RETEA ROMNET – MINAFAB

Facilitatile de Micro si Nanotehnologii Avansate pentru industrie cu aplicatie concreta la IMM-uri cu

preocupari in domeniu

Bucuresti, Romania

Editat: Compartiment SMMT & Compartiment MNTM

INCDMTM BucurestiŞos. Pantelimon nr. 6 ÷ 8, sector 2, 021631, Bucureşti, ROMÂNIA

Tel: +4021. 2523068/69; Fax:+4021. 252.3437; E-mail: cefin@cefin.ro; incdmtm@incdmtm.ro

http://www.incdmtm.roNr. Reg. Comertului:

J40/1074/1997C.I.F. RO 930

MINISTERUL ECONOMIEI, COMERŢULUI ŞI MEDIULUI DE AFACERI INSTITUTUL NAŢIONAL DE CERCETARE DEZVOLTARE

PENTRU MECATRONICĂ ŞI TEHNICA MĂSURĂRIIŞos. Pantelimon nr. 6 ÷ 8, sector 2, 021631,

Bucureşti, ROMÂNIATel: +4021. 252.30.68/69; Fax:+4021. 252.34.37;

E-mail: cefin@cefin.ro; incdmtm@incdmtm.ro

OFERTA INCDMTMBucuresti

CUPRINS

• Microtehnologii avansate pentru micro-si nanoprelucrari(1) Microtehnologie avansata si echipament pentru micro si nanoprelucrari cu fascicul laser prin sinterizare(2) Microtehnologie avansata si echipament pentru microsuduri cu fascicul laser de mare putere

• Microtehnologii high-tech pentru verificarea vibratiilor(1) Microtehnologie high-tech pentru diagnosticare vibroacustica in-situ in vederea asigurarii mentenantei predictive

• Micro si nanotehnologii de control inteligent(1) Micro si nanotehnologii de control non-contact al topografiei suprafetelor – rugozitate si contur(2) Micro si nanotehnologie de control non-contact al topografiei suprafetelor – topografie 3D(3) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – lungimi (4) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – profile(5) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – 3D(6) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale –interferometru(7) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale –inaltimi(8) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale –inspectie liniara si unghiulara

● Micro si nanotehnologii avansate de calibrare(1) Micro si nanotehnologie avansata pentru calibrarea comparatoarelor şi traductoarelor inductive

• Micro si nanotehnologii avansate de caracterizare a micro -nanostructurilor de suprafata

(1) Microtehnologie avansata de evaluare structuri superficiale

● Microtehnologii avansate pentru micro-sinanoprelucrari

(1) Microtehnologie avansata si echipament pentru micro si nanoprelucrari cu

fascicul laser prin sinterizare

Prezentare:Microtehnologia avansata pentru micro si nanoprelucrari cu fascicul laser utilizeaza masina pentru sinterizare selectiva cu laser tip EOSINT M 270 TITAN VERSION in vederea fabricarii de:modele si prototipuri pentru produse biomedicale implantabile, prototipuri functionale pentru industria auto si aerospatiala, matrite de inalta calitate, precum si pentru proiectare si posibilitati de testare statica si dinamica a implanturilor si a altor piese mecanice pentru industrie. Prin aceasta microtehnologie se realizeaza geometrii complexe imposibil de realizat prin alte procedee de prelucrare a metalului.

EOSINT M 270 TITAN VERSION

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:• Suprafata de expunere: max. 250 x 250 mm • Inaltimea de expunere: max. 215 mm• Viteza de expunere: max. 7000 mm/s (orice tip de piesa poate fi realizata in cateva ore)• Diametrul razei laser: 100 – 500 micrometri• Viteza de pozitionare a bratului de acoperire cu strat de pulbere: 40 – 500 mm/s• Software de proiectare CAD si software specializat prototipare rapida

- SolidWorks 2009 SP2.1, RapidWorks 2.3.1, NextEngineHD- EOS RP-Tools & EOS PSW offline; Materialise Magics RP v.10 licensed version with additional module SG; EOSTYLE

Aplicabilitate: prototipuri functionale pentru industrie, matrite,

componente individualizate:1. DirectMetal20 – pe baza de bronz2. Otel martensitic imbatranit (1.2709)3. Otel inoxidabil 17-4 (1.4542)4. Otel inoxidabil PH1

biomedicale implantabile si prototipare functionala pentru industria automobilelor si aerospatiala:5. Superaliaj CobaltCrom MP16. Titan Ti647. Titan Ti64ELI8. Titan Pur

(2) Microtehnologie avansata si echipament pentru microsuduri cu fascicul laser de mare

putere

Prezentare:Microtehnologia avansata pentru microsuduri din cadrul Centrului MACROLASER utilizează un laser de mare putere de tipul ROFIN SINAR LASER Gmbh /Germania - 2200W şi poate realiza diferite operaţii de sudare, debitare, tratament termic. Aplicarea laserului în procesele de fabricatie oferă avantaje importante cum ar fi flexibilitatea din punct de vedere al materialul de prelucrat, geometria, sau felul de procesare.

Descrierea tehnico-stiintifica esteurmatoarea:1.Sistemul de furnizare a fasciculului laser: sursa laser (> 2000w; 10,6μm); unitatea de răcire); unitatea de comandă si control; magazin pentru gaze de proces 2. Sistemul de transport fascicul laser: componente pentru deflexia fasciculului laser, tubulatura de tranport; cadru de susţinere. 3. Sistemul activ pentru procesare: cap defocalizare fascicul; modul de reglare fascicul; modul pentru gaze de protecţie4. Sistemul de poziţionare şi fixare• Tip laser..... RS 2000 SM

RS 2000 SM • Lungime de unda..... 10,6 µm • Interval de reglaj.... 200 -2200 W • Diametru fascicul.... cca 19 mm

Tehnologie aplicată în cadrul centrului:procedeu de fabricaţie multifuncţional şi flexibil – sudura cu laser a segmenţilor diamantaţi pe corpul discurilor destinate industriei de construcţii.

● Microtehnologii high-tech pentru verificarea vibratiilor

(1) Microtehnologie high-tech pentru diagnosticare vibroacustica in-situ in vederea asigurarii

mentenantei predictivePrezentare: Diagnosticarea vibro- acustica in-situ reprezinta o micro- nanotehnologie moderna, necesara in mediul industrial, caracterul predictiv permitand instalatiilor si utilajelor sa-si prelungeasca durata de viata si implicit sa conduca la cresterea calitatii produselor realizate.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea: Analizor PULSE 3560 B- echipament portabil;- alimentare: 2 baterii Nickel-Metal Hydride sau sursa de cc - 10 - 32 V;- unitate de achizitie cu 4 canale de intrare- domeniul frecventelor: 0Hz… 25.6 kHz- software de baza: Analizor de zgomot si vibratii tip 7700 cu analiza FFT si CPB; - puterea consumata:

Analizor PULSE 3560 B + Sonometru 2250 puterea max. : 26 W - semnale de iesire:

(a) + 5V ± 0.5V; max. 0.4A (b) +12 V ± 1.0V; max. 0.4A

Sonometru 2250• Monitorizarea si evaluarea si zgomotului ambiental• Evaluarea zgomotului produs de masini/ utilaje• Selectia protectiei auditive• Reducerea zgomotului • Controlul calitatii produselor • Masurari ale sunetului clasa 1, la nivelul celor mai recente standarde internationale • Analiza in timp real a sunetului in benzile de octava de 1/1 si 1/3 • Analiza evolutiei in timp pentru parametrii de banda larga si spectru• Stocarea de date pe carduri de memorie • Interfata standard USB cu PC; Domeniu dinamic: 120 dB • Domeniul de frecventa liniara de la 3 Hz . 20 kHz • Analiza frecventei in timp real in benzi de octava 1/1 si 1/3• Date spectrale si de banda larga pot fi inregistrate pentru a se obtine o istorie in timp pentru analize • Software PC inclus for setup, arhivare, export and raportare• Programe de achizitie, masurare, prelucrare si analiza

● Micro si nanotehnologii de control inteligent(1) Micro si nanotehnologii de control non-contact al topografiei suprafetelor – rugozitate si

contur

Prezentare: Pentru atingereaunui standard de masurare high-tech se utilizeaza micro-nanotehnologiile care dispun aparatul pentru verificat rugozitatea şi conturul Form Talysurf 120 Taylor Hobson – Anglia. Seria Form Talysurf reprezintă standardul mondial pentru rugozitate, liniaritate şi măsurarea formei.Caracteristicile cheie includ o bară de referinţă liniară foarte precisă, traductor inductiv cu rezoluţie mare şi cursa de 1 mm şi software lider de piata. Produsul este utilizat în ateliere sau laboratoare, utilizatorul acomodându-se uşor cu ajutorul manualului şi catorva tehnici de programare.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:- traductor având cursa de 1 mm şi 16 nm rezoluţie, cu unitate cu traversă de 120 mm. - opţiunea Wide-Range pentru măsurătorile de contur cu o cursă de până la 28 mm şi software de analiză personalizat pentru contur: Ultra Contour.Tehnologia unică de calibrare pe sferă a firmei Taylor Hobson asigură o liniaritate a traductorului exceptionala, garantând precizia atât la măsurarea formei cât şi a suprafeţei pe toată gama de măsură. Software-ul Ultra Windows este programabil, având incluşi toţi parametrii internaţionali.• domeniu de măsurare X, Z: 120/1 mm [rugozitate]• domeniu de măsurare X, Z: 120 / 28 mm [contur]• rezolutie detector: 0,008 µm / 0,5 mm• rezoluţie pe Z: 0,017 µm

(2) Micro si nanotehnologie de control non-contact al topografiei suprafetelor – topografie 3D

Microscop de Forta Atomica

Prezentare: Micro-nanotehnologiile de control de ultima generatie utilizeaza Microscopul de Forta Atomica pentru caracterizarea in profunzime a suprafetelor de tip film subtire sau suprafete de dispozitive existente, cu ajutorul unui varf de masurare atasat la un cantilever.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:• Domeniu maxim de scanare X, Y: 50 × 50 μm • Domeniu maxim de scanare pe Z: 12 μm • Rezolutie: < 0,6 nm (cu bucla inchisa), < 0,01 nm (fara bucla inchisa) • Abaterea de planeitate: max. 2 nm pe un interval orizontal de 50 microni, fara corectii

software • Cap AFM cu dioda super-luminiscenta (835 nm) • Marire: 780× (pe monitor de 19 inch) • Rezolutie optica: 1 μm • Focalizare motorizata, controlata prin software, pe o adancime de 10 mm

Camera digitala CCD de inalta rezolutie cu zoom digital • Rezolutie 1032 × 778 pixeli• Viteza cadrelor: 20Hz • Viteza procesor controller: > 500 MHz

Aplicaţii: topografie 3D, analize spectroscopice, determinarea vâscoelasticităţii materialelor topografia suprafeţelor, analize chimice structurale, microscopie prin modulare magnetică, nanolitografie, scanare microscopică, etc.

(3) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – lungimi

DMS 680

Prezentare: Cu ajutorul micro-nanotehnicilor de masurat lungimi ce utilizeaza maşina DMS 680 Joint Instruments – Italia se realizeaza verificarea periodică a instrumentelor şi calibrelor.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:• incertitudine de măsurare U95: max 0,5 μm

• domeniu de măsurare:

- măsurare absoluta: 100 mm

- măsurare diferentiala: 680 mm

- rezoluţie: 0,0001 mm

• Determinarea abaterilor dimensionale şi de formă ale calibrelor cilindrice netede limitative

• Determinarea erorilor de indicaţie ale micrometrelor şi comparatoarelor

Aplicabilitate:- verificarea calibrelor pentru beneficiari din industria auto (SC Automobile Dacia SA, Renault Mecanique Roumanie);- verificarea instrumentelor de măsurare tip micrometre, comparatoare pentru beneficiari (Flexitech – Piteşti, Lear Corporatio – Ploieşti, Gruppo Italiano Imballaggi SRL – Bucureşti)

(4) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – profile

PV – 5100 (Mitutoyo – Japonia)

Prezentare: Microtehnologiile destinate verificarii micro si nanodimensionale al reperelor de mare precizie utilizeaza echipamente high-tech de tipul proiectoarelor de profile.

Proiectorul PV-5100 (Mitutoyo) este un proiector de mărime mijlocie, cu un ecran de 508 mm diametru. Proiecţia conturului şi starea suprafeţei unei piese de lucru pot fi transmite către ecran cu un factor de mărire de 5x, 10x, 20x, 50x, 100x şi pot fi făcute măsurari şi observaţii.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:- Când se folosesc lentilele de 5x, se poate proiecta un câmp de 100mm diametru;- Lentilele de proiecţie de înaltă performanţă şi becul cu halogen al unui sistem de

iluminare telecentric conferă o descriere reală si de mare acurateţe; - Sistemul de iluminare înclinat a suprafeţei asigura obţinerea unei imagini de proiecţie

clare;- Este încorporat un numarător digital de unghi ce creşte uşurinţa în utilizare. - Având cursa de 200x100mm se poate utiliza si la măsurarea, inspecţia şi observaţia

pieselor mari.- Mecanismul de eliberare rapidă scurtează pe cat posibil timpii de măsurare a pieselor

mari. - domeniu de măsurare axa X: 0÷200 mm- domeniu de măsurare axa Y: 0÷100 mm- rezolutie : 0,001 mm

(5) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale – 3D

Leitz Reference 600

Prezentare:Micro-nanotehnicile de verificat pe maşina de măsurat în coordonate 3D Leitz Reference 600 – Germania asigura o precizie ridicata potrivită pentru inspecţia geometriilor standard (blocuri cilindrice, cutii de viteză ) precum şi pentru masurarea geometriilor speciale de orice tip, cum ar fi arborii cu came, compresoare cuşurub şi multe altele. Este folosită de asemenea pentru verificarea roţilor dinţate.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea: Rigle de sticla cu înaltă rezoluţie, de tip Heidenhain cu compensaţie automată a

temperaturii. Capete de măsură Leitz, potrivite pentru extensii de palpator. Structura principală este alcătuită din granit şi fier, evitându-se aluminiul. Incertitudine de măsurare: U=(0,9+L/350) µm cu L în mm Domeniu de măsurare X x Y x Z: 1000 x 700 x 560 mm Rezoluţie: 0,05 µm

(6) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensional al reperelor industriale –interferometru

Interferometru cu laser XL- 80

Prezentare: Micro-nanotehnologia de micro- nanomasurare si micro- nanocalibrare cu interferometrul laser conduce la cresterea preciziei functionale ale instalatiilor si echipamentelor mecatronice.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:Precizia sistemului este de ±0,5ppm, pe întreaga gama de operare, în conditii de variatii de temperaturĺ mediu, presiune si umiditate. Senzori inteligenti sunt utilizati de XC-80, care actualizeaza compensarile necesare la fiecare 7 secunde, printr-un port USB, care alimenteaza unitatea XC-80 si senzorii sai. Important este ca toate masuratorile se bazeaza pe o unda laser stabilizata HeNe, recunoscuta pe plan international ca standard de lungime.

o Precizia de măsurare: ±0,5 µm

o Precizia de frecvenţă: ±0,05 µm

o Rezoluţia : 1nm

(7) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensionalal reperelor industriale –inaltimi

MICRO-HITE 350 TESA

Prezentare:Micro-Nanotehnologiile de control care utilizeaza micrometru vertical MICRO-HITE 350 TESA – Elveţia este folosit la determinarea abaterilor dimensionale liniare pe înălţime.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:o incertitudine de măsurare: U=(0,002+3L/1000) mm

o domeniu de măsurare: 350 mm

o rezoluţie: 0,001 mm

Aplicabilitate: verificarea cotelor de înălţime pentru repere ce intră în componenţa produselor din industria auto (SC Automobile Dacia SA, Renault Mecanique Roumanie, Auto Chassis).

(8) Micro si nanotehnologie de control micro-nanodimensionalal reperelor industriale –inspectie liniara si unghiulara

Sistem Vision Starrett Galileo

Prezentare:Micro si nanotehnologia de control micro-nanodimensional al reperelor industriale dispune de microscopul cu sistem Vision Starrett Galileo – USA care permite inspectarea manuală cât şi automată a pieselor, rapid, simplu şi precis. Sistemul foloseşte două monitoare şi un software-ul de măsurare asemănător sistemului de operare Windows.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:o incertitudine de masurare

X,Y: U=max.(1,9+5L/1000) μm Z: U=max.(2,5+5L/1000) μm, cu L în mm

o domeniu de masurare: X 300 mm, Y 150 mm, Z 140 mm o rezolutie sistem de măsurare: 0, 1 μmSoftware-ul permite:

recunoaşterea automată a caracteristicilor; generarea unui raport; capturarea video a imaginii în format jpg sau bmp cu capabilităţile de raportare grafică; importarea datelor (fisiere de tip “dxf” sau “iges”) pentru programarea şi exportarea lor;

● Micro si nanotehnologii avansate de calibrare(1) Micro si nanotehnologie avansata pentru calibrarea comparatoarelor şi traductoarelor

inductive

OPTIMAR 100 Mahr

Prezentare:Aparatul OPTIMAR 100 Mahr este folosit pentru calibrarea comparatoarelor şi traductoarelor inductive, este utilizat in cadrul tehnologiilor de micro si nano-calibrare pentru produsele beneficiarilor din industria high-tech.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:o incertitudine de măsurare: U95=(0,2+L/100) μm, L în mmo domeniu de măsurare: 100 mm

o rezoluţie: 0,02 μm

Aplicabilitate: calibrarea comparatoarelor la comandă beneficiari (Flexitech – Piteşti, Lear

Corporatio – Ploieşti, Gruppo Italiano Imballaggi SRL – Bucureşti).

● Micro si nanotehnologii avansate de caracterizare a micro-nanostructurilor de

suprafata(1) Microtehnologie avansata de evaluare structuri superficiale

251 VRSA AFFRI

Prezentare:Durimetru 251 VRSA AFFRI – Italia este utilizat in cadrul microtehnologiei avansate de evaluare structuri superficiale la măsurarea durităţii pieselor fabricate de mare anduranta utilizate in mediul industrial.

Descrierea tehnico-stiintifica este urmatoarea:o Rezoluţie: 0,1 HV-HB-HRo Afişare digitală

o Conversie automată în alte scări de duritate, inclusiv HRCAplicabilitate: Măsurarea pieselor fabricate de INCDMTM pentru beneficiari din industria auto (SC Automobile Dacia SA, Renault Mecanique Roumanie, Auto Chassis).

OFERTA IMT Bucuresti

CUPRINS

Capacitati de proces1) Litografie pentru MEMS, Bio-MEMS, MOEMS, RF-MEMS2) Micro/ nanodepunere directa de pete şi modele (molecule, precursori, nanopuncte)3) Depuneri fizice (10-7 mbar, Al, Ni, Cr, Au, Pt, Ti, W, AlSi, etc)4) Gravare uscata (CF4, SF6, O2, Ar, 13,56 MHz, 600W)

Gravură electrochimică/umeda Procese termiceDepuneri chimice

5) Prototipare rapida6) Caracterizare cu raza7) Caracterizare prin scanarea probei8) Caracterizarea dispozitivului şi teste de fiabilitate9) Caracterizare spectroscopica (filme subtiri, nanomateriale)10) Alte inspectii11) Chimie de suprafaţă şi curăţarea plachetelor 12) Crearea de pori prin anodizare electrochimica13) Taierea in cuburi a placutelor, imbinare prin poanson, imbinare prin fire

CAD şi Capacităţi de simulare 1) Analiza câmpului pentru MEMS (statică, tranzitorie, armonica)2) Proiectare si simulare a componentelor şi a sistemelor microfluidice3) CAD şi simularea pentru micro-componente fotonice pasive / active4) CAD şi simularea circuitelor si componentelor RF-MEMS 5) Modele pentru dispozitive pregatite de fabricatie6) Optimizări constructive7) Masca de proiectare şi simularea proceselor tehnologice8) Modelare geometrică (de exemplu, imaginea AFM reconstrucţie în format CAD,

generarea de suprafeţe definite analitic)9) Statistici pentru datele experimentale10) Analiza datelor şi vizualizări11) Pregatire în CoventorWare, ANSYS, Opti FDTD, IE3D

Principalele instrumente tehnologice si de caracterizare1) Instrumente de microlitografie2) Instrumente de depunere fizica3) Instrumente de depunere chimica4) Instrumente pentru gravare uscate5) Instrumente pentru prelucrare termica6) SEM, litografie cu fascicul de electroni; Nanoprinting

7) SPM: AFM, STM, LFM, imagistică de faza, modulatie de forta, spectroscopie de forţa, SNOM, confocal, SECM

8) Instrumente pentru caracterizare nanomecanica9) Difractie, interferometrie, spectroscopie; voltametrie

Cercetarea microsuprafetelor si biomoleculelor10) Probe, microplacute; caracterizare electrica

Instrumente de testare şi fiabilitate 11) Statii de lucru12) Alte instrumente

Instrumente de calcul, simulare şi proiectare 1) Analize cuplate pentru MEMS2) Componente fotonice: simulare, modelare şi design3) Microunde si circuite cu unde milimetrice si microsisteme: proiectare si modelare4) Alte instrumente

Echipamentele principale disponibile prin intermediul IMT-MINAFAB sunt:

Capacitati principale• Capacitati de proces• CAD şi Simulare Instrumente principale• Caracterizarea instrumentelor tehnologice• Instrumente de proiectare, calculul şi simulare

Capacitati de proces

Litografie pentru MEMS, Bio-MEMS, MOEMS, RF-MEMS• proximitate/ contact/ expunere la flux : 365nm (1000 W, Hg), 249nm (500 W, Hg / Xe)• alinierea feţei mono/ dublă• litografie cu expunere laser: 0.6μm• copierea mastii, foto-repetarea• dezvoltarea• litografie de precizie cu fascicul de electroni• litografie prin combinare si potrivire • nanoimginerie cu fascicule• nanodepunere indusă (Pt, W, SiO2)• gravae indusă (C, SiO2)

Micro/ nanodepunere directa de pete şi modele (molecule, precursori, nanopuncte)• plotare si scanare puncte ale microsuprafetei• imprimare dip-pen programabila a nanomodelelor

Depuneri fizice (10-7 mbar, Al, Ni, Cr, Au, Pt, Ti, W, AlSi, etc)• evaporare cu fascicule • pulverizare DC• termică

Gravare uscata (CF4, SF6, O2, Ar, 13,56 MHz, 600W)• siliciu RIE• polisilicon RIE• oxid RIE• nitrură RIE

Gravură electrochimică/umedaProcese termice (4 ")• oxidare chimică• oxidare umedă• recoacerea• RTP, RTA, RTO• depunerea din sursa lichida POCl3

• depunerea din sursă solidă BN, B+, P+

• difuzie in faza solida• nitrurare, silicare• cristalizare, densificarea• alinierea / sinterizare a proceselor (gazelor de formare)

Depuneri chimice (în curs de dezvoltare)• PECVD - oxid de siliciu• PECVD - BPSG• PECVD - nitrură de siliciu• LPCVD - polisiliciu• LPCVD - nitrură de siliciu netensionata• LPCVD - oxid de siliciu

Prototipare rapida • imprimare 3D (în curs de dezvoltare)• microstructuri laser (în curs de dezvoltare)• fabricare micromatrite

Caracterizare cu raza• SEM• Domeniul de emisie-SEM• Raze X : HRXRD, WAXRD (cu / fără focalizare, cu şi / sau fără monocromatic, cu şi / sau fără analizor de cristal), SAXS, XRR, XRPD, GIXRD, IGPID

Caracterizare prin scanarea probei • AFM - uscat• AFM - celula umeda• STM• NSOM• SECM

Caracterizarea dispozitivului şi teste de fiabilitate• probare electrica I / V (DC. .. 65GHz)

• dispozitive simple şi / sau combinate pentru tensiuni - umiditate, presiune, temperatura, vibratii, socuri mecanice• analiza defectelor MEMS, testare accelerată

Caracterizare spectroscopica (filme subtiri, nanomateriale)• elipsometrie spectroscopica • HR-Raman• fluorescenţă• EIS• UV-VIS-NIR• FTIR

Alte inspecţii• microscopie optică confocala• profilometrie optică

Chimie de suprafaţă şi curăţarea plachetelor Crearea de pori prin anodizare electrochimicaTaierea in cuburi a placutelor, imbinare prin poanson, imbinare prin fire

CAD şi Capacităţile de simulare

(Cuplul) analiza câmpului pentru MEMS (statică, tranzitorie, armonica)• electrostatic şi electroquasistatic• mecanică• termomecanic• piezoelectric• electromecanic• electrotermomecanic• piezoresistent• piezoelectric• film subtire sau spaţiu gol de amortizare a fluidelor• masă de control sau placa de inerţie

Proiectare si simulare a componentelor şi a sistemelor microfluidice• curgeri în microcanale, microfiltre - debit sub presiune, debit termic, lichid de amestec, analiza termica, electrochinetic cu domeniu de comutare; picaturi si bule de simulare (fomare, de transport, fuziune/ divizare, interacţiune cu pereţi); separarea componentei de amestecuri; fenomene de interacţiune fluid-structura.

• micropompe şi microvalve cu principii de acţionare diferite - electrostatice, piezoelectrice pneumatice, electro-osmotic• analize unor multiple tipuri de reactii chimice

CAD şi simularea pentru micro-componente fotonice pasive / active • cristale fotonice• inel rezonator• ghidaje ale undelor optice• circuite integrate optice (active şi pasive)• micro-elemente optice cu difracţie

CAD şi simularea circuitelor si componentelor RF-MEMS Modele pentru dispozitive pregatite de fabricatieOptimizări constructiveMasca de proiectare şi simularea proceselor tehnologiceModelare geometrică (de exemplu, imaginea AFM reconstrucţie în format CAD, generarea de suprafeţe definite analitic)Statistici pentru datele experimentaleAnaliza datelor şi vizualizăriPregatire în CoventorWare, ANSYS, Opti FDTD, IE3D, etc

Principalele instrumente tehnologice si de caracterizare

 Instrumente de microlitografie• sistem laser de litografie - DWL 66 fs, cu laser de scris direct, model generator de înaltă rezoluţie (Heidelberg Acte Mikrotechnik, Germania);• aliniator pentru mastile cu doua fete - MA6/BA6 (Suss Microtec, Germania);• microplacute rotitoare - DELTA 10 (Suss Microtec, Germania), etc

Instrumente de depunere fizica• Sistem de evaporare cu fascicul de electroni si pulverizare DC - AUTO 500 (BOC Edwards, Marea Britanie); • Sistem de evaporare cu fascicul de electroni - EVD 500A (Neva, Japonia);• Sistem de acoperire in vid - BAK-500 (Balzers, Elveţia);

Instrumente de depunere chimica• PECVD - LPX-BCV, cu modul de LDS (STS, Marea Britanie) - va fi instalat în curând; • LPCVD - LC100 (AnnealSys, Franţa) - va fi instalat în curând;• APCVD - Pyrox (Tempress, Marea Britanie) - va fi instalat în curând;

Instrumente pentru gravare uscata• Gravor cu Plasma Rie - Etchlab 200 (SENTECH Instruments, Germania);

Instrumente pentru prelucrare termica• furnale - oxidare, difuzie, sinterizare - Lindberg

• cuptor - procesare rapidă termică/ recoacere - AS-One (AnnealSys, Franţa) - va fi instalat in curand

SEM, litografie cu fascicul de electroni; Nanoprinting• Litografie cu fascicul de electroni şi staţie de lucru nanoinginereasca - e_Line (Raith, Germania)• Microscop electronic de baleiaj cu tun pentru emisii de camp (FEG-SEM) - Nova NanoSEM 630 (FEI Company, Statele Unite ale Americii)• Microscop electronic de baleiaj - Vega II LMU @ model de Generator - PG Elphy Plus (TESCAN sro, Republica Cehă @ Raith, Germania)• Instrument de scriere nanolitografica (DIP Writer Pen) - NSCRIPTOR (NanoInk, Inc, USA)

SPM: AFM, STM, LFM, imagistică de faza, modulatie de forta, spectroscopie de forţa, SNOM, confocal, SECM• Microscop pentru scanarea cu varf - NTEGRA Aura (NT-MDT Co, Rusia) • Microscop pentru scanare in camp apropiat optic - WITEC alfa 300S (WITEC, Germania) • Microscop scanare electrochimica - ElProScan (HEKA, Germania)

Instrumente pentru caracterizare nanomecanica• Echipamente Caracterizarea Nanomecanica - Nano indenter G200 - (Agilent Technologies, USA)

Difractie, interferometrie, spectroscopie; voltametrie• sisteme de difracţie cu raze X (anod cu tripla axa de rotaţie) - SmartLab - 9kW anod rotativ, braţ în plan (Rigaku Corporation, Japonia)• Spectrometru de inalta rezolutie Raman - LabRAM HR 800 (HORIBA Jobin Yvon, Japonia), • Elipsometeu spectroscopic - SE 800 XUV (SENTECH Instruments, Germania) • Interferometru cu lumina alba - hartă foto 3D (FOGALE nanotehnologie, Franţa), • Sistem de analiză voltametric şi polarografic - TRACELAB 50 (Radiometer analitică, Franţa)• Laborator Dinamic Electrochimic - VoltaLab 40: PGZ301 universal potenţiostatic / galvanostatic & 4 software-uri VoltaMaster (EIS, Voltammetry) (Radiometer Analytical, France)• Spectrofotometru UV-VIS-NIR - SPECORD M42 (Zeiss, Germania) • Spectrometru infrarosu cu transformata Fourier - Tensor 27 (Bruker Optics, Germania)• Spectrometru de fibra optica racit termo-electric UV-VIS-NIR - AvaSpec-TEC 2048 (Avantes, Olanda),• Spectrometru NIR - AvaSpec NIR256-2.2 (Avantes, Olanda),

Cercetarea microsuprafetelor si biomoleculelor• Plotter Micro-Nano - OmniGrid (genomice Solutions Ltd., Marea Britanie)• Scanner Microsuprafete - GeneTAC UC4 (Genomic Solutions Ltd., Marea Britanie)• Analizor pentru particule de dimensiuni submicronice si potential Zeta - DelsaNano (Beckman Coulter, Statele Unite ale Americii)

Probe, microplacute; caracterizare electrica• Analizator pentru microretele cu microunde (0.04 - 65 GHz), cu statie de probe manuala - Lightning 37397D VNA/ Anritsu; PM5/Suss Microtec (Anritsu, Japonia, Suss Microtec, Germania)• Staţie probare microplacute - Easyprobe EP4 (Suss Microtec, Germania)• Sistem caracterizare semiconductor (DC), cu staţie Wafer Probing - 4200-SCS/C/Keithley Easyprobe EP6/ Suss Microtec (KEITHLEY Instruments, Statele Unite ale Americii, Suss Microtec, Germania)• Sistem caracterizare semiconductor - 4200-SCS, CV 3532-50, DMM 2700-7700, 2002, 6211-2182 (KEITHLEY Instruments, USA)

Instrumente de testare şi fiabilitate • Camera de climatizare - CH 160 (Angelantoni, Italia), • Camera de şoc termic - EST-11-A (espec Europa, Germania) • Masina de soc liber - 0707-20 (mrad, SUA), • Camera de test pentru solicitarii accelerate - temperatura, umiditate, presiune, polarizare - EHS-211M (espec Europa, Germania) • Sistem mobil termic pentru curenti de aer - ThermoStream TP04300A-8C3-11 (Temptronic, USA)• Sistem de vibraţie electrodinamic cu teste termice şi electrice - TV 55240/LS (TIRA, Germania) • Cuptoare universale cu testare electrica - UFB (Memmert, Germania), N6711A (N6741B, N6743B, N6746B, N6773A) (Tehchnologies Agilent, Statele Unite ale Americii),

Statii de lucru• Masti pentru procese: dezvoltare durabila, gravare Cr, rezista de ştergere, curăţare DI (Atechim, România),• procese acide şi clătire (DI Atechim, România), • alte procese umede (Salare, Statele Unite ale Americii)

Alte instrumente• puls laser pentru microtehnologie - (EKSPLA, Lituania),• imprimante 3D • Fierăstrău pentru taiere in cuburi - EEM 225 (Tec Riga, Letonia)• Sistem de imbinare cu poanson• Sistem de imbinare cu fire

Instrumente de calcul, simulare şi proiectare

Analize cuplate pentru MEMS• CoventorWare 2008.010 (COVENTOR, Statele Unite ale Americii)Module: ARCHITECT, DESIGNER, ANALYZER, MemElectro, MemMech, CoSolveEM, MemETherm, MemPZR, MemPZE, Damping MM, InertiaMM, MemHenry, MemCFD, Netflow, SwitchSim, ReactSim, MemFSI, BubbleSim, DropSim, SEMulator3D, EM3D

• ANSYS Multiphysics 11.0 (ANSYS, Statele Unite ale Americii) - structural, termal, acustic, electromagnetic şi domeniul analizelor cuplate , CFD-uri

Componente fotonice: simulare, modelare şi design

• Opti FDTD 8.1, Opti-HS, OptiBPM 9.0, OptiGrating (Optiwave, Canada)Circuite si microsisteme cu microunde si unde milimetrice: proiectare şi modelare• IE3D, fidelitate (Zeelanda, Statele Unite ale Americii)

Alte instrumente• TransMagic STANDARD (TWeatherford, Statele Unite ale Americii)• SolidWorks Office Professional (SolidWorks, Statele Unite ale Americii) - 3D CAD software de proiectare• Mathematica 7 (Wolfram, Statele Unite ale Americii)• Matlab 7 (The MathWorks, Statele Unite ale Americii)Module : Simulink, Curve Fitting Toolbox, Extended Symbolic Math, Genetic Alghoritms, Image Processing, Neural Network, Optimization Toolbox,  Signal Processing, Spline Toolbox, Statistic Toolbox• OriginPro 8 (OriginLab, Statele Unite ale Americii) - analiza datelor şi spaţiu de lucru grafic, instrumente de analiza pentru statistici, montaj, procesare de imagini 3D şi de prelucrare a semnalului• Comsol Multiphysics 3.3 şi 3.4 (care să permită calcul paralel)• Visual Studio 2008 Pro instrument de programare pentru RAD şi IDE.

OFERTA INCDIE ICPE-CA Bucuresti

CUPRINS

Laborator destinat procesarii sistemelor microelectromecanice

Laborator de compatibilitate bioelectromagnetica

Laborator de evaluare a comportarii termice a produselor si materialelor prin analiza termica

Laborator pentru masurari MEMS si NEMS

Laborator de caracterizare si incercari materiale si produse electrotehnice

Laborator materiale metalice multifunctionale

Laborator materiale magnetice

Laborator materiale carbonice avansate

Laborator Destinat Procesarii Sistemelor Microelectromecanice

Servicii oferite: 1. Prelucrări prin electroeroziune

• Prelucrări prin electroeroziune cu fir – pe maşină CNC SMART DEM producător KNUTH GermaniaCaracteristici tehnice: Număr axelor 4 – x/y, u/v,Dimensiuni de prelucrare250x350x200mm,Precizie de poziţionare 0,02mm.• Prelucrări prin electroeroziune cu electrod masiv – pe maşină E.D.M. ZNC-210 producător KNUTH GermaniaCaracteristici tehnice: Suprafaţa maximă electrod 314 mm2,Dimensiunea piesei max.200x200mm,Înălţimea de lucru z 90mm.

2. Prelucrări micromecanice de precizie• Prelucrări micromecanice pe centru CNC în 5 axe – pe maşina KERN Micro producător KERN GermaniaCaracteristici tehnice: Dimensiuni de prelucrare250x220x200mm,Precizie de poziţionare0,001mm,Repetabilitate 0,001mm,Turaţia axului principal max.50 000 rpm,Diametrul minim pentrugăurire şi frezare 0,03 mm.•Prelucrări micromecanice pe centru CNC în 3 axe – pe maşina TMV400 producător TOPPER TaiwanCaracteristici tehnice: Dimensiuni de prelucrare400x250x250mm,

Precizie de poziţionare0,01mm,Repetabilitate 0,003mm,Turaţia axului principal max.12 000 rpm,Diametrul maxim al sculei 80 mm.

3. Execuţie bobine pe maşini automate• Execuţie bobine toroidale pe maşina SMC-1 producătorJOVIL SUACaracteristici tehnice: Dimensiune conductor0,05÷1,2mm,Diametru interior tor minim8mm,Diametrul exterior tor maxim63mm,Înălţime tor maxim 50,8mm.• Execuţie bobine cilindrice pe maşina TAK-01 producător NITTOKU JaponiaCaracteristici tehnice: Dimensiune conductor0,01÷1,2mm,Domeniul de lucru longitudinal100mm,Diametrul exterior maxim albobinei 140mm,Pasul de bobinaj reglabil în gama 0÷9,999mm,Secţiune tranversală bobină: cerc, pătrat, dreptunghi, elipsă etc.

4. Microprelucrări cu laser• Statie de prelucrat cu laser cu excimeri, Coherent SUALungime de unda: 248 nmPuretea maxima : 25 WPrecizia de pozitionare0.005mm

5. Execuţie de repere micromecanice prin tehnologie LIGA

• Sistem de litografiere cu laser DWL 66FS lungime de unda 375 nm

putere 18 mW latime minima de sciere 1µm

• Sistem de indepartat rezist SU8, tip STP 2020

Laborator de Compatibilitate Bioelectromagnetica

Servicii oferite: In cadrul laboratorului se fac masurari asupra:

analize spectrale de imagine ininfrarosu, pentru circuite electrice, cablaje imprimate, prevenirea incendiilor, conexiuni electrice, cladiri, etc.;

spectroscopia de reflectanta THz;

spectroscopia de transmisie THz; caracterizarea materialelor; analiza structurii cristaline si a

substantelor polimorfe; studiul suprafetelor si al

interfetelor solidelor, lichidelor,polimerilor.

Echipamente utilizate in cadrul laboratorului:

Camera de termoviziune FL-IRSpectrometru THz cu geometria de operare: transmisie & reflexie

Laborator de Evaluare a

Comportarii Termice a Produselor si Materialelor prin Analiza Termica

Servicii oferite: analiză termogravimetrică (TG)analiză termogravimetrică derivată(DTG)analiză termică diferenţială (DTA)calorimetrie diferenţială dinamică(DSC)dilatometrie (DIL), analizamecanica dinamica (DMA).

Prin utilizarea aparatelor din dotarea laboratorului se obţine un „spectru termic” (termogramă) complex al materialului, din care se pot determina direct:

temperaturile la care au loc tranziţii de fază (topire, înmuiere, tranziţie vitroasă);

domeniul de temperatură în care materialul este stabil termic;

domeniul de temperatură în care materialul este stabil la termo-oxidare;

schimbările dimensionale şi a proprietăţilor mecanice ale unui material, ca urmare a încălzirii;

efectele termice al proceselor puse în evidenţă în termogramă;

variaţia capacităţii calorice ce are loc la o tranziţie vitroasă.

Prin prelucrarea datelor de analiză termică obţinute cu aparatele din dotare se pot determina indirect:

gradul de cristalinitate; compatibilitatea compuşilor utilizaţi

pentru obţinerea de materiale compozite;

mecanismele proceselor fizico-chimice puse în evidenţă în termograme;

parametrii cinetici şi termodinamici ai acestor procese;

stabilitatea relativă termică sau termo-oxidativă;

eficienţa relativă a unor antioxidanţi; compoziţia optimă a unui material

compozit, corespunzător utilizării sale; anduranţa termică (durata de viaţă

termică) a unui material sau produs corespunzătoare unei temperaturi de utilizare şi unui anumit criteriu de sfârşit de viaţă;

stabilitatea materialelor ceramice sau metalice in functie de temperatura;

efectul unor ingredienţi asupra coeficientului de dilatare a unui material;

reproductibilitatea procedeelor de producere a unor materiale solide (controlul calitatii).

Laborator pentru Masuratori MEMS si NEMS

Servicii oferite: Masuratori specifice MEMS si NEMS:

micro si nano deplasari liniare sauunghiulare;microforte;vizualizarea suprafetelor: micro şinano rugozităţi, topologia suprafetelor;viteze;acceleraţii;vizualizări ale actuaţiilor specificemicro şi nano-actuatorilor şi senzorilor electromecanici.

Laboratorul are in dotare un sistem interferometric laser AGILENT, pentru masuratoarea micro si nanodeplasarilor liniare si unghiulare cu rezolutie de ± 2nm (pentru deplasari liniare) si 20 (pentru '' deplasari unghiulare), cat sisteme de microdinamometre sau palpatoare independente.

.

Laborator de Caracterizare si Incercari Materiale si Produse

Electrotehnice

Servicii oferite: - Analiza calitativa completa (determinare de faze, parametri de retea, dimensiuni de cristalit, stres si textura, grosime de strat) a materialelor cristaline, prin tehnica difractiei de raze X (cu posibilitatea efectuarii de masuratori la temperaturi cuprinse intre temperatura ambientului si +6000C);- Analiza elementala calitativa si cantitativa la nivel de ppm prin metoda spectrometriei de absorbtie atomica (AAS);- Analiza elementala calitativa si cantitativa prin metoda spectrometriei de masa (ICPMS);- Analiza elementala calitativa si cantitativa prin metoda microscopiei electronice de baleiaj (SEM);- Analiza metalografica; - Analiza suprafetelor rugoase (cu rugozitati mai mici de 5 μm) prin tehnica microscopiei de forta atomica (AFM);- Determinarea duritatii Vickers si Brinell;

- Determinarea microduritatii Vickers si Knoop;- Determinarea rezistentei la tractiune, compresiune si incovoiere;- Determinarea inductiei magnetice remanente;- Determinarea campului magnetic coercitiv;- Determinarea energiei magnetice specifice;- Determinarea nanodeplasarilor liniare si/sau unghiulare la actuatori micromotoare sau microcomponente electromecanice prin tehnica interferometriei laser;- Determinarea conductivitatii electrice a metalelor;- Determinarea dimensiunii medii a particulelor de materiale pulverulente- Determinarea concentratiei de O2, CO2 , NO, din gazele de ardere;- Determinarea concentratiei de sulfati din apele potabile sau uzate;- Determinarea concentratiei de O2 dizolvat din apele potabile sau uzate;- Determinarea nivelului de zgomot de evaluare in mediul industrial.

Echipamente utilizate in cadrul laboratorului:

Difractometru de raxe Xtip D8 Advance, Bruker – AXS Germania -

2000

Difractometru de raxe Xtip D8 Dicover, Bruker – AXS Germania –

2007

Spectrometru de absorbtie atomica (AAS) tip SOLAAR S4 Thermo Electron Corporation

UNICAM SUA – 2005

Spectrometru de masa cu ablatie LASER,Perkin Elmer SUA – 2007

CP II Scanning Probe Microscope –Microscop de forta atomica – Veeco SUA –

2005

Microdurimetru FM 700, AHOTECGermania 2007

Masina de incercari mecanice tip Zwick TRFR 005 TN – Zwick Germania – 2005

Histerezisgraf tip AC/DC Hystograph -Brockhaus Messtechnik – Germania – 2005

Sistem de masurare cu interferometru liniar si unghiular- Agilent SUA -2006

Analizor de emisii gaze de combustie tipA97- Wohler, Germania – 2006

Analizor apa tip PHOTOLAB S 12- WTWGmbH, Germania – 2006

Oxigenometru portabil tip OXI 315i- WTWGmbH, Germania – 2005

Sonometru portabil Model 12- PulsarInstruments Ltd. Marea Britanie – 2006

Microscop optic tip NU 2 - VEB Carl Zeiss– Jena, Germania

Granulometru tip FISCHER

Laborator materiale metalicemultifunctionale

Nanomateriale realizate1) nanopulberi de Ni2) nanopulberi de Co, CoNi si pulberi

core-shell de tipul Co/Ag, Co/Al2O3

3) materiale compozite pe baza de Mg pentru stocarea hidrogenului

4) materiale stocatoare de hydrogen de tipul Fe-Ti, Zr-Ni, Mg-Ni

5) materiale de tip Ni (Fe,Co)Al –B cu proprietati feromagnetice

6) solutii coloidale de Ag obtinute chimic sau electrochimic, cu proprietati bactericide si regenerative, cu aplicatii in medicina, biologie si bunuri de larg consum;

7) solutii coloidale de Au obtinute chimic, cu aplicatii in medicina si biologie;

8) pulberi nanocompozite de tip nanoparticule de Ag/MeO (MeO = ZnO, TiO2, CuO) si nanoparticule de Ag/BaSO4 obtinute chimic, cu proprietati bactericide, cu aplicatii in medicina, cosmetica si bunuri de larg consum;

9) pulberi nanocompozite de tip nanoparticule de Ag/MeO (MeO = SnO2, ZnO) obtinute chimic, cu aplicatii in ingineria electrica;

10) pulberi compozite de tip nanoparticule de Ag/Ag microcristalin obtinute chimic, cu aplicatii in ingineria electrica;

11) pasta conductoare din nanoparticule de Ag/Ag microcristalin, cu aplicatii in ingineria electrica;

12) hidrogel cu nanoparticule de Ag cu proprietati bactericide si regenerative, cu aplicatii in medicina si cosmetica.

Produse- microdispozitive pentru managementul

termic al componentelor electronice de tipheat pipe si flat heat pipe

Echipamente utilizate:

- Aparat TG-DSC/DTA – caracterizarea materialelor din punct de vedere al unor parametri termodinamici – entaltie, caldura specifica, temperatura Curie , si variatia masei in functie de programul de temperatura – Domeniul de temperatura: -150 + 1550oC

- Aparat pentru caracterizarea completa a materialelor (catalizatori, materiale carbonice, ceramice, umpluturi, polimeri) care se afla in stare pulverulenta, granule, pelete, din punct de vedere al suprafetei specifice, dimensiunii porilor si a proprietatilor de absorbtie-desorbtie ( absorbtie chimica)

- domeniul de suprafata specifica:≥ 0,0005 m2/g

- dimensiuni de pori :0,35 – 500nm ( in azot)

- absorbanti: azot, oxigen, argon,hidrogen, ammoniac, oxid si bioxid de carbon

- Difuzivimetru: masurareadifuzivitati termice in domeniul de temperaturi 20 – 300oC in materiale metalice, ceramice, polimerice si in solutii, pe probe solide si lichide.

- Spectrofotometru UV-Vis de tip V-570 Jasco (Japonia) - modul standard - absorbanta solutiilor coloidale si concentratie nanoparticule

- Aparat de tip 90 PLUS Brookhaven (USA);

- distributia granulometrica a nanoparticulelor

- Aparat de tip 90 PLUS Brookhaven (USA); determinarea potentialului zeta al solutiilor coloidale pentru determinarea stabilitatii acestora

- Aparat de tip 90 PLUS Brookhaven (USA). Determinarea diametrului mediu al nanoparticulelor

- Spectrofotometru UV-Vis de tip V-570 Jasco (Japonia) - modul sfera integratoare- determinarea reflectantei nanopulberilor.

- Moara planetara cu bile cu atmosfera controlata pentru alierea mecanica a materialelor pulverulente: Cantitate maxima de proba: 500 g.

Laborator materiale magnetice

Nanocompozite magnetice dure Nanopulberi de magnetita pentru

aplicatii medicale Procesare microfire : microfire

conductoare, semiconductoare si microfire cu proprietati magnetice sau magnetostrictive, pornind de la elemente (cupru, platina, cobalt, nichel, siliciu, germaniu) sau aliaje (de exemplu, aliaje in sistemul ternar Fe-B-Si, aliaje bogate in Co sau bogate in Fe). Microfirele pot avea lungimi de cca. 1 - 2 km si sunt constituite dintr-un miez metalic, acoperit cu un strat izolator de sticla, diametrul miezului de metal putand fi de la 1 la 50 μm, respectiv grosimea izolatiei de sticla de la 1 la 20 μm. Se pot obtine diferite structuri ale

miezului de metal: policristaline cu dimensiuni diferite ale cristalelor (micro- cristaline, nano-cristaline) sau amorfe.

Domeniul de aplicatie a microfirelor este foarte larg: - senzoristica; - ecranare electromagnetica; - hartii de valoare;- microfire cu proprietati speciale ce permit codificarea informatiei, cu utilizari in securizarea etichetelor;- sisteme de incalzire instalate sub pardoseli

Laborator materiale carboniceavansate

Tehnologii si procedee Linie fotolitografie 4” pentru rezolutii

nanonometrice Linie serigrafie pentru formate A0,

dimensiuni micronice si submicronice ale straturilor serigrafice.

Stencil cutter plotter, rezolutie mecanica pe decuparea mastii la sutime.

Magnetron sputtering, VUP 5M, trei magnetroane dintre care doua in DC pentru tinte conductive si unul in RF 13,MHz, pentru tinte dielectrice. Posibilitati de depunere PECVD in conditii de atmosfera controlata

(amestecuri de gaze) si/sau vid inalt. Microscopie electronica, microscop

REM 100, marire 100000. Sonda EDX, Inca Oxford Instruments. Microscop forta atomica, Veeco CPII,

contact, non-contact si taping mode. Microscopie de forta magnetica - MFM, conductiv mode, nanolitografie, nanoidentatie.

Punte Agilent masuratori in gama de frecvente 20 Hz – 2MHz

Analizor vectorial Rhode Schwarz, 300kHz – 4GHz.

Analizor de spectru Rhode Schwarz, 9kHz – 13,6 GHz.

Linie masuratori dieelectrice si magnetice in linie de trsansmisie.