h;
- debitul maxim de gaze emis în atmosferă D 120000 m /h;
- debitul maxim de gaze emis în atmosferă D =108000 m /h.
Tipul de cărbune folosit este lignitul şi are următoarele caracteristici:
- putere calorică inferioara, H =6,7∙10 kJ/kg;
- conţinut de carbon de 18%;
- conţinut de sulf de 1,15%;
- conţinutul de azot de 0,5%.
Din studierea lucrărilor teoretice şi experimentale de specialitate, s-a
tras concluzia ca dimensiunea cea mai recomandabilă pentru diametrul
scruberului este de aproximativ de 1200 mm. Din construcţie rezultă
diametrul interior de 1180 mm.
Secţiunea orizontală a cilindrului va fi:
S = m , (6.1.)
Componenta verticală a vitezei maxime admise în scruber este de 6m/s,
ceea ce limitează debitul unui scruber la:
D =V∙S =6∙1,09=6,5 m /s (6.2.)
sau
D =6,5∙3600=23400 m /h (6.3.)
La un debit maxim de gaze, stabilit pe baza consumului de combustibil
de 120000 m /h şi la un debit de gaze pe scruber de 23400 m /h, se
stabileşte numărul total de scrubere necesare filtrării.
50
N = scrubere (6.4.)
La cele cinci scrubere mai trebuie adăugat unul de rezerva, care va fi
utilizat în timpul curăţirilor periodice. Înălţimea totală este de 6850 m.
Coeficientul de rezistenţă hidraulic, raportat la componenta verticală a
vitezei gazelor, este de 35,5.
Pentru viteza gazelor de 6m/s rezulta ca rezistenta hidraulica este:
H=h (6.5.)
Considerând ca v 1,32 kg/m , se obţine următoarea relaţie:
V= v ∙ kg/m (6.6.)
Pentru greutatea specifică a gazelor din relaţia (6.6.) temperatura
gazelor s-a considerat ca fiind egală cu 120 C.
Cu valoarea găsită a greutăţii specifice se obţin formula pentru
rezistenta hidraulica a scruberului:
H= mm H O (6.7.)
Calculul consumului de apă pentru umezirea peretelui cilindrului se face
cu următoarea formulă:
Q= (8.8.)
51
unde, q=0,13.
D =23400 kg/h, se obţine astfel Q=2,1 l/s (6.9.), respectiv pentru un
scruber sau:
2,1∙3600=7500 l/h (6.10.)
Pentru cinci scrubere (număr maxim simultan în servicii), rezultă:
5∙7500=37500 l/h=37,5 m /h (6.11.)
Pentru umezirea peretelui cilindrului prin menţinerea unei pelicule de
apă permanente au fost proiectate şase ajustaje, care aruncă apa tangenţial
pe suprafaţa interioară a cilindrului.
Secţiunea totală de ieşire va fi (ţinând seama de forma semicirculara a
extremităţilor):
S =0,003∙0,028 =0,000505 m (6.12.)
La debitul calculat anterior (9.9.) de 2,1 l/s se obţine viteza apei:
V =0,0021/0,000505=4,2 m/s (6.13.),
care este cea mai indicată pentru umezirea peretelui. Presiunea necesară
apei la intrarea în ajustaje se determină din condiţia presiunii dinamice
pierdute la ieşire, cu un coeficient de pierdere hidraulică de 0,1; în acest
caz rezistenţa hidraulica va fi:
h= l m H O (6.14.)
La o viteza de 6m/s de intrare a gazelor se va obţine o secţiune netă de
52
intrare a gazelor de:
S = m (6.15.)
ceea ce înseamnă un tub cu diametrul de:
d= 0,600 m =600mm (6.16.)
Ţeava de intrare a gazelor se va aşeza tangenţial la cilindrul cu latura
mare verticala. Pe aceasta ţeavă se intercalează rama de ajutate divergente
formata din zece deschideri cu dimensiunile de 61x290mm, care formează
ajustajele.
Secţiune totală a deschiderilor este de:
S =10∙0,061∙0,290=0,177 m (6.17.)
astfel ca în zona cu secţiune minimă, gazele au o viteza de:
V =6,5/0,177=36,8 m/s (6.18.)
Luându-se o viteza egală cu 3,5 m/s la ieşirea apei din ajustaje se
obţine debitul de apă pe scruber, conform formulei următoare:
D =0,6∙10∙50∙ =300 m /s (6.19.)
Sau respectiv de 0,0033∙3600=12 m /h. Pentru cele cinci scrubere
vor fi simultan în funcţiune la debitul maxim de gaze rezulta:
53
D =12∙5=60 m /h (6.20.)
Pentru determinarea presiunii necesare la ajutaje, se va considera
coeficientul de pierdere hidraulica de 0,5, rezultând:
H= H O (6.21.)
Din camera de distribuţie, gazele încep sa fie antrenate la ventilatorul
scruberului.
La intrarea în racordul principal va rezulta o pierdere de presiune de:
H= mm H O (6.22.)
Pierderea de presiune va fi:
a) în cazul ajustajelor cu ieşirea sub un unghi mai mic decât 8 :
h= mm H O (6.23.)
b) în cazul ieşirii sub un unghi mai mare de 8 :
h= mm H O (6.24.)
Se poate considera o medie uzuala de 40 g/m gaze de ardere.
Conform diagramei pentru aer umed (I-X), la o temperatura iniţială de
54
120 C a gazelor, prin trecerea lor la saturaţie; temperatura apei ajunge la
46 C, iar temperatura gazelor va fi:
T=0,6∙120+0,4∙46=90 C (6.25.)
La aceasta temperatura, volumul real de gaze ieşit din scruber va fi:
D =V ∙ =6 mm H O (6.26.)
unde:V =viteza gazelor în scruber.
Din scruber gazele intra în cotul superior care are diametrul de 650 mm
şi secţiunea de:
S = (6.27.)
Viteza gazelor prin cot va fi egala cu:
V =D /S =6/0,33=18,2 M/S (6.28.)
Determinarea greutăţii în specifice a gazelor la 90 C va fi:
v=v ∙ kg/m (6.29.)
Pierderea de presiune va fi:
a) rezistenţa la intrarea în linii rotunjite va fi z=0,1, respectând
formula următoare:
h= mm H O (6.30.)
55
b) rezistenţa în cotul cu diametrul de 650 mm şi cu raza interioară a
curbei R=1300-325=975 mm, va fi z=0,15, respectând formula următoare:
h= mm H O (6.31.)
c).rezistenta de frecare în cotul L este:
L= mm (6.32.)
şi viteza V =18,2 m/s va fi de 5 mm H O. Difuzorul cu unghiul de 30 are
V =18,2 m/s şi V =2,7 m/s, deci:
h= mm H O (6.33.)
Confuzorul convergent dă o rezistenţă neglijabilă.
56
57
În figura 6.2. există următoarele notaţii: 1 - cot de 90 , diametrul de 600
şi raza de curbura 1300 mm, 2 - tub evacuare gaze, 3 - cilindrul exterior, 4
- apărătoare ajutaje, 5 - conductă inelară, 6 - racord cu ajutaj de
pulverizare, 7 - cadru de susţinere, 8 - tub intrare gaze, 9 - rame Venturi, 10
- conductă alimentare apă, 11 - manometru, 12 - debitmetru, 13 - con
colector, 14 - tub scurgere nămol, 15 - clapetă descărcătoare.
58
Calculul separatorului de picături
Debitul la ieşirea din scruber:
D =6 m /s, sau 6∙3600=21600 m /h; =1 kg/m (6.34.)
Suprafaţa totală de contact necesară pentru separarea apei este de:
A = m , la care se adaugă 10% (6.35.)
A =24+2,4=26,4m (6.36.)
Viteza admisă pe traseu este:
V =V ∙cos =4∙cos30 =4∙0,866=3,5 m/s (6.37.)
unde: V - viteza relativă a gazului (4 m/s)
Secţiunea de intrare în aparat este:
S = m (6.38.)
unde: D - debitul de gaze;
V - viteza admisă pe traseu;
Din cauza necesităţilor constructive, suprafaţa trebuie mărită cu 30
%, adică:
S =1,72+0,51=2,22 m (6.39.)
59
Instalaţia se compune dintr-o paleta cu un anumit număr de table, cu
suprafaţa unei table de: A =0,83 m . Ştiind suprafaţa unei foi de tablă
rezultă numărul total de foi necesare:
N = foi de tablă (6.40.)
unde: A =suprafaţa totala de contact;
A = suprafaţa unei foi de tablă.
Distanţa dintre table pe frontul de intrare în aparat este:
N ∙X+86∙sin30 =1500=32∙X+86∙0,5=1500 (6.41.)
unde: X=45mm.
Distanţa reală dintre plăci este dată de următoarea formulă:
X =X∙cos30 =45∙0,866 39mm, inclusiv grosimea tablei (6.42.)
Lăţimea paletei de reţinere este de:
10mm=1 (6.43.)
Proiecţia paletei pe direcţia normală la curentul gazelor este:
P =1 ∙ cos30 =10∙0,866 8,7 mm (6.44.)
Spaţiul liber de trecere a aerului este:
60
S =X ∙ P =30mm (6.45.)
Spaţiul total liber este:
S =N ∙1500∙S ∙10 =32∙1500∙30∙10 =1,44 m (6.46.)
unde: N =numărul de foi
Viteza la coşuri este:
V = = m/s (6.47.)
Secţiunea de trecere este dată de următoarea formulă:
S =32∙1500∙38∙10 =1,82 m (6.48.)
Viteza pe parcurs va fi:
V = m/s (6.49.)
Viteza medie este de:
V =(V +V )∙sin30 =(4,2+3,2) ∙0,5=3,7 m/s (6.50.)
Rezistenta reparatorului cu coeficientul =8 este:
H= mm H O (6.51.)
61
Pierderea de presiune la aspiraţia ventilatorului şi la cos, pentru
lungimea L=1+12+13 m, cu debitul D =6 m /s şi R=0,45 mm/m, va fi:
RL=0,45∙13=59 mm H O (6.52.)
În difuzor, pentru R=0,05 mm/m şi L=4m, pierderea va fi:
RL=0,05∙4=0,2 mm H O (6.53.)
În total pierderea de presiune va fi aproximativ egala cu 6 mm H O.
Pierderea dinamică la ieşire, având diametrul de ieşire: D=1310 mm,
secţiunea S =1,35 m şi viteza V =6/1,35=4,4 m/s, va fi:
H = H O (6.54.)
În tabel 6.3. sunt recapitulate rezistenţele în instalaţie:
Recapitularea rezistentelor:
Tabel 6.3. Recapitularea rezistenţelor în instalaţie
Scruber 59,5 mm H O
Intrare tub 3,0 mm H O
Rama ajutaj 8,5 mm H O
62
Cot intrare 1,7 mm H O
Cot 2,5 mm H O
Difuzor 12 mm H O
Separator 5,6 mm H O
Coş 6 mm H O
Ieşire 1 mm H O
Total 99,8 mm H O
Se adaugă 20 mm H O rezerva pentru viteze în ajutaje mai mari, h
=120 mm H O.
Alegerea ventilatorului
Se alege un ventilator cu debitul de 21600 m /h. Gura de refulare a
ventilatorului este de 710∙565 mm, adică de:
S =0,71∙0,565=0,4 m (6.55.)
Presiunea dinamica este:
H = mm H O (6.56.)
Presiunea totală va fi:
H =h +h =120+11,5=131,5 mm H O (6.57.)
Se alege un ventilator cu presiunea statica de 131,5 mm H O.
63
Funcţionarea instalaţiei
Gazele rezultate în urma procesului de combustie a cărbunelui şi înainte de
evacuarea acestora în atmosferă, străbat o instalaţie de filtrare umedă şi apoi
sunt evacuate cu ajutorul unui coş de emisie a gazelor. Funcţionarea sistemului
de filtrare a gazelor până la evacuarea acestora în atmosfera cuprinde o serie de
etape după cum urmează:
Din camera de distribuţie a gazelor, gazele sunt aspirate prin gurile de acces
spre scruber. Înainte de intrare în scruber, gazele întâlnesc cutiile de canale
(rama cu ajutaje Venturi). Datorită secţiunii reduse faţă de canalul de gaze, a
tubului Venturi, gazele străbat ajutajele cu viteza mare sub acţiunea unei perdele
de apa, pulverizată de un număr mare cu diametrul de 2mm. Microceaţa de apă
formată, sub influenţa vitezei mari a gazului se dispersează, provocând o curgere
turbulentă producând o amestecare intimă a apei cu gazele poluante, fenomen
denumit aglutinare. În urma aglutinării se obţine mărimea particulei de praf
(prin lipirea acestora între ele) care pot fi separate uşor.
- Amestecul de gaze cu praf şi apa sunt aspirate în scruber şi cu ajutorul unui
ventilator amestecul este proiectat pe peretele scruberului, unde se efectuează
centrifugarea. Prin acţiunea de centrifugare, gazele sunt presate continuu pe
suprafaţa cilindrică, umezite permanent cu apă, prin ajutajele superioare, urmând
să se depună pe fundul scruberului.
- Din scruber gazele străbat un cot cu raza de 1300 mm şi de diametru egal
cu 600 mm unde ajung în reţinătorul de stropi. Gazele epurate de praf trec prin
reţinătorul de stropi, unde este reţinută apa antrenată de gaze. Din reţinătorul de
stropi gazele sunt aspirate cu ajutorul unui ventilator şi evacuate în atmosferă
printr-un cos prevăzut cu un difuzor.
Curăţirea scruberului de nămol se face periodic, nămolul urmând a fi
depozitat în decantoare, iar apa rezultată în urma decantării urmează a fi
neutralizată.
64
Calculul emisiilor de noxe
Pentru calculul emisiilor de noxe se dau următorii parametrii:
- puterea termică, PT>300MW ;
- debitul de gaze emis în atmosferă, D =108000 m /h;
- sarcina medie a cazanului de 80%;
- debitul nominal de combustibil, D =160 t/h.
Tipul de cărbune folosit este lignitul şi are următoarele caracteristici:
- putere calorică inferioară, H =6,7∙10 kJ/kg;
- conţinut de sulf de 1,15 %;
- conţinut de carbon de 18 %;
- conţinut de azot de 0,5 %.
65
a) Poluantul SO
Factorul de emisie pentru dioxid de sulf se determină cu relaţia:
E = kJ/kg (6.58.)
unde:
M - masa moleculară a bioxidului de sulf în, kg/k mol;
M - masa moleculară a sulfului, în kg/k mol;
S - cantitatea de sulf în combustibil, în procente (%);
H - puterea calorică inferioară a combustibilului, în kJ/kg;
r - gradul de reţinere a sulfului în zgura şi cenuşă.
Emisia de bioxid de sulf în urma arderii cărbunelui este:
E=B∙ H ∙e =160∙10 ∙6,7∙10 ∙2,74∙10 =2937 kg=2,93 t (6.59.)
unde:
E - cantitatea de poluant evacuată în atmosferă într-o anumită perioada de timp;
B - cantitatea de combustibil consumată în perioada respectivă, în kg;
H - puterea calorică inferioară a combustibilului, în kJ/kg;
e - factorul de emisie, în kg/kJ.
b) Poluantul NO
Pentru calculul emisiei la sarcini parţiale (> 50 %), se aplică o corecţie
indicată de reacţia:
e , {kg/kJ} (6.60.)
, { kg/kJ } (6.61.)
66
, { kg/kJ } (6.62.)
Emisia de NO se calculează similar:
E =B∙H ∙e =160∙10 ∙6,7∙10 ∙2,5∙10 =268 kg=0,7 t (6.63.)
unde:
e - factorul de emisie la sarcina x, în kg/kJ;
e - factorul de emisie la sarcina de 100%;
L - sarcina cazanului;
a - coeficient în funcţie de tipul combustibilului (0,85).
c)Poluantul cenuşă (pulbere)
Factorul de emisie specific poluantului cenuşă se determină din relaţia:
e kg/kJ (6.64.)
unde:
e - factorul de emisie pentru cenuşă, în kg/kJ;
A - conţinutul de cenuşă în cărbune, în %;
X - gradul de reţinere al cenuşii în focar, în procente de masa;
H - puterea calorica inferioara a combustibilului, în kg/kJ.
Emisia cenuşă este:
E =B∙ H ∙ e ∙=160∙6,7∙10 ∙1,5∙10 =1608 k =1,6 t (6.65.)
d) Poluantul CO
Factorul de emisie pentru bioxid de carbon este: e =98∙10 kg/kJ.
67
Emisia de bioxid de carbon este:
E =B∙H ∙e =160∙6,7∙10 ∙98∙10 =105056 kg=105 t (6.66.)
VII. CONCLUZII
Dezvoltarea economică industrială a ţării noastre din ultimele decenii a
ridicat probleme deosebit de importante pentru combaterea poluării
mediului prin găsirea celor mai eficiente şi moderne metode de ventilare şi
condiţionare a aerului în incintele cu atmosfera curată şi controlată.
Incontestabil, problemele ridicate de mediul înconjurător constituie la
scara planetară unul dintre dosarele cele mai complexe şi grave ale
contemporaneităţii, cu strânse legături în diverse domenii ca: populaţie,
biologie, medicină, energie, etc.
Permanent factorii de mediu: apa, aer, sol au fost supuşi agresivităţii
68
activităţilor antropice; înrăutăţirea progresivă a calităţii acestora a
determinat implicaţii de ordin social, economic, cu repercusiuni asupra
calităţii vieţii.
România, ca şi alte ţări din Europa şi din lume este confruntată cu astfel
de probleme grave de poluare a mediului. Controlul şi purificarea
atmosferei a apărut în urma cu zeci de ani, odată cu apariţia primelor
spitale moderne, unde era necesară o atmosferă cu cât mai puţin praf.
Calitatea mediului în care oamenii îşi desfăşoară activitatea are o
influenţă complexă asupra lor, sub aspect igienico sanitar cât şi al
productivităţii muncii. Calitatea mediului ambiant se apreciază prin
valoarea parametrilor confortului termic, prin compoziţia chimică,
puritatea aerului precum şi prin alţi factori ca gradul de ionizare a aerului,
zgomot, nivel de iluminare.
În dorinţa de a se crea o atmosferă cât mai curată şi fără particule în
suspensii, microbi s-au conceput instalaţiile de ventilare. Apariţia
instalaţiilor de ventilare şi climatizare este legată de unele progrese
realizate în alte discipline şi domenii ale tehnicii.
Odată cu înfiinţarea igienei ca disciplină, la sfârşitul sec. XIX, se fac
cercetări asupra schimbului de aer, asupra conţinutului de gaze nocive,
precum şi asupra purităţii aerului.
Datorită restricţiilor impuse în privinţa poluării atmosferei, o dezvoltare
tot mai mare au căpătat-o instalaţiile de desprăfuire. În urma comparaţiilor
făcute cu toate tipurile de aparate de desprăfuire s-a ajuns la concluzia că în
cazul de faţă metoda cea mai indicată este sistemul de separare a gazelor cu
ajutorul tuburilor Venturi şi scruberului centrifug.
69
BIBLIOGRAFIE
1. Blowers, R., and Crew, B. - Ventilation of operating theatres, Journal of Hzgiene
Cambridge, 58, 427-448, 1973;
2. Bourdillon, R., and Colebrook, L. - Air higiene in dressing rooms for brns or major wouns,
Lancet, 601-605, 1983;
3. Bruderer, J. - An economic and efficient air distribution method for the establishment of a
clean working environment, Swiss Pharma, 5, 11a, 17 - 21, 1983;
4. Ruffeux, P. - Application examples of isolator technology II, Preparation of solution and
filling in sterile drug manufacturing, Pharma Technologie Journal, Isolator technologz in
aseptic manufacturing, 16, 1, 43-45, 1995;
5. Whitfield, W., - A brief history of laminar flow clean room systems, proceedings of the 27th
annual technical meeting, Institute of Environmental Science, SUA pg. 15-17, 1981;
6. Workman, W., and Kavan, L., - VTC's submicron CMOS factory, Microcontamination,
70
5(10), 23-26, 1987;
7. Niculescu, N., Duţă, Gh., Stoenescu, P., Colda, I., - Instalaţii de ventilare şi climatizare,
Ed. Didactică şi Pedagogică, Bucureşti,1982;
8. Voicu, V. - Instalaţii de ventilare şi climatizare a aerului, Ed. Tehnică, Bucureşti, 1956;
9. Ursu, P., s.a. - Protejarea aerului atmosferic, Ed. Tehnică, Bucureşti, 1976;
10. Rojanski, V., Bran, F., Diaconu, Gh., - Economia şi protecţia mediului, Ed. Tribuna
Economică, Bucureşti,1998;
11. Bourdillon, R., Colebrook, L., - Air Hygiene în dressing rooms for burns or major
woonds, Lancet, 1983;
12. Ionescu, I., - Instalaţii de ventilaţie şi condiţionare, Ed. Didactică şi Pedagogică,
Bucureşti, 1967;
13. Voicu, V., - Realizări recente pentru combaterea atmosferei în industrie, Ed. Tehnică,
Bucureşti, 1977;
14. Sima, C., Petraru, C-tin., - Ecologie şi protecţia mediului înconjurătoare, Ed.
Independenţa economică, Piteşti 2000;***DIN 1946-4/1989;*** DIN 24184/1990;*** DIN 13485/1996.
71
72
Top Related